Элемент для размещения подложек в горизонтальной камере
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ1 ц 444276 Союз Советских Социалистических Республик(21) 1785867/26-2 с присоединением заявкиосударственный комите овета Министров СССР по делам изобретенийн открытий 32) ПриоритетОпубликовано 25.09,74. Бюллетень3 Дата опубликования описания 01.04.75 УДК 621.382 (088,8)(54) ЭЛЕМЕНГ ДЛЯ РАЗМЕШЕНИЯ ПОД В ГОРИЗОНТАЛЪНОИ КАМЕРЕ 2 Изобретение относится к производству полупроводников.Известен элемент для размещения подло. жек в горизонтальной камере преимущественно при окислении и эпитаксиальном наращивании слоев, выполненный из тугоплавкого материала с фиксаторами для подложек, Однако этот элемент характеризуется большим расходом тугоплавкого материала для изготовления элемента, так как две трети материала заготовки уходит в отходы; невозможностью регулирования наклона боковых поверхностей относительно газового потока; необходимостью изготовления нового нагревателя в случае большого увеличения диаметра пластин или размещения их в два ряда; температурным разбросом, обусловленным конструкцией и приводящим к разбросу по толщине наносимых пленок. я упрощение коншение его универо элемент выполания, на котором ух подставок для ых стенок и расПодставки снаожеронам и выполнеЦель изобретения являет струкции элемента и повы сальности.Цель достигается тем, ч нен в виде .плоского осно смонтировано не менее дв размещения съемных боко секатель газового потока. ны скосами по боковым ст ны разной ширины,А, М. Черников и В, В, Че На чертеже схематически изображен предлагаемый элемент, общий вид.Элемент включает в себя основание 1, накотором смонтированы рассекатель 2 и под ставки 3 и 4, имеющие скосы 5 на боковыхсторонах для более надежного фиксирования уложенных на них съемных боковых стенок 6.На внешней поверхности стенок 6 имеются штыри 7 для удержания полупроводнгп(овых 10 пластин 8. Для загрузки в печь и выгрузки изнее на основании 1 элемента имеется отверстие 9.Подготовленные для обработки пластины 8укладывают на поверхность боковых стенок 6, 15 которые, в свою очередь, укладывают на боковые стороны подставок 3 и 4. На поверхности боковых стенок 6 пластины 8 удерживаются с помощью штырей 7, а сами боковые стенки 6 надежно удерживаются на подставках 3 и 4 20 за счет скосов 5. Технологическим крючком,вводимым в отверстие 9 на основании 1, элемент вместе с размещенными на нем пластинами 8 вводят в рабочий объем горизонтальной камеры установки для эпитаксиального 25 наращивания. В процессе нанесения эпитаксиального слоя входящий в камеру газовый поток разделяется рассекателем 2 на два потока, проходящие над поверхност.-,;о пластин.При этом оптимальный угол наклона пластин 30 по отношению к газовому потоку обеспечнва444276 Составитель Г, ПетроваРедактор 3, Твердохлебова Техред М. Семенов Корректор О. Тюрина Заказ 700/7 Изд. Лое 398 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, К-Зо, Раушская наб д, 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 ется за счет того, что подставка 4 по ширинебольше, чем подставка 3,Предмет изобретенияЭлемент для размещения подложек в горизонтальной камере преимущественно при окислении и эпитаксиальном наращивании слоев, изготовленный из тугоплавкого материала с фиксаторами для подложек, отличающийся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения универсальности, элемент выполнен в виде плоского основания, на котором 5 смонтировано не менее двух подставок со скосами с боковых сторон для размещения съемных боковых стенок и рассекатель газового потока.
СмотретьЗаявка
1785867, 17.05.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Р-6644, ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ Х-5446
БОРЗАКОВ ЮРИЙ ИВАНОВИЧ, ПАНКИН ВАЛЕРИЙ ИВАНОВИЧ, ЧЕРНИКОВ АНАТОЛИЙ МИХАЙЛОВИЧ, ЧЕРНЫШОВ ВЛАДИМИР ВАСИЛЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 7/68
Метки: горизонтальной, камере, подложек, размещения, элемент
Опубликовано: 25.09.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-444276-ehlement-dlya-razmeshheniya-podlozhek-v-gorizontalnojj-kamere.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Элемент для размещения подложек в горизонтальной камере</a>
Предыдущий патент: Устройство для монтажа нити накала
Следующий патент: Устройство для загрузки в кассеты выводов в виде стержней
Случайный патент: 157775