Устройство для резки полупроводниковых материалов

ZIP архив

Текст

0260 п 11 45 ОП ИСАН ИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУСова Советскик Социалистических Респеблик(32) ПриоритетОпубликовано 15.11.74. Бюллетень42Дата опубликования описания 07.05.75 1) М, Кл. Н 011 76 Государственный комите Совета Министров СССР(53) УДК 621 382 (088 8) по делам нзобретенн н открытий(72) Авторы изобретения П. Д. Медведев, Г, А, Доброхотов, О. В. Данковский, В. Ф. Бандик, М, Р. Муравчик, В. А. Дулин и О, П, Безсалов 71) Заявите СТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ПОМАТЕРИАЛО Н И КОВЪХ рой ство.На столе 1снизу шпиндел3, а также не рпуса устроиства закреплены отрезного круга 2 с приводом движная стойка 4, с которой Изобретение относится к оборудованию для обработки полупроводниковых материалов, например германия и кремния.Известны устройства для резки полупроводниковых материалов, в которых подача кри сталлических стержней осуществляется вручную при помощи поворотного механизма или путем ручного перемещения подвижной части суппорта, на котором закреплено зажимное устройство. Однако ручная подача стержня на 10 отрезной круг обуславливает неравномерную скорость его перемещения, в результате чего при дорезании стержня образуются надломы или сколы.Для повышения качества резки за счет со здания монотонно уменьшающегося по величине пажимного усилия в предлагаемом устройстве механизм подачи выполнен в виде двух рычагов, шарнирно связанных друг с другом посредством дроссельного регулятора, 20 один из которых шарнирно установлен на неподвижной стойке, а другой с закрепленным на его конце зажимным приспособлением шарнирно подвешен на свободном конце первого рычага. 25На чертеже показано описываемое уст шарнирно связан рычаг 5 механизма подачи. Поворот рычага 5 осуществляется вокруг оси 6 при помощи ручки 7 эксцентрикового кулачка 8, сидящей на оси 9. Рычаг 10 установлен на оси 11 рычага 5 и соединен с ним гидро- регулятором 12. На нижнем конце рычага 10 закреплено зажимное приспособление для стержня 13.Устройство работает следующим образом.Стержень 13 фиксируется в зажимном приспособлении рычага 10, За счет поворота ручки 7 кулачка 8 вокруг оси 9 рычаг 10 со стержнем 13 выводится из положения вертикального равновесия и под действием соб. ственного веса начинает поворачиваться вокруг оси 11, осуществляя подачу стержня на вращающийся отрезной круг 2 с монотонно уменьшающимся нажимным усилием. Длину рычагов выбирают такой, чтобы окончание процесса резки соответствовало во времени перемещению рычага 10 в положение вертикального равновесия, благодаря чему в момент выхода режущего инструмента из тела разрезаемого стержня величина нажимного усилия практически равна нулю. Гидрорегулятор 12, имеющий отверстие с дросселем для перетекания жидкости из одной полости в другую служит для регулировки необходимой величины начальной скорости подачи и демпфирования радиальных биений. Возврат разрезанного на48 д 260 Предмет изобретения оставитель Ю. Ц Техред Н. Ку тко едактор А, Пейсоченко Корректор Л, Царьк каз 1072 1 Изд.1205 Тираж 760 Подписи НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 две части стержня в исходное положение про.изводится при помощи эксцентр икового кулачка 8. Устройство для резки полупроводниковых материалов, содержащее режущий инструмент, зажимное приспособление и механизм подачи, отличающееся тем, что, с целью повышения качества резки за счет создания монотонно уменьшающегося по величине нажимного усилия, механизм подачи выполнен в виде двух шарнирно связанных друг с дру гом посредством дроссельного регулятора рычагов, один из которых шарнирно установлен на неподвижной стойке, а другой с закрепленным на его конце зажимным приспособлением шарнирно подвешен на свободном конце пер вого рычага.

Смотреть

Заявка

1708559, 25.10.1971

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-3135

МЕДВЕДЕВ ПЕТР ДМИТРИЕВИЧ, ДОБРОХОТОВ ГЕННАДИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ, ДАНКОВСКИЙ ЮРИЙ ВЕНИАМИНОВИЧ, БАНДИК ВИТАЛИЙ ФЕДОРОВИЧ, МУРАВЧИК МОВША РАХМЕЛЕВИЧ, ДУЛИН ВАЛЕНТИН АЛЕКСАНДРОВИЧ, БЕЗСАЛОВ ЮРИЙ ПАВЛОВИЧ

МПК / Метки

МПК: H01L 7/68

Метки: полупроводниковых, резки

Опубликовано: 15.11.1974

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-450260-ustrojjstvo-dlya-rezki-poluprovodnikovykh-materialov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для резки полупроводниковых материалов</a>

Похожие патенты