Устройство для загрузки и транспортирования изделий

Союз Советских Социвлистических РеспубликОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 482836 1) Дополнитель е к авт. свид-ву -.74 (21) 1985300/26-2 1 7/68 22) Заявлено 07 присоединением заявки осударственный комитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ И ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ ИЗДЕЛИЙ 1Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов и предназначено для загрузки, транспортировки и хранения полупроводниковых кристаллов.Известно устройство для загрузки и транспортирования изделий от одного вида оборудования к другому, содержащее ленточную кассету с основанием и несущим слоем, в котором ячейки выполнены по форме изделий для их удержания, загрузочное устройство с захватывающим органом и толкателем, совершающим возвратно-поступательные движения относительно основания. Кристаллы закрепляются на липком основании посредством связующих адгезивных веществ. При необходимости использования кристаллов на последующих операциях они подаются снизу толкателем-иглой через липкое основание, и вакуумная присоска отделяет кристалл от ленточной кассеты.Недостатком известного устройства является то, что после каждой подачи липкого основания нарушается его целостность, а это приводит к необходимости постоянной замены, т, е. его невозможно использовать многократно,Цель изобретения - увеличение срока службы ленточной кассеты,Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено дополнительными удерживающими ленточную кассету кулачками, кинематически связанными с толкателем, а ячейки в несущем слое выполнены в виде ступенчатого углубления, меньший диаметр д коз торого со стороны загрузки для деталей шириной 0 выбран по соотношению: д = (2,5 - ;4) р Ь, где р - коэффициент Пуассона материала, из которого изготовлен несущий слой ленточной кассеты (пластмасса, 1 О лавсан, капрон).На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство, общий вид в процессе загрузки в ленточную кассету изделия; на фиг. 2 - вид ленты-кассеты в плане.15 Устройство для загрузки и транспортирования изделий состоит из ленточной кассеты с двумя слоями: основанием 1 и несущим слоем 2, в котором выполнены симметричные отверстия 3, со стороны загрузки, и 4 - со 20 стороны основания, образующие ступенчатоеуглубление Составной частью устройства является толкатель 5, кинематически связанный с кулачками 6 и инструментом-присоской 7. Толкатель имеет возможность возврат но-поступательного движения относительнооснования ленточной кассеты. С помощью перфорации 8 ленточная кассета перемещается на шаг относительно позиции загрузки.Работает устройство следующим образом. з 0 Прн включении привода устройства грейКол едакто Корректор Л, Орлова Заказ546ЦНИ Изд М И Государств по дел 113035, МосТираж 833Совета Министров ССоткрытийкая наб д. 4/5 Подписно нного комитета м изобретенийва, Ж, Рауш МОТ, Загорский филиал 3ферный мехацизм (не показан) подает ленточную кассету на позицию загрузки. Толка- тель 5, осуществляя подъем вверх, начинает деформировать основание 1 и несущий слой 2 ленточной кассеты. Одновременно с толкателем 5 кулачки 6 встречным поворотом производят подпор несущего слоя 2. Перемещаясь по ходу своего движения, толкатель 5 деформирует и растягивает отверстие 3 до размера, позволяющего загрузить в него изделие 9 инструментом-присоской 7. Деформация осуществляется без нарушения целостности ленточной кассеты, благодаря способности материала сопротивляться приложенным усилиям. После загрузки присоска 7 убирается, толкатель 5 возвращается в исходное положение, освобождая ленточную кассету от нагрузки. Углубления в несущем слое принимают пврвоначалыные размеры и изделие оказывается ориентированно загруженным и закрепленным в ленточной кассете. Затем ку 4лачки б делают обратный поворот, и весьцикл работы устройства повторяется,Предмет изобретения 5 Устройство для загрузки и транспортирования изделий, например, полупроводниковых кристаллов, содержащее ленточную кассету с основанием и несущим слоем, в котором выполнены ячейки по форме изделий для их 10 удержания, загрузочное устройство с захватом и толкателем, отличающееся тем, что, с целью увеличения срока службы ленточной кассеты, устройство снабжено удерживающими ленточную кассету кулачками, кинематиче ски связанными с толкателем, а ячейки в несущем слое выполнены в виде ступенчатого углубления, меньший диаметр д которого со стороны загрузки для деталей шириной Ь выбран по соотношению И = (2,5 - ; 4)р,Ь, где р - коэффициент Пуассона для упругих матер иалов.