H01J 37/28 — со сканирующими лучами

Номер патента: 184366

Опубликовано: 01.01.1966

Авторы: Дер, Кушнир, Розенфельд

МПК: H01J 37/28

Метки: ионно-эмиссионный, микроскоп

...чертеже изображена схема предлагае.мого ионно-эмиссиоцного микроскопа,С помощью аксиально-симметричной оптической системы формируется изображение вионах, идущих от объекта, В плоскости 1, гдеформируется ко ечцое изображение объекта,па пути ионов установлена диафрагма 2 с10 диаметром отверстия, равным величине разрешаемого расстояния микроскопа, умноженнойна электронно-оптическое увеличение в плоскости диафрагмы, С мощю системы развертки 3 через диафрагму поочередно пропускаются пучки ионов, формирующие изображение отдельных элементов обьекта,Ионный пучок, прошедший через диафрагму 2, попадает на коллектор ионов 4 (например, первый дцнод вторично-электронногоумножцтеля), соединенный с усилителем б.При этом на вход усилителя б...

Номер патента: 565337

Опубликовано: 15.07.1977

Авторы: Бочаров, Юдицкий

МПК: H01J 37/28

Метки: визуализации, микроскопе, объекта, электронном

...и устранение неоднозначности цветового кода.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве впдеоконтрольное устройство вы полнено на однолучевой цветной электроннолучевой трубке с непрерывной структурой экрана, а амплитудный дискриминатор и усили. тель, соединенный с источником ускоряющего напряжения, включены между управляющим и ускоряющим электродами трубки.Е 1 а чертеже подсказано предлагаемое устройство.Источник электронов 1 создает пучок электронов. Фокусирующая система 2 формирует электронный зонд 3, который под действием отклоняющей системы 4 сканирует по исследуемому объекту 5. Детектор излучения 6 преобразует сипнал от вторичных элекгронов, излучаемых микроучастком исследуемого объекта, в видеоситнал, который...

Номер патента: 593266

Опубликовано: 15.02.1978

Автор: Кузнецов

МПК: H01J 37/28

Метки: видикона, мишени, потенциала

...метки на строке, на которую возвращается коммутирующий луч, путем подачи импульса длительностью в часть строки положительной полярности на катод видикона при передаче этойстроки. Возврат коммутирую на которой измеряется таемый мишенью видик мутации, путем введени ствующей полярности д593266 Составитель В. БелоконьТехред И. Михайлова Редактор И. Шубина Корректор В, Гутман Заказ 1007/2060 Изд.214 Тираж 995 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5Тип. Харьк. фил. пред, Патент строку в цепь кадровых отклоняющих катушек.Контроль точного попадания коммутирующего луча на строку, на которой измеряется потенциал, приобретаемый мишенью сразу после...

Номер патента: 634397

Опубликовано: 25.11.1978

Авторы: Бочаров, Юдицкий

МПК: H01J 37/28

Метки: кодирования, сигналов, цветового, электрических

...5 с высоко- потенциальной развязкой, электронные ключи 6, 7 и 8, электронно-лучевую трубку 9, источники ускоряющего напряжения 10, 11 и 12; схемы совпадения 13 и 14, стабилизированный выпрямитель 15 и сетевой трансформатор 16.Устройство работает следующим образом. Сигнал с исследуемого образца, преобразованный в детекторе излучения 1 в электрический видеосигнал, поступает на видеоуси литель 2, с выхода которого усиленный видеосигнал подается на входы триггеров Шмидта 3 и 4 и на первый вход сумматора 5, Порог срабатывания триггера Шмидта 3 выше, чем порог срабатывания триггера 4. При величине видеосигнала недостаточной для срабатывания триггера 4 электронный ключ 6 включает между катодом и ускоряющим электродом ЭЛТ 9 источник...

Номер патента: 661648

Опубликовано: 05.05.1979

Авторы: Голубев, Трифонов

МПК: H01J 37/28

Метки: изображения, микроскопе, объекта, растровом, формирования, электронном

...после Фильтрации; е в . эпюра сигнала, полученного при суммировании сигнала, представленного наэпюре в с сигналом, представленным на эпюре д штрих-пунктирной линией.На фиг,З показан фронт импульсного сигнала ат какого-либо элемента поверхности объекта при сканировании его периодически расфокусируемым электронным зондом, где: Б - результирующий сигнал с объекта при воздействии,на него периодически расфокусируемым электронным зондом; Р сигнал с объекта при воздействии на него сфокусированным зондом; Ч сигнал с объекта при воздействии на него расфокусированного зонДа,Электронная пушка 1 имитирует пучок электронов, который формируется системой 2 в электронный зонд малого диаметра и фокусируется на поверхность объекта 3. Сканирование зонда...

Номер патента: 714544

Опубликовано: 05.02.1980

Авторы: Абрамов, Васичев

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...изображен,предлагаемый микроскоп, где"показанй: электронная пушка 1, управлякщий: электрод 2электронной пушки, система 3 формировайияэлектронного зонда, отклоняющая система 4, генератор 5 разверток, система б наклона зонда поотношению к объекту, исследуемыйобъект 7, детектор 8,электронов, фазовый детектор 9, линия 10 задержки, генератор 11 импульсов, видеоконтрольное устройство 12;Микроскоп работает следующим образом.Электронная пушка 1 эмиттируетэлектронный пучок, который формиру 50ется сйстемой 3 в электронный зондмалого диаметра. Сформированныйэлектронный зонд стробируется путемподачи сигналов отгенератора 11.имПульсов на управляющий электрод2 электронной пушки 1. В результате.стробирования электронный зонд воздействует на объект в...

Номер патента: 801136

Опубликовано: 30.01.1981

Авторы: Голубев, Постников, Фетисов

МПК: H01J 37/28

Метки: микро-скоп, растровый, электронный

...и1 б для термического и механического (растяжения, сжатия) воздействия на объект.устройство работает следующим образом.Электронная пущка 1 эмиттируетэлектронный пучок, который Формируется с помощью линз 2 и 3 в электронный зонд малого диаметра на поверхности исследуемого объекта 10, нагретого до требуемой температуры спомощью устройства 15. Под действием электронного зонда с поверхностиобъекта 10 эмиттируются вторичныеэлектроны, обычно обладающие энергией свыше 10 эВ.Вторичные электроны преодолеваютполе кольцевого электрода 12, на который подается отрицательный потенциал ат источника 14, захватываютсяполем второго кольцевого электрода13, на. который подается положительный потенциал от источника 14, ипопадают в канал 5 формирующей линзы...

Номер патента: 884005

Опубликовано: 23.11.1981

Авторы: Голубев, Силаев, Степанов

МПК: H01J 37/28

Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном

...4, камера 5 объектов, стол б объектов, кристалли детектор 8 вторичных электронов. В систему обработки информации входят ВКУ 9, измерительное устройство 10, и вычислительный блок 1. На фиг. 2 показано взаимное расположение граней кристалла 7 относительно электронного зонда 2 и направления выхода вторичных электронов 13. Кривые сигналов 14 - 1 б соответствуют различным диаметрам зонда, наименьшему из которых соответствует кривая 4.Устройство работает следующим образом.Электронный пучок, создаваемый электронной пушкой 2, формируется с помощью линзы 3 в электронный зонд малого диаметра на поверхности размещенного на столе объектов б объекта 7. Сканирование электронным зондом поверхности объекта осуществляется с помощью отклоняющей системы...

Номер патента: 911651

Опубликовано: 07.03.1982

Авторы: Рау, Сасов, Спивак

МПК: H01J 37/28

Метки: изображений, микроскопе, растровом, электронном

...расфокусировкой электронного зойда путем наложения на ток фокусирующей системыдополнительного тока гармонической )5формы.Сущность способа заключается втом, что коррекция контрастно-частотной характеристики осуществляется во всех направлениях. Это дости" 20гается путей введения в сигнал прОизводных по полярной координате готображаемой, точки.Периодическая расфокусировка электрон;:ого зонда по гармоническому закону.оэначает, что площадь облучае-мого пятна на образце 7 ьгизменяется также по гармоническому закону счастотой Ш. Видеосигнал 1(г ) вслучае ь.злой модуляции можно разло"жить в ряд около среднего значенияразмера зонда110)=%Иго,1)1 р ДЯВИ, (4 - ЯВЙ 94а.1, атт.епри синхронном детектированиина частоте Ю будет вцделяться...

Номер патента: 918995

Опубликовано: 07.04.1982

Автор: Бочаров

МПК: H01J 37/28

Метки: изображения, микроскопе, объекта, поля, растровом, формирования, фрагмента, электронном

...18 на выходе блока 10 управ-ф ления, сигнал 19 на выходе блока. 8 формирования амплитуды кадровой развертки, сигнал 20 на выходе блока 9 формирования амплитуды строчной развертки, видеосигнал 21 на выходе детектора 5 ЗО излучений, видеосигнал 22 на входе ЭЛТ 14, формирующий иэображение поля объекта, видеосигнал 23 на входе ЭЛТ 15. формирующий изображение фрагмента поля обмкта. 3Электронный зонд 2 с помощью отклоняющей системы 3 сканирует исследуемый объект 4.Сканирующие сигналы, подаваемые на,40 отклоняющую системы микроскопа и ЭЛТ, вырабатываются следующим образом.Пилообразный сигнал с генератора 6 , кадровой развертки (фиг. 2, эпюра 16) поступает на отклоняющую систему ЭЛТ 15, формирующей изображение фрагмента, на вход блока 10...

Номер патента: 920894

Опубликовано: 15.04.1982

Авторы: Олейник, Потахин

МПК: H01J 37/28

Метки: воспроизведения, изображения, образца, сканирующее

...или по желанию опера-.ратора, совместно с изображением,полученным путем модуляции по яркости,сформировать второеизображение,подчеркивающее малоконтрастные детали и помогающее точно настроитьвсе устройство в целом,При изуцении образца и полуценииобычных фотоснимков место и размерполя обзора выбирается оператороммеханическим или электрическим путем с помощью устройства синхронизации и управления вручную.Получение панорамных снимков осуществляется следующим образом.Производится фотографирование первого, выбранного оператором вручную,участка образца и нажимается кнопка920894 6ваемого на второй вход второго компаратора 26 от внешнего источника 29.При срабатывании второго компаратора26 на второй вход сх мы 21 совпаденияпоступает запрещающий...

Номер патента: 920895

Опубликовано: 15.04.1982

Авторы: Кисель, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: исследований, кристаллографических, сканирующее

...и укрепленныйв объектодержателе 2, облучаетсяострофокусированным электронным зон 920895 4дом. При этом отклоняющая система 5 разворачивает зонд в растр, причем сигнал развертки растра на объекте и на индикаторном блоке 8 синхронизирован и осуществляется от одного задающего генератора 9. Строцная развертка - шаговая, число шагов (импульсов) равно числу элементов на строке, импульсы идут с часто- той где и - число элементов на строке; о- ВРемЯ РазвеРтки стРоки. При этом импульсы-биполярные, что обеспечивает последовательное облучение каждой точки растра дважды.Величина угла отклонения пучка йриоблучении объекта определяется соотношением токов возбуждения на двухдолинзовых ярусах отклоняющей системыи ее третьем, послелинзовом...

Номер патента: 982117

Опубликовано: 15.12.1982

Авторы: Обыден, Сапарин

МПК: H01J 37/28

Метки: излучения, коллектор, светового

...допустимому темновомутоку Е 1, Е, Е. Огфеделяотся катодныечувствительности ФЭУ для длин вопи ,) с ,с а,сно, вноднье чувствительности -с;, )с д20,3 с для выбранных напряжений. Тогда соотношения площадей секторов должны рввнуться соотношениям суммарных чувствительностей ФЭУДля получения цветных катодолюминесцентных иэображений можно испольэовать фотоумножители ФЭУ, обладвкнцие 30 высокой ч.увствитепьностью в широкойобласти спектра, снабженные светофкпьтрами с максимумами полос пропусквния на длинах волн )= 450 нм, 3-,=550 нм, .у 610 нм. Такие характеристики светофильтров соответствуют колориметрическим координатам, При этом надо учесть зависимость относительной катодной чувстви. тельности от длины волны света:0,9, ,.к = 0,5, 3 = 0,4. В...

Номер патента: 983821

Опубликовано: 23.12.1982

Автор: Олейников

МПК: H01J 37/28

Метки: измерительное, микроскопа, растрового, электронного

...Формула изобретения Измерительное устройство для растрового электронного микроскопа, содержащее последовательно соединенные усилитель, систему преобразования сигнала и блок суммирования,о т л и ч а ю щ е е с я тем, что,с целью повышения точности измерениялинейных размеров объекта при повышении производительности, системапреобразования сигнала содержит последовательно соединенные основнуюдифференцирующую цепь с фаэоинвертором, первый триггер, дополнительнуюдифференцирующую цепь, второй триггери схему совпадений, один из входовкоторой соединен с выходом основнойдифференцирующей цепи.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Гоулдстейн Д, Практическаярастровая микроскопия. М., "Мир",1979 с. 113-166.2. Деркач В.П. и др....

Номер патента: 983822

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Белоусов, Рыбалко, Савкин, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: импульсный, корпускулярный, микроскоп

...40 45 55 Микроскоп работает следующим образом,Импульсный источник 1 электроновгенерирует зонд, периферийная часть которого оседает на апертурной диафрагме2. Фокусирующая линза 3 окончательноформирует зонд, который сканируется поповерхности объекта 5 отклоняющей системой 4.Импульсы характеристическогоизлучения регистрируются детектором 6и преобразуются в видеосигнал в блоке7 формирования,Далее сигнал проходит через блок отсечки, который может находиться в двухсостояниях; отсечка и нродускание, и управляется по командам генератора 13управляющих сигналов. С выхода блокаотсечки сигнал поступает на вход индикаторного блока 9, на другой вход которого поступает сигнал синхронизации от 4задающего генератора 10. В моменты формирования зонда...

Номер патента: 1019520

Опубликовано: 23.05.1983

Авторы: Волнухин, Зипинев, Капличный, Кисель, Кобыляков, Копылов, Удальцов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп-микроанализатор, растровый, электронный

...аналогового сигнала из-запогрешностей, вносимых интеграторомс В,Б элементами и усилителем постоянного тока. Это приводит к снижению точности анализа.Целью изобретения является повышение точности анализа и повышениеего информативности путем увеличенияградаций серого на изображении, сформированном в рентгеновских лучах, иобеспечения. возможности .полученияколичественной информации о распреде.лении химических элементов по сов-.мещенным изображениям в рентгеновс-ких лучах и во вторичных электронах.,Указаннная цель достигается тем,что в РЭММА, содержащем систему формирования электронного зонда, отклоняющую систему, схему отображенияинформации, включающую первый канал,содержащий детектор рентгеновскогоизлучения, счетчик. импульсов и...

Номер патента: 1042108

Опубликовано: 15.09.1983

Авторы: Бульба, Веприк, Давиденко, Остапов, Павленко, Удальцов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопе, отсчета, растровом, регулировки, увеличения, электронном

...тока разверток, регулятор числа витков включен между Формирующей линзой и стабилизатором тока, а выход регулятора ускоряющего. напряжения соединен с дополнительными входами регулятора числа витков .и усилителя-компенсатора.На чертеже предетавлена схема устройства.В состав РЭМ входят отклоняющая система 1, формирующая линза 2 и исследуемый объект 3. С формирующей линзой соединен регулятор 4 числа витков и стабилизатор 5 тока, образующие канал фокусировки электронного зонда. Канал формирования разверток содержит последовательно включенные задающий генератор б, регулятор 7.увеличения, усилителькомпенсатор 8 и усилитель 9 тока разверток.Схема 10 умножения, аналого-цифровой преобразователь 11, счетчик 12 импульсов и,цифровой индикатор...

Номер патента: 1088089

Опубликовано: 23.04.1984

Авторы: Григоров, Зорин, Решин

МПК: H01J 37/28

Метки: вторично-эмиссионного, изображения

...кадра, выход блока управления считыванием35 Регистрация изображения осуществляется следующим образом.Задающий генератор 10 вырабатывает последовательность импульсов с соединен с вторым входом блока памяти кадра.Устройство снабжено сумматором, к входам которого подключены выход блока памяти кадра и выход интегратора, а его выход соединен с третьим входом блока памяти кадра.На фиг. представлена блок-схема устройства, на фиг.2 - временные диаграммы, поясняющие операции споО соба..Устройство для получения вторично"эмиссионного изображения содержит источник 1 первичного пучка, откло" няющие пластины 2 и 3, образующие отклоняющую систему (ОС), объект 4, анализатор 5 вторичных частиц и приемник 6 вторичных частиц, блок 7 прерывания первичного...

Номер патента: 1091251

Опубликовано: 07.05.1984

Авторы: Рыбалко, Савкин, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: гетерофазных, микроанализа, объектов

...равными размерам аппроксимирующей фигуры, затем совмещают сформированный зонд с исследуемым микроучастком и ориентируют относительно него по азимуту для полного перекрытия зондом поверхности исследуемого участка. После этого регистрируют характеристическое излучение с микроучастка и измеряют его интенсивность. При такой последовательности операций обеспечиваютзначительное повышение точности проведения микроканализа за счет того, что практически вся площадь исследуемой фазы (или соответствующего ей микроучастка) облучается зондом, так как форма зонда и его размеры с точностью аппроксимации совпадают с формой и размерами микроучастка, т.е, в генерации характеристического излучения принимает участие весь объем микроучастка, а...

Номер патента: 1092606

Опубликовано: 15.05.1984

Авторы: Балобанов, Данилов, Камалягин, Куляс

МПК: H01J 37/28

Метки: видеоконтрольное, микроскопа, растрового, электронного

...коммутатор 7 видеосигналов, сумматор 8, блок 9 индикации," видеоусилитель 10, Внутри колонны 5 микроскопа размещена система 11 отклонения электронного луча. Блок 2 управления свои- ми выходами соединен с управляющими входами коммутаторов 4 и 7 разверток и видеосигналов соответственно, блока 3 памяти и генератора 1 разверток и синхронизации 1 соединенного первым и вторым выходами через коммутатор 4 разверток с системой 11 отклонения электронного луча и блока 9 индикации, "а вторым выходом - также со вторым адресным входом блока 3 памяти. На информационный вход блока 9 индикации через видеоусилитель 10 подан сигнал с выхода блока 3 памяти и с второго выхода коммутатора 7 видеосигналов. Информационные входы коммутатора 7...

Номер патента: 1105961

Опубликовано: 30.07.1984

Авторы: Балобанов, Бочаров, Камалягин, Куляс

МПК: H01J 37/28

Метки: видеоконтрольное, микроскопа, растрового, электронного

...черного. Коэффициент передачи видеотрак- З 0 та принимает значениеКпОвогде Ц - уровень белого в выходномсигнале;Ц - максимальное входное значение видеосигнала за кадр.Максимальное напряжение на выходе видеотракта с учетом регулирования усиления и уровня черного составляетО -О (1- - ,ОфйиЬЫх мосс в О,чо,х45 а относительная погрешность регулирования соответственно,Ощеа 1 Ойю50где Б; - минимальное значение входного видеосигнала за кадр.При сигнале с малым размахом (мало значение О -Цд, ) и большим1 Изначением постоянной составляющей (велико значение ; ) погрешность регулирования может быть весьма значительной. И только в третьем кадре максимальное значение сигнала на выходе известного устройства можетсравняться с уровнем белого,...

Номер патента: 1127024

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Абрамов, Васичев

МПК: H01J 37/28

Метки: видеоконтрольное, микроскопа, растрового, электронного

...синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки 55 блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом ин" 24 1/ вертора, первым входом коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.На чертеже представлена схема пред. лагаемого устройства.Схема содержит последовательно соединенные детектор 1 излучения, видеоусилитель 2, блок 3 цветокодирования и цветную ЭЛТ 4. Блок 3 цветокодирования состоит из инвертора 5 и ком-. мутатора 6. С РЭМ и ЭЛТ связан блок 7 развертки, ЭЛТ 4 включает модуляторы красного 8, зеленого 9 и синего 10...

Номер патента: 1173464

Опубликовано: 15.08.1985

Авторы: Алексеев, Верховская

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп, просвечивающий, растровый, электронный

...система 6 и детектор 14 электрически связаны с электроннолучевой трубкой (ЭЛТ) 15.Устройство работает следующим образом. 45 Электронный зонд, сформированный осветительной системой ПРЭМ, с помощью двухъярусной отклоняющей системы 6 сканирует по объекту. Центр 50 вращения пучка обычно совмещен с отверстйем апертурной диафрагмы 5, которая находится в фокальной плоскости дополнительной линзы 7. В этом случае образец сканируется параллельно перемещающимся электронным пучком (угол падения пучка на образец остается постоянным). В общем случае отклоняющая система может содержать одинярус и располагаться до или послеобъективной линзы. Основным условиемдля сохранения угла падения пучкана образец является требование расположения центра...

Номер патента: 1224853

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Морозов, Потахин

МПК: H01J 37/28

Метки: кадрового, микроскопе, растровом, ступенчато-пилообразного, формирования, электронном

...стандартов разложения при повышении надежности за счет исключения системы коммутации и упрощения настройки.На фиг, 1 показана функциональная схема устройства для реализации способа; на фиг, 2 - эпюры напряжений в различных точках схемы. Схема содержит ждущий мультивибратор 1 (фиг. 1), логический блок 2 типа 2-2 И-ИЛИ-НЕ, двенадцатираэрядный счетчик 3 и цифроаналоговый преобразователь,(ЦАП) 4. Эпюры напряжений (фиг. 2) отражают импульсы 5 строчной частоты, импульсы 6 тактовой частоты, импульсы 7 на выходе счетчика при максимальном числе строк в кадре (п=О) и соответствующую ему форму выходного напряжения 8 ЦАП, импульсы 9 на входе счетчика при уменьшении числа строк в кадре в два раза (и 1) и соответствующую форму выходного напряжения...

Номер патента: 1224854

Опубликовано: 15.04.1986

Авторы: Аристов, Казьмирук

МПК: H01J 37/28

Метки: изображения, микроскопе, растровом, электронном

...ВЭ 1-ВЭ 4 соответственно.10 Количество НОЭ, попадающих на детектор, весьма незначительно (менее1 Е) и в дальнейшем может не учиты- .ваться.Сигнал вторичной эмиссии можнозаписать в видеБар =к т(1+ Вг)(2)Этот сигнал будет на выходе детектора в том случае, если задержать третичные и фоновые электроны, подавая 20 на пластину 5 (фиг. 1) положительныйпотенциал порядка 5 ОВ,Количество образуемых в РЭМ вторичных, третичных и фоновых электронов связано между собой соотношением 25Вг =о(Я;+8,), (3)где М - коэффициент пропорциональности,Вычитая из суммарного электричесЗ 0,кого сигнала сигнал вторичной эмиссии, имеемБ -Б=кцт (8,+В)(4)Усиливая разность (Я - Б ) в 2 раза и вычитая ее из сйгнала вторичной 35.эмиссии, получим 8=К Т , (5)Таким образом,...

Номер патента: 1231547

Опубликовано: 15.05.1986

Авторы: Гостев, Рау, Спивак

МПК: H01J 37/28

Метки: зондовых, изображения, системах, сканирующих, формирования, электронно

...помощью цифрового генератора развертки, По предварительно вычисленныммассивам синусов и косинусов определяется координата следующей точки 5 10 15 20 25 30 35 затем вычисляется разница координаты следующей и текущей точек и производится перемещение луча. При таком алгоритме развертки обход кадра (- 128 витков) занимает 28 с, Если задается постоянная круговая частота разверток (фиг.2), то линейная скорость обхода по внешним виткам больше, чем по центральным, т,е. по мере приближения к центру на формирование каждого элемента изображения приходится большее время и большее число дискретизованных шагов при цифровой развертке, При этом лучше прорабатываются мелкие детали в центре экрана (поля зрения), т.е, избирательно отображается с...

Номер патента: 1236568

Опубликовано: 07.06.1986

Авторы: Балобанов, Голубев, Камалягин, Кулагин, Куляс, Чернов

МПК: H01J 37/28

Метки: воспроизведения, изображения, образца, сканирующее

...за собой смещение растра. Следовательно, катушки 4 и 5 отклоняющей системы зонда совмещают функции развертки и дополнительного отклонения зонда, что и позволяет исключить отклоняющую систему сдвига.Изменение увеличения в предлагаемом устройстве сводится не к установке коэффициента усиления мощного усилителя путем переключения ключей во входной цепи и цепи ООС, а к изменению коэффициента усиления маломощного управляемого усилителя 21. Возможность управления сдвигом маломощным сигналом позволяет исключить мощные прецизионные усилители сдвига и упростить схему визуализации.Как следует из формулы (5), точность установки заданного размера растра на образце и стабильность установленных размеров определяется точностью установки и...

Номер патента: 1265887

Опубликовано: 23.10.1986

Авторы: Аристов, Казьмирук

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопе, неупругоотраженных, растровом, регистрации, электронном, электронов

...относительно задерживающей сетки 7, поэтому любой его участок можно подвести в область сканирования электронного пучка. Поэтому неосвещенные пучком участки на образце отсутствуют.П р и м е р. Секционированная пре. образовательная пластина состоит из трех концентрических колец с внешним диаметром 40, 65 и 90 мм, выполненных подобно токоведущим дорожкам печатной платы из фольгированного стек" лотекстолитаКольца покрыты окисью магния для увеличения коэффициента вторичной эмиссии.Задерживающая и вытягивающая сетки изготовлены из стандартной стальной сетки с площадью ячейки 1 мм и Фпрозрачностью около 603, Задерживающая сетка в виде полусферы радиусом 12 мм закреплена посредством пайки на экране в виде трубки с внутренним...

Номер патента: 1275585

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Панкратов, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: зондоформирующая, микроскопа, растрового, электронного

...делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4(5 Заказ 6572(48 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4В 1 12755Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах (РЭМ), 5Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации, флуктуаций энергетических параметров зонда, 1 фНа чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, вы" ход переменной составляющей напряже" ния которого электрически сбединен с магнитопроводом 3 фокуснрующей магнитной...

Номер патента: 1275586

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...соединенные преобразователь 7 тока вторичных электронов,усилитель 8 и индикаторный блок 9Выходы задающего генератора 10 соединены с отклоняющей системой 2,усилителем 8 и индикаторным блоком9. Блок 11 питания ЭОС соединен стретьим входом усилителя 8, а второйвыход последнего соединен с входомисточника 5 регулируемого напряжения тормозящего электрода 3. На электронно-оптической оси РЭМ установлен объектодержатель 12, В качествеусилителя 8 можетбыть использованцифровой измерительный блок ВР 5521. с программируемым устройством, например, типа "Электроника",Устройство работает следующимобразом.Электронный зонд, сформированный ЭОС, воздействует на исследуемыйобъект. Вытягивающим электродом 4формируется поток вторичных электронов, С...