Патенты с меткой «зондоформирующая»

Номер патента: 1275585

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Панкратов, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: зондоформирующая, микроскопа, растрового, электронного

...делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4(5 Заказ 6572(48 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4В 1 12755Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах (РЭМ), 5Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации, флуктуаций энергетических параметров зонда, 1 фНа чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, вы" ход переменной составляющей напряже" ния которого электрически сбединен с магнитопроводом 3 фокуснрующей магнитной...