Способ формирования изображения поля объекта и его фрагмента в растровом электронном микроскопе

п 918995 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советски нСоциалистичесиинРеспублик(51) . л. Н 0137/28 3 Ьвударстекнвй квинтет 6.6 СР не делам нзобретеннй н откритнй(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ И ОБЪЕКТА И ЕГО ФРАГМЕНТА ЭЛЕКТРОННОМ М ИКРОС РАЖЕНИЯ ПРАСТРОВОМПЕ пучк поля еньшение искавышении часеспечивает Изобретение относится к исследованию объектов с помощью электронногопучка. и, в частности к способам формирования изображения исследуемого полиобьекта и его фрагмента в растровом эле,тронном микроскопе (РЭМ).Известен способ формирования изображения исследуемого поля объекта и егофрагмента в РЭМ Х,Известен также способ формированияисследуемого поля объекта и его фрагмента в растровом электронном микроскопе, заключающийся в поочередном. (построчном) сканировании электроннымзондом,за время кадра поля объекта иего фрагмента, регистрации сигналов с, ,поля и фрагмента и получении с помощьюуказанных сигналов изображений поляи фрагмента путем подачи.их на электр,роннолучевые трубки для получения изображений поля и фрагмента соответственно Ц.При повышении частоты сканированияданный способ также не об необходимого качества изображения,,вследствие искажений, вызванных необходимостью переключения с частотойстрочной развертки электронного аЭЛТ для получения изображенияи его фрагмента.Цель изобретения - умжений изображения при пототы сканирования.Указанная цель достигается тем, что Ов способе. формирования изображения поля объекта и его фрагмента в растровом электронном микроскопе, заключающемся в поочередном построчном сканировании элекгронным зондом поля объекта и его фрагмента регистрации сигналовс поля и фрагмента и в получении изображений поля и фрагмента путем подачи.указанных сигналов на электроннолучевые трубки для изображения поля и фрагмента соответственно, вначале полностью.построчно сканируют поле объекта, прерывая при этом сигнал на ЭЛТ для изображения фрагмента поля объекта, азатем полностью построчно сканируют фрагмент поля, прерывая при этом сиг- нал на ЭЛТ для изображения поля.На фиг. 1 представлено устройство дйя реализации предлагаемого способа; на 3 фиг. 2 - эпюры сигналов нв выходе бло ков устройства.Устройство содержит колонну 1 РЭМ, электронный зонд 2, отклоняющую систему 3 РЭМ, исследуемый объект 4, де тектор 5 излучений, генератор 6 кадро;- вой развертки, генератор 7 строчной развертки, блок 8 формирования амплитуды кадровой развертки, блок 9 форми рованняамплитуды срочной развертки, блок 10 управления, инвертор 11, прерыватель 12 видеосигнала фрагмента поля объекта, прерыватель 13 видеосиг-. нала поля объекта, ЭЛТ 14, формирующая изображение поля объекта, ЭЛТ 1520 формирующая изображение фрагмента поля объекта, сигнал 16 на выходе генератора 6 кадровой развертки, сигнал 17 на выходе генератора 7 строчной развертки, сигнал 18 на выходе блока 10 управ-ф ления, сигнал 19 на выходе блока. 8 формирования амплитуды кадровой развертки, сигнал 20 на выходе блока 9 формирования амплитуды строчной развертки, видеосигнал 21 на выходе детектора 5 ЗО излучений, видеосигнал 22 на входе ЭЛТ 14, формирующий иэображение поля объекта, видеосигнал 23 на входе ЭЛТ 15. формирующий изображение фрагмента поля обмкта. 3Электронный зонд 2 с помощью отклоняющей системы 3 сканирует исследуемый объект 4.Сканирующие сигналы, подаваемые на,40 отклоняющую системы микроскопа и ЭЛТ, вырабатываются следующим образом.Пилообразный сигнал с генератора 6 , кадровой развертки (фиг. 2, эпюра 16) поступает на отклоняющую систему ЭЛТ 15, формирующей изображение фрагмента, на вход блока 10 управления и вход блока 8 формирования амплитуды кадровой развертки.При поступлении на вход блока 10,упрааления сигнала с 1 енератора 6 кадровой развертки (фиг. 2, эпюра 16) на "выходе блока 10 управлении появляется сигнал в виде прямоугольных импульсов (фиг. 2, эпюра 18), который поступает на вторые входы блоков 8 и 9 формирования амплитуд кадровой и строчной развертки. При поступлении на вход блока 8 формирования амплитуды кадровой раэвертки сигнала от генератора 6 кадровой развертки в нем производится стробирование этого сигнала сигналом от блока 10 управления по кадрам поля и фрагмента поля. При этом амплитуда сигнала кадра фрагмента делится во столько раз,. во сколько раз увеличение изображения фрагмента поля больше, чем увеличение изображения поля, после чего пилообразные сигналы вдра поля, кадра фрагмента поля и постоянное напряжение Он перемещающее фрагмент поля. по кадру, суммируются и на выходе блока 8 формирования амплитуды кадровой развертки формируется сигнал, представленный на энюре 19 (.фиг. 2).Пилообразный сигнал от генератора 7 строчной развертки (фиг. 2 эпюра 17 ) подается на отклоняющую систему ЭЛТ 15, формирующей изображение фрагмента и на вход блока 9 формирования амплитуды строчной развертки, В блоке 9 формирования амплитуды строчной развертки пилообразный сигнал строчной развертки также стробируется сигналом от блока 10 управления по кадрам поля и фрагмента, амплитуда сигнала кадра фрагмента делится во столько раз, во сколько раэ увеличение фрагмента больше, чем увеличение поля, после, чего пилообразные сигналы кадра поля,.кадра фрагмента и постоянное напряжение Ц, перемещающее фрагмент поля по строке, суммируются и на выходе блока 9 формирования амплитуды строчной развертки формируется сигнал, представленный на эпюре 20 фиг. 2. Сигналы с,выходовблоков 8 и 9 формирования амплитуд строчной и кадровой разверток подаются одновременно на отклоняющую систему 3 электронного микроскопа и отклоняющую. систему ЭЛТ 14, формирующей изображение поля.Сигнал с объекта 4,полученный вследствие взаимодействия электронного зонда с поверхностью объекта 4; усиливается детектором .5 излучения преобразуется в видеосигнал (фиг. 2, эпюра 21) и посту пает одновременно на:первые входы прерывателей 12, и 13 видеосигнала. При поступлении видеосигнала с детектора 5 излучений на первые входы прерывате-, лей 12 и 13 водеосигнвла одновременно на вторые входы прерывателей видеосюнала непосредственно и через инвертор 11 поступают сигналы с выхода блока 10 управления, управляющие прерывате лями 12 и 13 таким образом, что во время построчного сканирования поля объИ,П йвес ираж 788 Подпиарственного комитета СССРзобретений и открытийква, Ж, Раушская наб., д. 4 оно филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 аэ 2183/38 ВНИИПИ Госу по делам 113038, Мо