Васичев

Номер патента: 1798175

Опубликовано: 28.02.1993

Авторы: Александрова, Андреева, Васичев

МПК: B25J 7/00

Метки: координатное

...давления. Это приводит к существенному повышению динамической устойчивостй устройства. Расположениеприводов замкнутого контура на платформе-основании, совершающей поворот благодаря деформации пневматическихпружин, позволяет увеличить число стейеней свободы устройства, т,е. расширить его.функциональные возможности.На фиг,1 показано координатное устройство, общий вид; на Фиг.2 - то же, план.Координатное устройство состоит изнеподвижного коллектора 1, на котором закреплены три трубчатые пневматические, пружины 2, имеющие незамкнутый контур,свободные концы которых связаны с нижней поворотной платформой-основанием 3 4через компенсаторы 4. С поворотной платформой-основанием.З жесткосоединена неподвижная часть пневматической пружины 5...

Номер патента: 1698915

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Васичев, Смирнов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроанализа, образца

...возбуждается рентгеновское излучение, пространственное распределение которого зависит от положения"границ раздела в сложном образце по отношению направления выхода возбуждения излучения,С помощью механизмов приводов 17 и 20 и соответствующих систем 11 и 14 отсчета откалиброванные на равные характеристики детекторы 6 симметрично располагаются над образцом в полярных направлениях= (/ и на расстоянии Ь до входного окна каждого детектора 6, Для повышения точности в определении функции Ц(к) с помощью механизма приводов 18 устанавливаются меньшие по размеру отверстия в диафрагмах 7. Диаметр Й отверстия в диафрагме 7 выбирают исходя из необходимости обеспечить следующее соотношение:Й =- -- )Ь где 1 - расстояние от точки анализадо передней...

Номер патента: 1688303

Опубликовано: 30.10.1991

Авторы: Васичев, Смирнов

МПК: H01J 37/20

Метки: электронно-зондовое

...каналам отклонения по Х,У координатам.Устройство работает следующим образом.На столик б обьектов в неподвижной части 1 корпуса помещают образец для исследования. Электронно-оптическая система 4 формирует электроннь:й пучок и фокусирует его на образец.Включают генератор разверток 12, с которого подается напряжение пилообразной формы на ЭМП 9. Здесь происходит перераспределение напряжения. Часть напряжения (тока) с ЭМП подается на отклоняющую систему 5, Последняя отклоняет электронный пучок вдоль оси, проходящей через спектрометры 7,8. При этом направлениесканирования меняется в прецелах 45. При облучении образца возбуждается рентгеновское излучение. Рентгеновские кванты регистрируются парно-симметричными спектрометрами, на...

Номер патента: 1677734

Опубликовано: 15.09.1991

Авторы: Васичев, Михальцов, Розенфельд

МПК: H01J 37/30

Метки: заряженных, изменяемой, пучка, сечения, создания, формой, частиц

...имевший перед диафрагмой круглое сечение 11, после нее приобретает фигурную(например, квадратную) форму 12, При отсутствии наклона освещающего пучка заряженных частиц расположенная эа диафрагмой 4 фигурная диафрагма 5 не ограничивает сформированный диафрагмой 4 пучок и он свободно проходит в уменьшающую систему б,формирующую на обрабатываемом изделии уменьшенное изображение фигурной диафрагмы 4 (например, квадратное пятно). Для изменения формы пучка возбуждается четырехьярусная отклоняющая система 3,Например, возбуждены элементы, обеспечивающие отклонение по одной координате. Тогда ярус 7 отклоняет пучок 2 от оптической оси системы, и ярус 8 возвращает его к оси таким образом, чтобы ось освещающего пучка 2 пересекла оптическую ось...

Номер патента: 1413212

Опубликовано: 30.07.1988

Авторы: Васичев, Веревкин, Ларин, Тумель

МПК: E04B 7/16

Метки: покрытие, трансформируемое

...полотно 2 покрытия и привод, выполненный в виде вала 3 вращения с барабанами 4, снабженными по торцам ограничителямн 5 Полотно 2 покрытия выполне но в виде лент 6, снабженных по краям 7 зубчатыми дорожками, соединяемыми между собой с помощью замков 8, жестко закрепленных на кронштейнах 9. Кронштейны 9 подвижно соединены посредством подшипников 10 с валом 3 вращения. При этом одни конць 1 лент 6 закреплены на барабанах 4, а другие - на несущем элементе 11, установленном в направляющих 1. Устройство снабжено также электродвигателями 12, 13.Устройство работает следующим обра зом.При приведении устройства в рабочее положение включактся электродвигатели 13, которые перемсцают несущий элемент 1 2гнапример, легкую ферму) вдоль направляющих 1....

Номер патента: 1281657

Опубликовано: 07.01.1987

Авторы: Васичев, Ларин, Тумель

МПК: E04H 12/00

Метки: аэродромная, опора

...состоит из упругой прямоугольной ленты 1, верхнейи нижней диафрагм 2, соединенныхболтами с лентой 1, горизонтальныхсегментных пластинчатых диафрагм 3,закрепленных на ленте 1 фиксаторамиФундамента 5 с анкерными болта"ми 6.Устройство работает следующим образом,Для установки опоры в рабочееположение необходимо при помощи монтажных болтов соединить верхнюю илотчюю диафрагмы 2 с лентой 1,изогнуть ее вдоль дуги по огибающейзаданного сегмента диафрагм 3, спомощью фиксаторов 4 зафиксироватьее на диафрагмах 3, поднять опору изакрепить ее на Фундаменте 5 припомощи анкерных болтов 6. При столкновении элементов самолета с опорой 1657 2происходит отсоединение одной или нескольких горизонтальных сегментных диафрагм, а затем опора...

Номер патента: 1281654

Опубликовано: 07.01.1987

Авторы: Васичев, Ларин, Тумель

МПК: E04F 15/024

Метки: пол, секционный, съемный

...на опорной стойке; на фиг.5 - плита секционного пола; на фиг,б - опорная стойкасекционного пола; на фиг.7 - фрагмент монтажа секционного пола (плиты25условно приподняты над опорными стойками),Секционный съемный пол состоит изплит 1 настила и опорных стоек 2.Опорная стойка 2 содержит опорнуюплиту 3 и стержень 4. Верхняя частьопорной пяты 3 выполнена в виде цилиндра с наружной резьбой, взаимодействующей с гайкой 5, и имеет полусферическое углубление опорной пяты 6, В верхней части стержня 4 установлен оголовок 7 с Т-образнымпазом 8, а в нижней части уста -новлена гайка 9. В паз 8 устанав, ливаются ребра 10 плит 1.Порядок сборки двойного пола следующий,На поверхности перекрытия разбивается квадратная модульная сетка, в местах пересечения...

Номер патента: 1275583

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Васичев, Горелов, Камунин, Савкин, Смирнов

МПК: H01J 37/244

Метки: коллекторная, микроскопа, растрового, электронного

...может быть откалиброван на величины сигналов на соответ-.ствующих сцинтилляторах по углам наклона площадок микронеровностей, торазличие в величинах сигналов с различных сцинтилляторов или их нулевые значения позволяют получить более точную информацию о топологииобъекта.формула изобретения Изобретение относится к электрон-.но-оптическому приборостроению, вчастности к коллекторным системамэлектронно-зондовых приборов, например электронных микроскопов.Целью изобретения является повышение точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлениям. 0На фиг. 1 показана коллекторнаясистема в электронном микроскопе;на фиг. 2 - то же, вид по электроннооптической оси.Коллекторная...

Номер патента: 1176053

Опубликовано: 30.08.1985

Авторы: Васичев, Ларин, Тумель

МПК: E04H 12/00

Метки: аэродромная, опора

...(стрелкой обозначено направлениеудара); на фиг, 6 - полый элемент. в, видецилиндра и пластинчатые горизонтальные но. 25жи (сборочный чертеж); на фиг. 7 - вариантвыполнения пластического горизонтального ножа для опоры с одним стягивающим тросом;на фиг, 8 - узел затяжки троса; на фиг.9 -сборка аэродромной опоры для огней подхода. 3 ОАэродромная опора состоит из фундамента1, на которой анкерами 2 жестко закрепленанижняя опорная плита 3 полых, например ци.линдрических, секций 4, в основаниях которыхжестко закреплены пластины, соприкасающиесямежду собой гладкими поверхностями и имеющие по торцам соответствующие пары 5 (плас.тинчатые горизонтальные ножи). Секции 4 надеты на тросы 6, которые с обоих концов заде-. 3 гланы в наконечники с...

Номер патента: 1127024

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Абрамов, Васичев

МПК: H01J 37/28

Метки: видеоконтрольное, микроскопа, растрового, электронного

...синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки 55 блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом ин" 24 1/ вертора, первым входом коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.На чертеже представлена схема пред. лагаемого устройства.Схема содержит последовательно соединенные детектор 1 излучения, видеоусилитель 2, блок 3 цветокодирования и цветную ЭЛТ 4. Блок 3 цветокодирования состоит из инвертора 5 и ком-. мутатора 6. С РЭМ и ЭЛТ связан блок 7 развертки, ЭЛТ 4 включает модуляторы красного 8, зеленого 9 и синего 10...

Номер патента: 1127023

Опубликовано: 30.11.1984

Авторы: Васичев, Гайдукова

МПК: H01J 37/147

Метки: литографии, лучевой, устройства, фокусирующе-отклоняющая, электронно

...фокусирующей линзы,ускоряющее напряжение=0,45-0,55При этом коэффициент пропорциональности 1 зависит от соотношениягеометрических параметров линзы, определяющих распределение индукции фокусирующего поля вдоль оси системы, а также длину и местоположение дефлектрона в канале линзы, Местоположение и длина дефлектрона выбираются так, чтобы в области отклонения электронного пучка фокусирующее поле было в достаточной степени однородно. Эксплуатационный параметр лцнзы 31- является константой для электрон- Юно-оптической системы, положение объекта и изображения которрй постоянно, Величина этой константы определяется геометрией канала фокусирующей линзы.На фиг.1 показана ФОС, общий вид, на фиг,2 - дефлектрон, поперечный разрез, на фиг,З -...

Номер патента: 1069029

Опубликовано: 23.01.1984

Авторы: Васичев, Кузнецов, Рыбаков

МПК: H01J 1/304

Метки: автоэлектронный, локализованной, эмиссией, эмиттер

...поверхцосги острия эмиссионно-активной присадкой, растворенной В его объеме и доставленной ца сго поверхность за счет диффузии с цро 1 ц.ссом тсрмо 1 юлевой перестройки, при которой происходит рельефное выделение наиболее цлотцоуцакованных граней. В результате ца поверхности острия образустс 51 1 икрсвыступы, состоягцие из скоплсп 151 атомов эмиссиоццО.ктиВной присадки, коц 1 сецтр 51 руюсцихся, главным образом, В мсстх цибольшсго градиента электри 1 О 15 20 25 ЗО ческого поля. На микровыступах происходит локальное усиление электрического поля, а также за счет хемисорбционного взаимодействия электроположительного к подложке адсорбата избирательное снижение работы выхода. Суммарный эффект изменения Е и 1 для центральной грани...

Номер патента: 1056309

Опубликовано: 23.11.1983

Авторы: Васичев, Камунин, Смирнов

МПК: H01J 37/244

Метки: вторичных, коллектор, микроскопа, растрового, электронного, электронов

...экране 3, а допопнительд ный сцинткппятор 4 - окно 5 в экране 6. Оба сцинткплятора подключены к блоку 7 преорбразования. сигнала. На электронно-оптической оси размещен исследуемый объект 8. Входные окна сцинтилляторов распопожены в одной, проходящей через электронно-оптическую ось РЭМ, плоскости 9. Показаны (фиг,2) также траекто рии 10 и 11 медленных вторичных электронов, вышедших с разных сторон исспедуемой обпасти объекта, и траектория 12 быстрых вторичных электронов.Блок 7 преобразования сигнала представпяет собой электронное устройство (например, последовательно соединенные дифференцируюший и интегрируняций блок и сумматор), осуществляющие обработкусигнала с каждого иэ сцинтилпяторов ипоспедукяцее суммирование их значений по...

Номер патента: 1045312

Опубликовано: 30.09.1983

Авторы: Васичев, Корчков, Мартынова, Почтарев

МПК: H01L 21/312

Метки: литографии

...вакуумного испарения, т.е, в условияхПреимущественной понерхностной миграции. Достичь такой ситуации ранномерным нагревом невозможно, так как всеточки поверхности будут иметь одинаковое значение энергии. Поэтому наличие направленного градиента температуры улучшает условия миграции испаряющихся молекул,Вопрос о направленности преимущественного градиента температуры решается исходя из условий качествапроявляемого изображения, Если градиент температуры будет направленот центра к перифериен подложки, томиграция модекул будет направленак центру, следовательно, будет происходить дополнительное загрязнениепроявленного иэображения за счет эфФектон термической полимеризации либо кластерообраэования в газовой Фазе. В случае градиента...

Номер патента: 995153

Опубликовано: 07.02.1983

Автор: Васичев

МПК: H01J 37/14

Метки: линза, магнитная, электронная

...стеклотекстолита. На одном из торцовых поверхностей каждого из дисков 5 нанесен, например, методом фотолитографии или методом напыления через маску, спиральный проводник 6. Выполнение проводника 6 указанными методами позволяет достичь высокой степени идентичности их параметров на каждом из дисков 5. Диски 5 системы 3 возбуждения соединяются последовательно так, чтобы обеспечивалось необходимое число ампер-витков. Если на одном диске 5 спираль проводника сходящаяся, то на соседнем расходящаяся, но обязательно обе они правые или левые. Концы про. водников 6 соединяются между собой на краях двух соседних дисков 5, для чего в дисках имеются сквозные отверстия. Крайние диски имеют выводы для подключения к источнику питания. Между дисками...

Номер патента: 851555

Опубликовано: 30.07.1981

Автор: Васичев

МПК: H01L 21/302

Метки: изделии, микрорисун-kob

...и производительность устройства в целом, 40На чертеже изображено предлагаемое устройство.Устройство содержит размещенные соосно электронную пушку 1 с управляющим электродом 2, бланкирующую систему 3, 45 формирующую систему 4, отклоняющую систему 5, подключенную к выходу генератора б разверток, вход которого соединен со входом генератора 7 рисунка, один выход которого соединен с бланкирующей системой 3, а другой - со входом блока 8 регулировки параметров электронного пучка, выполненного в виде последовательносоединенных блока 9 памяти, суммирующего усилителя 10 и интегрирующегоблока 11, выход которого подключен к управляющему электроду 2 электронной пушки 1. Обрабатываемое изделие 12 размещают на столе 13. Устройство работает...

Номер патента: 805445

Опубликовано: 15.02.1981

Авторы: Васичев, Калмыков, Смирнов

МПК: H01J 37/20

Метки: камера, объектов, устройства, электронно-зондо-вого

...образована откачиваемая полость 4, расположенная в неподвижной части 2 корпуса камеры. В кольцевых канавках оснований двух частей корпуса расположены подшипники 5 качения, обеспечивающие плавность вращения подвижной части 1 корпуса относительно оси электронного зонда 6, сформированного электронно-оптической системой 7. Во вращающейся части 1 корпуса камеры расположены приемные элементы спектрометрических детекторов 8 рентгеновского или катодолюминесцентного излучения, герме тично встроенные в окна корпуса. В неподвижной части 2 корпуса расположены стол 9 объектов и другие детекторы 10, например вторичных электронов. В дне неподвижной части камеры 20 расположен патрубок 11, соединенный с вакуумной системой установки.Устройство работает...

Номер патента: 714544

Опубликовано: 05.02.1980

Авторы: Абрамов, Васичев

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...изображен,предлагаемый микроскоп, где"показанй: электронная пушка 1, управлякщий: электрод 2электронной пушки, система 3 формировайияэлектронного зонда, отклоняющая система 4, генератор 5 разверток, система б наклона зонда поотношению к объекту, исследуемыйобъект 7, детектор 8,электронов, фазовый детектор 9, линия 10 задержки, генератор 11 импульсов, видеоконтрольное устройство 12;Микроскоп работает следующим образом.Электронная пушка 1 эмиттируетэлектронный пучок, который формиру 50ется сйстемой 3 в электронный зондмалого диаметра. Сформированныйэлектронный зонд стробируется путемподачи сигналов отгенератора 11.имПульсов на управляющий электрод2 электронной пушки 1. В результате.стробирования электронный зонд воздействует на объект в...

Номер патента: 557299

Опубликовано: 05.05.1977

Авторы: Бернштейн, Васичев, Мурашко, Тупик

МПК: G01N 21/22

Метки: анализа, микрозондовое, микрорельефа

...устройство (ВКУ), а также экраны, перемешаюшиеся по исследуемому полю и предназначенные для установки углов отражения вторичных электро нов, по которым находят высоту рельефа ис д следуемого образца, Это устройство имеет очень низкую точность,измерений и не позволяет визуально контролировать микрорельефИзвестно устройство для исследования рельефа полупроводниковых пластин, содэржа 20 шее РЭМ с блоками развертки луча, детей торы первичных и вторичных электронов, уси лители и анализатор иэображения 12.Известное устройство позволяет оценить высоту рельефа на пластине лишь качествен-Я 5 но путем сравнения измеренных тической плотности изображении .фаповерхности объекта в исследу с эталонными значениями, соотв дискретным значениям величийы...

Номер патента: 355667

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Васичев, Дер, Игнатьев, Капличный

МПК: G21K 1/08

Метки: заряженных, корпускулярное, пучков, фокусировки, частици

...также может быть различным; над линзой 5, под линзой или н ее предела.с.На фиг. 4 подсказано устройство, содержащее осесимметричную мапнитную линзу,Осесимметричная линза образуется магнитопроводом 7 и обмоткой 8, имеющий две секции, До входа в осесимметричную линзу (по ходу пучка) установлены три корректора,: квадрупольный 9, секступольный 10 и октупольный 11.Квадрупольный корректор 9 предусмотрен для исправления астипматизма,второго порядка (или осевого астигматизма), Квадрупольный асорректор может состоять либо из одного (механический поворот корректирующего поля), либо из двух квадрупольных элементов, сдвинутых взаимно по азимуту на угол 45 (электрический поворот корректирующего поля). Секступольный корректор 10 служит для...

Номер патента: 141317

Опубликовано: 01.01.1961

Авторы: Васичев, Латышев, Медведев, Плискин, Таточенко, Фелингер

МПК: G01B 15/02, G01N 23/02

Метки: бесконтактного, листовых, прибор, толщины

...усиления ФЭУ).По окончании импульса от формирователя 5 напряжение на выходе генератора Я начинает уменьшаться.Для управления коэффициентом усиления ФЭУ с генератора 8 подается напряжение на тринадцатый диод. По мере уменьшения напряжения на выходе из генератора 8 (а тем самым на диноде ФЭУ) коэффициент усиления ФЭУ увеличивается и растет его анодный ток.Это продолжается до тех пор, пока напряжение на выходе сцинтилляционного счетчика 2 не достигнет величины, при которой сраба" тывает дискриминатор 9, Срабатывание дискриминатора вызывает возвращение триггера в нормальное состояние, который запирает генератор 8 и напряжение на диноде перестает изменяться.Таким образом, коэффициент усиления ФЭУ принимает значение, при котором ток...