H01J 37/28 — со сканирующими лучами

Номер патента: 1285544

Опубликовано: 23.01.1987

Автор: Камалягин

МПК: H01J 37/28

Метки: видеосигнала, микроскопе, растровом, электронном

...на вход блокиронки анализа второго блока 10 автоматической нормализации экстремумон, который выделяет локальные экстремумы видеосигнала, соответствующие малоконтрастному фрагменту, и поним регулирует уровень черного и размах видеосигнала. Видеосигнал 19(фиг. 2) с выхода второго блока 10ан гоматической нормализации экстремумов позволяет сформировать изображение с высоким контрастом н пределах выбранного оператором фрагмента,за пределами которого часть информации, оказавшаяся ниже уровня 22 черного и выше .уровня 21 белого, теряется.Обработанный видеосигнал 20 (фиг.2),используемый для воспроизведенияизображения микрообъекта на экранеЭЛТ нидеоконтрольного блока 12, снимается с выхода коммутатора 13,управляемого сигналом 16...

Номер патента: 1569911

Опубликовано: 07.06.1990

Автор: Кипнис

МПК: H01J 37/28

Метки: видеоконтрольного, видеосигнала, лучевой, микроскопа, растрового, трубки, устройства, фоторегистрации, экрана, электронно, электронного

...не создает барельефности, Смещение объекта на величинуболее 25 размеров наименьшей существенной детали поверхности,. которую исследуют при данном увеличении, приводит к , двойному негативно-позитивному изображению на. одном снимке. Выбор опре- З 0. деленного значения смещения в указанном интервале обусловлен характеромисследуемого объекта и определяетсяв каждом конкретном случае индивидуально.35Выбор среднего уровня яркости ЭЛТи амплитуды видеосигнала осуществляется из условия обеспечения при Фог торегистрации максимального числадискретных уровней яркости изображения исследуемого объекта за времяэкспозиции, равное длительности двухразверток кадра при неизменной полярности видеосигнала. Это позволя,ет получить высококачественный...

Номер патента: 1569912

Опубликовано: 07.06.1990

Авторы: Немцев, Немцева, Симонов

МПК: H01J 37/28

Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном

...переходной области на этихуровнях. Поэтому измеряют протяженность участка нарастания сигнала отуровня Я, + 0,3(Б - Б) до уровня1 Б + 0,69(Я - Я) на резком участке переходной области (т.е. времяпрохождения зондом расстояния, равно 55го параметру 6 в распределенииГаусса),При этом с увеличением энергииэлектронов зонда РЭМ не сказывается расширение области взаимодействияпервичных электронов с краями вольФрамовой пленки, и точность определениядиаметра зонда не изменяется,П р и м е р. Для измерения диаметра электронного зонда изготавливаютспециальный объект, представляющийсобой набор участков вольФрамовойпленки на кремниевой подложке,Изготовление объекта осуществляют методом ФотолитограФии.Приготовленный объект устанавливают в камеру РЭМ и...

Номер патента: 1580455

Опубликовано: 23.07.1990

Авторы: Казьмирук, Степанов

МПК: H01J 37/28

Метки: детектора, контраста, микроскопа, настройки, потенциального, растрового, электронного

...19.ФСущность способа заключается в следующем.30Настройка детектора производится до измерений на реальных объектах И заключается в выборе оптимальных напряжений на всех электродах детектора. В качестве оптимальных принимаются также напряжения на электро 35 дах детектора, при которых становится абсолютно максимальчым параметр О, который определяется по выходному4сигналу детектора, какАБ.йАгде ДБ - амплитуда переменной составляющей выходного сигнала детектора при малом по амплитуде изменении потенциала образца;А - амплитуда постоянной составляющей выходного сигнала детектора.Указанный параметр 0 пропорционален отношению сигнал/шум в выбранной рабочей точке и, следовательно, обратно пропорционален минимально реГистрируемому детектором...

Номер патента: 1635228

Опубликовано: 15.03.1991

Авторы: Голубев, Карлова, Локшин, Миклин, Шул

МПК: G01N 1/28, H01J 37/28

Метки: «и—или», волокна, высокопористых, исследований, кварцевого, количественных, микроскопах, образцов, оптическом, основе, подготовки, проведения, растровом, электронном

...материала на основе супертонкого кварцевого волокна, пропитанного тем же связующим Роливсан МВи протравленного в плавиковой кислоте в течение 5 мин (Ь/б 10),Вытравливание кварцевых волокон на поверхности шлифа увеличивает контраст получаемых изображений по меньшей мере вдвое за счет искусственного создания контраста по микрогеометрии, причем все структурные характеристики образца сохраняются неизменными (фиг, 1).Напыление тонкого слоя металла на поверхность шлифа не только предотвращает зарядку диэлектрического образца зондом РЭМ, но в случае напыления тяжелых металлов (Ац или Аи) способствует дальнейшему увеличению контраста.Высокое качество получаемых таким образом изображений поверхности позволяет применять такой,...

Номер патента: 1638745

Опубликовано: 30.03.1991

Авторы: Лукьянов, Патрин, Янченко

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскоп, растровый, электронный

...сигнала.ИП 5 выполнен (фиг,2) в виде отрезка волновода, ориентированного перпендикулярно электронно-оптической оси 11 и имеющего высокочастотный вывод 12 через стенку РЭМ. Объект 4 может устанавливаться над или под отверстиями 13, выполненными по ходу электронного пучка в стенках . волновода.Устройство работает следующим образом.Электронный пучок взаимодействует с объектом 4 и генерирует в его приповерхностном объеме неравно весные носители заряда, что приводит к модуляции добротности системы объект - ИП с задержкой во времени адекватно времени жизни неравновесных носителей. Это отражается в виде изменения амплитуды СВЧ-сигнала на Д 8, который проходит по тракту: СВЧ-генератор 7 - циркулятор 6 - ИП 5 - циркулятор 6 - Д...

Номер патента: 1647698

Опубликовано: 07.05.1991

Авторы: Вяхирев, Осипов, Суворинов, Титов, Шахбазов

МПК: H01J 37/28

Метки: пучка, стробирования, электронного

...представлено устройство для стробирования электронного пучка в разрезе.Устройство для стробирования электронного пучка содержит отсекающую диафрагму 1 и однородную коаксиальную линию, образованную внешним полым проводником 2 с отверстиями и внутренним проводником 3 с поперечным разрывом, играющим роль межэлектронного зазора, Предлагаемое устройство для стробирования электронного пучка может быть выполнено следующим образом: внешний полый проводник 2 изготовлен изтонкостенной медной трубки с двумя поперечными отверстиями, внутрь которого вставлен внутренний проводник 3 с разрывом, торцы которого, расположенные вдоль электронно-оптической оси прибора, являются поверхностями отклоняющих электродов. Геометрические размеры внешнего и...

Номер патента: 1677733

Опубликовано: 15.09.1991

Автор: Кипнис

МПК: H01J 37/28

Метки: видеосигнала, микроскопе, растровом, фоторегистрации, электронном

...Составитель В, ГаврюшинРедактор С. Лисина Техред М,Моргентал Корректор М. Максимишинец Заказ 3116 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г, ужгород, ул.Гагарина, 101 Сочетание изменения полярности иуменьшения амплитуды видеосигнала приводит к улучшению воспроизведения деталей изображения в светах и тенях привыравнивании контраста в средних тонах, 5Изменение амплитуды видеосигнала на величину менее 5 оне приводит к заметномуизменению яркости деталей изображения,так как граничная чувствительность восприятия глаза лежит в интервалах 3 - 5% контраста по яркости,Средний уровень яркости...

Номер патента: 1698915

Опубликовано: 15.12.1991

Авторы: Васичев, Смирнов

МПК: H01J 37/28

Метки: микроанализа, образца

...возбуждается рентгеновское излучение, пространственное распределение которого зависит от положения"границ раздела в сложном образце по отношению направления выхода возбуждения излучения,С помощью механизмов приводов 17 и 20 и соответствующих систем 11 и 14 отсчета откалиброванные на равные характеристики детекторы 6 симметрично располагаются над образцом в полярных направлениях= (/ и на расстоянии Ь до входного окна каждого детектора 6, Для повышения точности в определении функции Ц(к) с помощью механизма приводов 18 устанавливаются меньшие по размеру отверстия в диафрагмах 7. Диаметр Й отверстия в диафрагме 7 выбирают исходя из необходимости обеспечить следующее соотношение:Й =- -- )Ь где 1 - расстояние от точки анализадо передней...

Номер патента: 1737558

Опубликовано: 30.05.1992

Автор: Бочаров

МПК: H01J 37/28

Метки: анализа, объекта, растровое, структуры

...мощности Р соответствуетрежиму анализа, уровень мощности Ррежиму подготовки поверхности дляанализа, а уровень мощности Ррежиму испарения,"2 3 ф Б 6 У 9 (О 1тие слоев материала, а в интервалах е-, т-в, ,.и- снятие.осажденного слоя (режим подготовки) .После установки исходных данныхи включения начала работы процессанализа объекта происходит автоматически в следующем порядке.С программатора 14 через генератор 11 развертки задаются напряжения на систему 3 сканирования пучка, которые устанавливают пучок вначальные координаты Х и У исследуемого участка объекта, расположенного на столике 4Одновременно с программатора 14на первую адресную шину блока . 13памяти поступают двоичный код номе"5По окончании анализа слоя программатор 14 через...

Номер патента: 1742897

Опубликовано: 23.06.1992

Авторы: Камалягин, Куляс, Плешивцев

МПК: H01J 37/28

Метки: изображения, микроскопе, растровом, сигналов, электронном

...производится ручная или автоматическая подстройка яркости и контраста в ВКБ 12.Первый и второй детекторы 5 и 6 экстремумов измеряют и преобразуют в цифровой код максимальное и минимальное значения 14 и 15 сигнала 16, Измерение осуществляется на интервале времени прямого хода по кадру. Сброс результатов измерения (подготовка детекторов к следующему измерению) осуществляется кадровым синхроимпульсом, поступающим с второго выхода синхрогенератора 1. Синхронизация аналого-цифрового преобразователя осуществляется тактовыми импульсами, поступающими на детекторы 5 и 6 с третьего выхода синхрогенератора 1,Цифровые коды экстремумов с выходов детекторов 5 и 6 поступают на входы второго блока 9 суммирования, на выходе которого к концу...

Номер патента: 1742898

Опубликовано: 23.06.1992

Автор: Рыбалко

МПК: H01J 37/28

Метки: многофункциональной, настройки, установки, электронно-лучевой

...картины. Пилообразные токи, подаваемые на растровую систему, симметричны относительно нулевой точки; т, е, амплитуда отрицательных токов равна соответствующим амплитудам положительных токов.Далее отключают растровую систему и увеличивают в три раза ток 1 возбуждения формирующей линзы и в девять раз ускоряющее напряжение О. Т. е. 0 36 кВ. Снижение тока возбуждения конденсоров до 0 2 А позволяет увеличить ток пучка до бф 10 А, Время облучения тест-объекта порядка 10 с приведет к испарению серебра под пучком, Этот участок диаметром 2-4 мкм будет выглядеть как отверстие в пленке. Да1742898 Составитель Е. БарышевскийРедактор М. Кузнецова Техред М.Моргентал Корректор О. Ципле Заказ 2290 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по...

Номер патента: 1780127

Опубликовано: 07.12.1992

Авторы: Баликоев, Барченко, Заграничный, Мерник

МПК: H01J 37/28

Метки: микроскопии, образца, подготовки, электронной

...тока, тем лучше будет однородность распыления образца в направлении холловского тока, С другой стороны требования экономичности приводят к минимальным размерам держателя(для обеспечения необходимой плотности ионного тока потребуется небольшой ток разряда). Опытным путем авторы получили соотношение, при котором неоднородность травления образца в направлении холловского тока не превышала 15 О во всем диапазоне рабочих давлений устройства 122 о 4. При невыполнении данного условия наблюдалось более резко выраженная неоднородность, особенно у диэлектрических образцов достигающая на длине образца до 100/что даже с последующим травлением ионными пучками весьма трудно получить симметричный профиль травления с высокой скоростью. В...

Номер патента: 1798834

Опубликовано: 28.02.1993

Автор: Рыбалко

МПК: H01J 37/28

Метки: пластине, чипов

...неподвижной пластины в направлении движения электронного пучка, перемещающегося от узла к узлу. Искомые величины определяются по спектральным характеристикам вто-рично-эмиссионного сигнала. лах первого участка. Подают через зондовую. головку йа чип питающие и рабочие напряжения и начинают последовательное зондирование узлов, постепенно перемещая пучок в сторону следующего контролируемого участка, Причем при облучении каждого узла измеряют величину сдвига спектра вторичных электронов и определяют по этой величине потенциал узла, Одно.временно с этим, по мере перемещения пучка, осуществляют перемещение анализатора энергйй электронов. И так до тех пор, пока 6 се участкй поверхности чипа не будут просканйрованы и протестированы. Затем...

Номер патента: 1823030

Опубликовано: 23.06.1993

Авторы: Дюков, Казаров, Ушахин

МПК: H01J 37/26, H01J 37/28

Метки: микроскопа, параметров, растрового, электронного

...режиме динамической фокусировки.б. Вычисление размера области фокусировки электронного зонда в плоскости штриховой меры а = А/Мю и глубины динамической фокусировки и =(Аг - Афо а /Мю.Признак 1 является общим с прототипом, а признак 2 отличает заявляемое решение от прототипа тем, что при калибровке увеличений микроскопа наблюдают полосы муаровой картины, расположенные вертикально на экране монитора, а в заявляемом решении регистрируется область изображения муаровой картины в целом.На основании исследований, проведенных по патентной и научно - технической литературе установлено, что признаки 3 - б являются новыми. Использование совокупности существенных признаков в указанной между ними взаимосвязи и последовательности...