Патенты с меткой «микро-скоп»

Номер патента: 801136

Опубликовано: 30.01.1981

Авторы: Голубев, Постников, Фетисов

МПК: H01J 37/28

Метки: микро-скоп, растровый, электронный

...и1 б для термического и механического (растяжения, сжатия) воздействия на объект.устройство работает следующим образом.Электронная пущка 1 эмиттируетэлектронный пучок, который Формируется с помощью линз 2 и 3 в электронный зонд малого диаметра на поверхности исследуемого объекта 10, нагретого до требуемой температуры спомощью устройства 15. Под действием электронного зонда с поверхностиобъекта 10 эмиттируются вторичныеэлектроны, обычно обладающие энергией свыше 10 эВ.Вторичные электроны преодолеваютполе кольцевого электрода 12, на который подается отрицательный потенциал ат источника 14, захватываютсяполем второго кольцевого электрода13, на. который подается положительный потенциал от источника 14, ипопадают в канал 5 формирующей линзы...