Видеоконтрольное устройство для растрового электронного микроскопа

(19 Ш за) Н 01 д 37/28ПИСАНИЕ РЕ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТДО ДЕЛАМ ИЗОЬРЕТЕНИй И ОТНР(56) 1. Авторское свидетельство ССС У 565337,. кл. Н 01 3 37/28, 1975.2. Авторское свидетельство СССР У 634397, кл. Н 01 Л 37/28, 1976 (прототип),(54)(57) ВИДЕОКОНТРОЛЬНОЕ УСТРОЙСТВ ДЛЯ РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО ИИКРОСК ПА, содержащее последовательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветокодирования и цветную электроннолучевую трубку,включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блокразвертки, о т л и ч а ю щ е е с ятем, что, с целью повышения информативности при упрощении конструкции,блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выходвидеоусилителя соединен с входом инвертора, первьи входоъ 1 коммутатора имодулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, .а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.11270Изобретение относится к электрон=но-оптическому приборостроению, в частности к устройствам визуализации изображения в электронных микро. скопах со сканирующим лучом.Известно видеоконтрольное устройство (ВКУ) содержащее детектор иэ 7лучения, усилитель, блок разверток, блок цветокодирования и,цветную (однолучевую) электронно-лучевую 10 трубку (ЭЛТ) 1 .Однако сложность схемного решения и малое быстродействие устройства(вследствие недостаточной скорости переключения цветов) снижают цвето вую четкость изображения исследуемого объекта.Наиболее близким техническим решением к изобретению является ВКУ для растрового электронного микроскопа 20 (РЭМ), содержащее последовательно соединенные детектор излучения, видео. усилитель, блок цветокодирования и .цветную ЭЛТ, включающую модуляторы си него, зеленого и красного лучей, а 25 также блок развертки. Блок цветокодирования содержит сумматор, пороговые элементы и две схемы совпадения Я еДанное устройство обеспечивает бо"З 0 ,лее высокое быстродействие коммутации цвета ЭЛТ.Недостатками указанного устройства являются также сложность схем- ного решения (наличие бопьшого коли" чества коммутационных и других устройств) и недостаточное быстродействие (ниже телевизионного стандарта разложения). Кроме того, в нем количество дополнительных цветов 40 в иэображени. на экране ЭЛТ ограничено числом уровней квантования,что снижает информативность цветового иэображения и делает изменение цветовой гаммы дискретным (скачкообраз ным).Цель изобретения - повышение инфор мативности при упрощении конструкции. Указанная цель достигается тем, что в ВКУ для РЭМ, содержащем после довательно соединенные детектор излучения, видеоусилитель, блок цветоко. дирования и цветную ЭЛТ, включающую модуляторы синего, зеленого и красного лучей, а также блок развертки 55 блок цветокодирования содержит инвертор и коммутатор, при этом выход видеоусилителя соединен с входом ин" 24 1/ вертора, первым входом коммутатора и модулятором синего луча трубки, выход инвертора соединен с вторым входом коммутатора и модулятором зеленого луча, а выход коммутатора соединен с модулятором красного луча.На чертеже представлена схема пред. лагаемого устройства.Схема содержит последовательно соединенные детектор 1 излучения, видеоусилитель 2, блок 3 цветокодирования и цветную ЭЛТ 4. Блок 3 цветокодирования состоит из инвертора 5 и ком-. мутатора 6. С РЭМ и ЭЛТ связан блок 7 развертки, ЭЛТ 4 включает модуляторы красного 8, зеленого 9 и синего 10 лучей,Устройство работает следующим образом. Сигнал с исследуемого объекта, преобразованный детектором 1 излучения в электрический сигналпоступает навход видеоусилителя 2, усиливаетсяим до величины, необходимой для модуляции электронного луча ЭЛТ,и подается на модулятор 10 синего луча ЭЛТ.Одновременно с выхода видеоусилителя 2 сигнал поступает на вход инвертора 5, который изменяет фазу сигнала на 180относительно входного сигнала, С выхода инвертора 5 сигналподается на модулятор 8 красного луча ЭЛТ. Модулятор 9 зеленого луча спомощью коммутатора 6 подключается либо к выходу вндеоусилителя 2, либок выходу инвертора 5 для модуляции зеленого луча прямым или инвертированным на противоположную полярностьсигналом для изменения цветовой окраски изображения на экране ЭЛТ 4. Врезультате совместной работы электронных прожекторов синего и красного лучей модулированных по яркости прямым и обратным видеосигналами, на экране ЭЛТ происходит смешивание этих основных цветов с плавным переходом отсинего к красному через всю гаммуполутонов в зависимости от вклада величины прямого и обратного видеосигналов. За счет плавного перехода полутонов удается выделять по цвету наиболее тонкие структурные неоднородности объекта, так как глаз чувствителен к малйшим изменениям цвета иособенно к цветовому. контрасту. Изменение полярности видеосигнала с помощью инвертора 5 и коммутатора 6 поз.воляет значительно увеличить конЗаказ 8749/41 Тираж 682 . Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5филиал ППП"Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4 3 112702 траст выделяемых деталейизображения путем смены цветового контраста. При этом. удается выделять мелкие и нераз" личимше на черно-белом изображении детали изображения образца, так как цветовой контраст деталей,изображения резко изменяется, и глаз легко обнаруживает этот контраст, даже если полутон исследуемой детали изображения мало отличается от фона. Это 10 происходит потому, что,например, если на синем фоне видна голубая полоска, то. после переключения видеосигнала от йнвертора в другой цвето" вой канал, эта полоска станет темно желтой на желтом фоне и т.д. 4 4Таким образом, предлагаемое устройство позволяет повысить информативность иэображения объекта эа счет повышения контраста его даталей при одновременном упрощении схемы устройства за счет исключения большого. числа коммутирующих устройств в бло" ке цветокодирования. ВКУ может быть использовано в устройствах визуализации изображения в электронных микроскопах со сканирующим лучом, где оно позволяет за счет повышения информативности изображения повысить качество и информативность исследования объектов в РЭМ.