Устройство визуализации объекта в электронном микроскопе

ОПИСАНИЕ565337 Союз СоеетскииСоциалистическихРеспублик ИЗОБРЕТЕН ИЯ) М. Кл.2 Н 013 37/2 21) 2191193/2 явки М присоединением Государственный комитеСовета Министров СССРпо делам изобретенийи открытий 23),Прноритст -Олубликовано 15.07,7 621.385.833(71) Заялптел 4) УСТРОЙСТВО ВИЗУАЛИЗАЦИИ ОБЪЕК В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕформиаждый 30 1Изобретение относится к области элесктронной микроскопии, в частности, к области создания устройств визуализации в электронных милороекопах, работающих в,растровом ре киме.Известны устройства,для визуализации потенциального рельефа объекта в растровых электронных микроскопах, в которых видео- контрольные устройства (ВКУ), выполнены на черно-белых электронно-лучевых трубках (ЭЛТ), что,позволяет получить изображение исследуемого объекта, характеризующееся высокой временной разрешающей способностью, по ограничивает разрешающую слособность по контрастности 1 Ц.Переход к цветным ВКУ позволил повысить разрешающую способность по контрастности и, следовательно, увеличить информационную способность растровых электронных микроскопов при исследованиях широкого круга объектов.Наиболее близким по технической сущности является устройство визуализации объекта в электронном микроскопе, содержащее,детектор излучения, усилитель видеосигнала, видеоконтрольное устройство с цветным кодированием,потенциального рельефа и источник ускоряющего напряжения 2.Это устройство имеет три канала рования и у 1 силения видеосигналов, к из которых содержит детектор излучения и усилитель видеосигнала, и ВКУ, выполненное на трехлучевой цветной ЭЛТ с мозаичной структурой экрана, три управляющие сетки которой модулируют интенсивность трех сканирующих пучков электронов. Вследствие различия в энергиях электронов, эмиттированных с участков с различным потенциалом, каждый участок образца отображается в определенном цвете в зависимости от его потенциала.Цветокодирование с использованием цветпой ЭЛТ с тремя сканирующими пучками электронов позволяет увеличить разрешающую способность по контрастности, что дает возможность оператору более точно различать структуру исследуемого образца, однако ограничивает временную разрешающую способность. Кроме того недостатком прототипа является и,неоднозначсность цветокодирования, Так, папркмер, цвет сигнала с определенной спектральной структурой в зависимости отинтеисивности может казаться еым и коричневым, в то же время коричневый цвет может быть синтезирован при другой интенсивности н другой спектральной структуре сигнала.Целью настоящего изобретения является улучшение разрешающей способности и устранение неоднозначности цветового кода.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве впдеоконтрольное устройство вы полнено на однолучевой цветной электроннолучевой трубке с непрерывной структурой экрана, а амплитудный дискриминатор и усили. тель, соединенный с источником ускоряющего напряжения, включены между управляющим и ускоряющим электродами трубки.Е 1 а чертеже подсказано предлагаемое устройство.Источник электронов 1 создает пучок электронов. Фокусирующая система 2 формирует электронный зонд 3, который под действием отклоняющей системы 4 сканирует по исследуемому объекту 5. Детектор излучения 6 преобразует сипнал от вторичных элекгронов, излучаемых микроучастком исследуемого объекта, в видеоситнал, который усиливаегся усилителем видеосигнала 7 и подается на управляющий электрод ЭЛТ 8 для управления интенсивностью сканирующего под действием опклоняющей системы 9 луча и на амплитудный дискриминатор 10. Амплитудный дискриминатор 10 квантует видеосигнал на уровни, каждому из,которых соответсгвует определенный цвет свечения ЭЛТ 8. Выходной сигнал амплитудного дискриминатора 10 управляет усилителем 11, питающимся от источника ускоряющего напряжения 12, Устройство включает также генератор отклонения пучочков 13. Сигнал с выхода усилителя 11 изменяет, потенциал на ускоряющем электроде ЭЛТ 8, что, в свою очередь, изменяет цвет свечения экрана ЭЛТ.Таким образом, видеосигнал, полученный из потенциального рельефа исследуемого образца, разбивается по амплитуде на ряд дискрегных уровней и каждый из этих уровней изображается на экране ЭЛТ определенным цветом. Изменение амплитуды видеосипнала,5653374соответсгвующего какой-либо точке образца, в пределах определенного уровня амплитуды будет изменять яркость соответствующей точ.ки экрана, при этом цвет данной точки экра 5 па будет определяться уровнем видеосигнала,Предлагаемое устройсгво позволяет повысить, временную разрешающую способность с сохранением высокой разрешающей способности по контрасгности, что дает возмож 10 ность более точно различать структуру исследуемого объекта и исключить ошибки при анализе контрастности изображения.Формула изобретения15Устройство визуализации объекта вэлектронном микроскопе, содержащее детектор излучения, усилитель видеосигнала, ви,деоконтрольное устройство с цветным кодиро ванием,потенциального рельефа и источникускоряющего напряжения, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повыщения разрешающей способности и устранения неоднозначности цветового, кода, видеоконтрольное устройство25 выполнено на однолучевой цветной электронно-лучевой трубке с непрерывной структурой экрана, а амплитудный дискриминатор и усилитель, соединенный с источником ускоряющего напряжения, включены между управ.Зо ляющим и ускоряющим электродами трубки,Источники иноформации, принятые во внимание при экапертизе1. Проопект фирмы Сап 1 Ьг 1 дде Ьс 1 епЯ 1 с.З 5 1 пз 1 гцгпеп 1 з 1.Ы на растровый электронный микроскоп Яегеоэсац Ь 4,2. Патент США3628014, кл. 250 в .5,опублик. 22.12.1969 (проготип).565337 Составитель В. Обухов Техред 3, Тараненко Редактор И. Шубина 1(орректор О, Тюрина МОТ, Загорский филиал Заказ 5805 Изд.580 Тираж 995 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5