Растровый электронный микроскоп

(1% (113 37/28 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЕТЕЛЬСТВУ К АВТОРСКОМ ектрононо во СССР1976. кристал ЭлектроЭЛЕ КТРОННЫИ(57) Изти микриспользциаловизобрет ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ(71) Московский институтного машиностроения(56) Авторское свидетельсУ 693483, кл. Н 01 3 37/2Фазекас П. Исследованилов СВИС с помощью РЭМ.ника, 1981, 9 14, с. 24-3 обретение относится к обласозондовой техники. Может быть овано при анализе микропотенна поверхности объектов. Цель ения - повышение точности измерения микропотенциалов достигаетсяпутем обеспечения коррекции погреш -ностей при отклонении зонда и приизменении расстояния от исследуемойповерхности до вытягивающего электрода. Микроскоп содержит электронно-оптическую систему 1 с блоком питания 11, отклоняющую систему 2, соосный электроанализатор с тормозящим 3 и вытягивающим 4 электродами,регулируемые источники 5 и 6 напряжения. Схема визуализации изображения содержит преобразователь 7 токавторичных электронов, усилитель 8,индикаторный блок 9, а также синхронизирующий задающий генератор 1 О.На электронно-оптической оси установлен объектодержатель 12. Усилительв олнен с возможностью коррекцииИзобретение относится к области микрозондовой техники, в частности к растровой электронной микроскопии, и может быть использовано при анализе микропотенциалов на поверхности объектов.Целью изобретения является повышение точности измерения микропотенциалов поверхности объектов за счет обеспечения коррекции погрешностей при отклонении зонда и при изменении расстояния от исследуемой поверхности до вытягивающего электрода.На фиг.1 показана схема растрового электронного микроскопа (РЭМ); на фиг.2 - зависимость вторйчно-эмиссионного сигнала 1 от положения зонда на поверхности объекта (Э - диаметр отверстия вытягивающего электрода) для ряда значений переднего рабочего отрезкаформирующей линзы РЭМ.1РЭМ содержит (фиг.1) электронно-оптическую систему (ЭОС) 1, отклоняющую систему 2, энергоанализатор с тормозящим 3 и вытягивающим4 электродами, которые соединены срегулируемыми источниками 5 и 6 напряжения соответственно. Схема визуа.лизации изображения включает посчедовательно соединенные преобразователь 7 тока вторичных электронов,усилитель 8 и индикаторный блок 9Выходы задающего генератора 10 соединены с отклоняющей системой 2,усилителем 8 и индикаторным блоком9. Блок 11 питания ЭОС соединен стретьим входом усилителя 8, а второйвыход последнего соединен с входомисточника 5 регулируемого напряжения тормозящего электрода 3. На электронно-оптической оси РЭМ установлен объектодержатель 12, В качествеусилителя 8 можетбыть использованцифровой измерительный блок ВР 5521. с программируемым устройством, например, типа "Электроника",Устройство работает следующимобразом.Электронный зонд, сформированный ЭОС, воздействует на исследуемыйобъект. Вытягивающим электродом 4формируется поток вторичных электронов, С помощью тормозящего электрода 3 вторичные электроны фильтруются по энергиям с разрешением0,01-0,2 эВ. Прошедшие электроны попадают на преобразователь 7, сигнал с которого усиливается и поступает на индикаторный блок 9. Задающий генератор 10 синхронизирует от клонения электронного зонда и электронного луча трубки индикаторногоблока,При отклонении зонда величины1 вторично-эмиссионного сигнала 10 имеет характерную зависимость отвеличины переднего рабочего отрезка Г и от положения зонда на поверхности объекта относительно электронно-оптической оси. Для коррекцииэтой зависимости, которая должнаиметь вид прямоугольника, на дополнительные второй и третий входы усилителя 8 подаются корректирующиесигналы от блока 11 питания ЭОС длякомпенсации изменения сигнала от величины Г и от задающего генератораО для компенсации изменения сигналаот положения Х зонда, Корректирующие сигналы заносятся в память программируемого устройства в виде табличных данных, получаемых экспери.ментальным путем. В результате обеспечивается повышение точности измере.ний микропотенциалов поверхности ЗО объекта.Формула изобретенияРастровый электронный микроскоп, З 5 содержащий соосно установленные электронно-оптическую систему с блокомпитания, отклоняющую систему и энергоанализатор с кольцевым вытягивающим и тормозящим электродами, элек О трически соединенными с регулируемыми источниками напряжения, и схемувизуализации изображения, включающуюпоследовательно соединенные преобразователь тока вторичных электронов, 45 усилитель, второй выход которого соединен с источником напряжения тормо.зящего электрода, и индикаторныйблок, а также задающий генератор,выходы которого соединены с отклоня О ющей .системой и индикаторным блоком,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью повышения точности измерениямикропотенциалов поверхности объектов, выход задающего генератора со единен с вторым входом усилителя,а второй выход блока питания электронно-оптической системы соединенс третьим входом усилителя.1275586 Составитель В,Гтилло Техред И.Ходаннч рюшин Редактор Л Эака 6572/48 Тираж 643 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, 11(-35, Ра