Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(19) 111 01 г 37 г ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(46) 07.12,86. Бюл, В 45 (71) Московский институт электронного машиностроения(53) 621.385,833 (088.8) (56) Патент ФРГ У 2640260, кл, Н 01 Э 37/28, опублик. 1978.Авторское свидетельство СССР У 983822, кл. Н О 1 У 37/28, 1981. (54) ЗОНДОФОРМИРУЮЩАЯ СИСТЕМА РАСТ РОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к систе мам формирования электронного зонд в растровых электронных микроскопа Цель изобретения - уменьшение времени анализа и упрощение конструкции.При флуктуациях высокого напряженияего переменная составляющая подается на проводящий магнитопровод 3фокусирующей линзы и объектодержатель 4. При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зондовотносительно эквипотенциальной области, ограниченной фокусирующей линзой и объектодержателем 4. Таким образом, постоянство фокусного расстояния линзы независимо от колебанийэнергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмиссионного сигнала и уровень тока зонда, что сокращает время анализа.1 ил.Формула и з о б р е т е н и я Составитель В, ГаврюшинТехред И.Ходанич Корректор В. Синицкая Редактор Л. Гратнлло Тираж 643 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4(5 Заказ 6572(48 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4В 1 12755Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах (РЭМ), 5Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации, флуктуаций энергетических параметров зонда, 1 фНа чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, вы" ход переменной составляющей напряже" ния которого электрически сбединен с магнитопроводом 3 фокуснрующей магнитной линзы и объектодержателем 4. Объект 5 установлен на объектодержателе 4 через изолирующую прокладку 20 6, а магнитопровод 3 фокусирующей линзы размещен на изоляторе 7.Сущность изобретения заключается в том, что при флуктуациях высокого напряжения его переменная составляющая .подается на проводящий магнитопровод 3 фокусирующей линзы и объектодержатель 4При этом обеспечивается постоянство энергии электронов зонда относительно эквипотенциальнойобласти, ограниченной фокусирующейлинзой и объектодержателем, и , следовательно, постоянство фокусногорасстояния линзы независимо от колебаний энергии электронов. В результате повышается стабильность вторично-эмиссионного сигнала и уровеньтока зонда, что позволяет сократитьвремя анализа. Введение предложенныхобратных связей достаточно простоможет быть реализовано для серийновыпускаемых РЭМ,Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа, содержащая источник электронов, соединенный с высоковольтным блоком питания фокусирующую магнитную линзу с магнитопроводом и объектодержатель, о тл и ч а ю щ а я с я тем, что, с целью уменьшения времени анализа при упрощении конструкции системы, выход переменной составляющей напряженйя высоковольтного блока питания электрически соединен с магнитопроводом и объектодержателем.
СмотретьЗаявка
3657435, 27.10.1983
МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ
ПАНКРАТОВ ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ, РЫБАЛКО ВЛАДИМИР ВИТАЛЬЕВИЧ, ТИХОНОВ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01J 37/28
Метки: зондоформирующая, микроскопа, растрового, электронного
Опубликовано: 07.12.1986
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1275585-zondoformiruyushhaya-sistema-rastrovogo-ehlektronnogo-mikroskopa.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Зондоформирующая система растрового электронного микроскопа</a>
Способ контроля распределения мощности пучка электронов электронно-лучевой пушки и устройство для его осуществления
Номер патента: 1588521
Опубликовано: 30.08.1990
Авторы: Безденежный, Ермакова, Кайдалов, Ланкин, Леоненко, Пастушенко, Саморукова, Стрекаль
МПК: B23K 15/00
Метки: мощности, пучка, пушки, распределения, электронно-лучевой, электронов
...14 выдает сигнал включения электронной пушки на рабочий режим, Мощный пучок 21 проходит по пластинам 6 и 7, которые являются датчика 5 10 15 20 25 30 35 40 50 55 ми тока и подключены к формирователю 13, который представляет собой дифференциальный блок. За счет вычитания токов, протекающих через пластины 6 и 7, на выходе формирователя 13 получают сигнал 22, отображающий сечение пучка 21 электронов зазором 8. После прохождения пучком 21 электронов пластины 6 формирователь 14 выдает сигнал перевода электронной пушки 1 в ждущий режим, Формирователь 14 представляет собой усилитель-ограничитель с сумматором на входе. Другим конструктивным решением блока 14 является использование триггера, запуск которого выполняется передним фронтом...
Способ измерения диаметра электронного зонда в растровом электронном микроскопе
Номер патента: 884005
Опубликовано: 23.11.1981
Авторы: Голубев, Силаев, Степанов
МПК: H01J 37/28
Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном
...4, камера 5 объектов, стол б объектов, кристалли детектор 8 вторичных электронов. В систему обработки информации входят ВКУ 9, измерительное устройство 10, и вычислительный блок 1. На фиг. 2 показано взаимное расположение граней кристалла 7 относительно электронного зонда 2 и направления выхода вторичных электронов 13. Кривые сигналов 14 - 1 б соответствуют различным диаметрам зонда, наименьшему из которых соответствует кривая 4.Устройство работает следующим образом.Электронный пучок, создаваемый электронной пушкой 2, формируется с помощью линзы 3 в электронный зонд малого диаметра на поверхности размещенного на столе объектов б объекта 7. Сканирование электронным зондом поверхности объекта осуществляется с помощью отклоняющей системы...
Электростатическая линза для электронных микроскопов
Номер патента: 74547
Опубликовано: 01.01.1949
Автор: Янчевский
МПК: H01J 29/62, H01J 37/26
Метки: линза, микроскопов, электронных, электростатическая
...выполне,ние.Первый по пути электронного луча электрод линзы выполнен плоским по всей его поверхuостн, а второй и третий электроды имеют плоские части, параллельные в области прохождения электронного луча плоскости первого электрода. Такая конструкция позволяет легко располагать исследуемый объект на поверхности первого электрода, так как фокальная плоскость линз оказывается вынесенной за ее пределы.Конструктивное выполнение изобретения,поясняется прилагаемым чертежом, где фокальная плоскость отмечена буквой Р. Преимуществом предлагаемой электростатической линзы является меньший вес и объем ее по сравнению с ранее известными, а также простота ее изготовления, так как изолятор среднего электрода имеет форму простого гладкого цилиндра,...
Линза для электронно-оптической системы
Номер патента: 109277
Опубликовано: 01.01.1957
Автор: Фридрих
МПК: H01J 29/56, H01J 29/64, H01J 37/26
Метки: линза, системы, электронно-оптической
...выполнена материала, навольфрама. т систе диаф тем, асим аперт из сл прим электр бженнот, цель агнитн диафр итногорбида за длямы, сцарагмой,что, спетрин ьурнаяабомагнер из ка Предметом изобретения является линза для электронно-оптической системы, в частности, для электронных микроскопов с электромагнитным или магнитно-статическим возбуждением и системой пол юсных наконечников, с помощью которых магнитное поле концентрируется в зазоре, где проходит пучок электронных лучей. Для устранения краевых лучей в таких линзах служат апертурная диафрагма, расположенная по ходу луча, ниже зазора.Согласно изобретению, с целью уменьшения асимметрии магнитного поля линзы, апертурную диафрагму изготовляют не из цемагнитного материала, например из...
Блок объективной линзы эмиссионного электронного микроскопа
Номер патента: 519790
Опубликовано: 30.06.1976
Авторы: Каган, Крапухин, Розенфельд
МПК: H01J 37/26
Метки: блок, линзы, микроскопа, объективной, электронного, эмиссионного
...поясняется чертежом, где - полюсный наконечник объективной лин 2 - магнитопровод объективной линзы,- обмотка возбуждения объективной лин- , 4 - катод устройства травления объекта, 5 - анод устройства травления объекта (стержневая часть держателя апертурной диафрагмы), 6 - стол апертурной диафрагмы, 7 - изолятор, 8 - объект,В канале полюсного наконечника 1 объективной линзы, включающей магнитопровод 2 и обмотку возбуждения 3, расположен цилиндрический стакан 4, выполняющий роль катода устройства травления, а анодом устройства травления служит стержневая часть 5 держателя апертурной диафрагмы, установленного на столе апертурной диафрагмы 6,Устройство работает следующим образом.При подаче напряжения на анод устройства травления 5 и...
Предыдущий патент: Устройство для перемещения образцов в вакуумной камере
Следующий патент: Растровый электронный микроскоп
Случайный патент: 414781