Импульсный корпускулярный микроскоп

(54) УСКУЛЯРНЫЙ МИКРОС П 1Изобретение относится к мивой технике,в частности к устрон их элементам для формированиялиза изображений объектов.Известен импульсный корпускумикроскоп, содержащий системурования зонда, детектор, блок форвания видеосю нала и индикаторныблок 1 ,Недостатком этбго устройствается ухудшение качества нзобравызванное флуктуациями тока зондводящими к снижению отношения сшум, разрешающей способности ива изображения. иненный мой и инд раняется апе зонда, выэастиц и не й рюрешаНаиболеетехническойный корпускший системутурной диафрнос лед оватеблок форкаторный б ретению по ется импульскор, содержа- зонда с апершую систему е детектор, нала и ищаиающий генераблизким к изобсущности являулярный микросформированияагой, отклоняюльно соединеннымирования видеосиглок, а также зад вания ви: крозондо- тор, соед с отклоняющей систействам икаторным блоком, и устройи ана ство контроля параметров зонда;. подключенное к апертурной диафрагме Г 23 .лярный В этом микроскопе регистрируют сигформи- . нал с апертурной диафрагмой и изМенямиро- ют потенциал катода источника электрой нов, чем обеспечивают стабилизацию тока зонда.Однако при этом не устриодическая расфокусировкаванная изменением энергии чпозволяющая получить высокоющей способности,15 Целью изобретения является дальнейшее повышение разрешающей способнооти микроскопа,Указанная цель достигается тем, чтов импульсном корпускулярном микроскопе, содержащем систему формированиязонда с апертурной диафрагмой, отклоняющую систему, последовательноненные детектор, блок формиро3 98382деосигнала, и индикаторный блок, а также задающий генератор, соединенный сотклоняющей системой и индикаторнымблоком, и устройство контроля параметров зонда, подключенное к апертурнойдиафрагме, устройство контроля параметров зонда "содержит усилитель, анализатор импульсов, генератор управляющихсигналов, и блок отсечки, при этомусилитель подключен к апертурной ди Оафрагме и соединен с анализатором импульсов, выходы которого соединены сгенератором управляющих сигналов с индикаторным блоком, а выходы генераторауправляющих сигналов соединены с задшим генератором и блоком отсечки,включенным между блоком формированиявидеосигнала и индикаторным блоком.На чертеже изображена схема микроскопа.Импульсный корпускулярный микроскопсодержит систему формирования зонда,состоящую из источника 1 электронов,апертурной диафрагмы 2 и фокусирующей линзы 3, внутри которой размещенаотклоняющая система 4. Вблизи объекта5 размещен детектор 6, соединенный сблоком 7 формирования с видеосигнала,торый через блок 8 отсечки соединен синдикаторным блоком 9. К отклоняющейсистеме 4 подключен задающий генератор 10, соединенный с индикаторнымблоком 9, К апертурной диафрагме 2подключен усилитель 11, соединенный санализатором 12 импульсов, выходы которого соединены с генератором 13 управляющих сигналов и индикаторным блоком. 9. 40 45 55 Микроскоп работает следующим образом,Импульсный источник 1 электроновгенерирует зонд, периферийная часть которого оседает на апертурной диафрагме2. Фокусирующая линза 3 окончательноформирует зонд, который сканируется поповерхности объекта 5 отклоняющей системой 4.Импульсы характеристическогоизлучения регистрируются детектором 6и преобразуются в видеосигнал в блоке7 формирования,Далее сигнал проходит через блок отсечки, который может находиться в двухсостояниях; отсечка и нродускание, и управляется по командам генератора 13управляющих сигналов. С выхода блокаотсечки сигнал поступает на вход индикаторного блока 9, на другой вход которого поступает сигнал синхронизации от 4задающего генератора 10. В моменты формирования зонда импульсы, поступающие с апертурной диафрагмы 2, усиливаются в резонансном усилителе 11 и поступают в анализатор 12 импульсов, в котором происходит выделение тех из них, которые имеют амплитуду в заданном диапазоне, Прохождение такого иьь пульса сопровождается генерированием управляющего сигнала с генератора 13 на входы блока 8 отсечки, задающегопенератора 10 и индикаторного блока 9.При этом происходит дискретное изменение возбуждения отклоняющей системы 4 и перемещение зонда в следующийэлемент растра, а также перевод блока8 отсечки в состояние пропускания. Импульсы с амплитудой, превышающей заданный диапазон приводят к инерции управляющего сигнала на состояние отсечкиблока 8.Таким образом, по контрольным сиг- налам с амплитудной диафрагмы в составе видеосигнала уменьшается шумоваясоставляющая, обусловленная колебаниями тока источника электронов, и за счетповышения отношения сигнал/шум повышается разрешающая способность анализа. Дополнительная связь передачиуправляющего сигнала с генератора 13на индикаторный блок 9 обеспечиваеттребуемый уровень, получаемой информациипоскольку середина диапазона изменения амплитуды импульсов, снимаемыхс диафрагмы 2, совпадает с вероятностнои амплитудой анализируемой последовательности зонда. При изменении масштаба увеличенйя на индикаторном блоке 9 с него может быть снят сигнал на анализатор 12 импульсов, изменяющий диапазон разброса амплитуд обрагно пропорционально выбранному масштабу увеличения.Использование изобретения в технологических процессах микроэлектроники позволит. повысить выход годных изделий. формула изобретения Импульсный корпускулярный микроскоп, содержащий систему формирования зонда с апертурной диафрагмой, отклоняюшую систему, последовательно соедипенные детектор, блок формирования видеосигнала и индикаторный блок, а такжезадающий генератор, соединенный с оэ5 983822 б клоняющей системой и индикаторным бло- йалов и индикаторным блоком, а выходы ком, и устройство контроля параметров генератора управляющих сигналов соединезонда, подключенное к апертурной диаф. ны с задающим генератором и блоком оз рагме, отличающийсятем, сечки, включенным между блоком формичто, с целью повышения разрешающей % .рования видеосигнала и индикаторным способности микроскопа, устройство кон- блоком.троля параметров зонда содержит усилитель, анализатор импульсов, генератор Источники информации, управляющих сигналов, и блок отсечки, принятые во внимание при экспертизе при этом усилитель подключен к апер-. 1 О 1 Патент фРГ % 2640260, турной диафрагме и соединен с анализа- кл. Н 01 37/28, опублик. 1978. тором импульсов, выходы которого сое. Патент Англии М 1431069, динены с генератором управляющих сиг- кл. Н 1 В, опублик. 1976 (прототип).-филиал ПП жгород, ул, Проектна 9938/64 Тираж 761 ВНИИПИ Государственного по делам изобретений 113035, Москва, Ж 335, Р ПфП " Укомитета открытий ушская на