Ионно-эмиссионный микроскоп
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 184366
Авторы: Дер, Кушнир, Розенфельд
Текст
ОП ИСАН И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Сове Советских Социалистических РеслтСливЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 25.1 Х.1964 ( 922317/26-25) Кл. 21 д, 37/01 с присоединением заявкиПриоритет МПК Н 011УДК 621,385.833(088,8 Комитет ао деламо 0 рвтений и открытири Совете МинистровСССР Опубликовано 21.Ч 1.1966, Бюллетеньсания 10.1 Х.19 ата опубликовани ц и Н.62 Кагатт"Г Г. В. Дер-Ш озенфе Заявитель ННО-ЗМИССИОННЫЙ МИКРОСК Извести лемецтов по по содержа щтростатичство, выдределеннотель и регВ этихрующее пэмиттировобъекта,ра и устасионным Лвторыизобретения 1 О, М, Кушнир, Л ы иоццо-эмиссионные микроскопы, ие аксиально-симметричную элекескую систему, диафрагму, устройеляющее из ионного пучка ионы опй массы, коллектор ионов, усилиистрирующее устройство.микроскопах устройство, анализиучок вторичных ионов по массам, апных с поверхности исследуемого выполнено в виде магнитного сектоновлецо непосредственно за иммеробъективом. Предлагаемое устройство дает возможность наблюдать объект как с использованием полного спектра эмиттированных им ионов, так и с использованием ионов, выделенных устройством, анализирующим ионный пучок по массам.В предлагаемом микроскопе установлена схема развертки, синхронизированная с регистрирующим устройством и пропускающая увеличенное ионное изображение поэлемептно через диафрагму, а устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, установлено между диафрагмой и коллектором ионов (цапример, первым динодом вторично-электроцного умнокителя). Такая конструкция позволяет повысить разрешение микроскопа и наблюдать распределепие различных химических эверхцостц образца.На чертеже изображена схема предлагае.мого ионно-эмиссиоцного микроскопа,С помощью аксиально-симметричной оптической системы формируется изображение вионах, идущих от объекта, В плоскости 1, гдеформируется ко ечцое изображение объекта,па пути ионов установлена диафрагма 2 с10 диаметром отверстия, равным величине разрешаемого расстояния микроскопа, умноженнойна электронно-оптическое увеличение в плоскости диафрагмы, С мощю системы развертки 3 через диафрагму поочередно пропускаются пучки ионов, формирующие изображение отдельных элементов обьекта,Ионный пучок, прошедший через диафрагму 2, попадает на коллектор ионов 4 (например, первый дцнод вторично-электронногоумножцтеля), соединенный с усилителем б.При этом на вход усилителя б поступают импульсы тока, амплитуда которых пропорциональна ионному току, создаваемому соответствующими элементами объекта.Усиленный сигнал подается па регистрирую,цее устройство б, с которым синхронизирована система развертки 3. В результате врегистрирующем устройстве б (напрцмер, цаэкране кинескопа) получается ионно-эмиссц30 онцое изобракение объекта,Заказ 2537/9 Тираж 1550 Формат бум, 50 Х 90/з Объем 0,16 изд. л. ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр, Серова, д, 4 Типография, пр. Сапунова, д. 2 Установив непосредственно за диафрагмой 2 устройство 7, анализирующее ионный пучок по массам, и настроив его на ионы определенного химического элемента, можно получить в регистрирующем устройстве б изображение объекта в выделенных ионах, то есть распределение определенного химического элемента по поверхности объекта. Предмет изобретенияИонно-эмиссионный микроскоп, содержащий аксиально-симметричную электростатическую оптическую систему, диафрагму, устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, коллектор ионов (например, первый динод вторично-электронного умножителя), усилитель, регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешения микроскопа и наблюдения распределения различных химических элементов по поверхности образца, в нем установлена система развертки, синхронизированная с регистрирующим устройством 10 и пропускающая увеличенное ионное изображение поэлементно через диафрагму, а устройство, выделяющее из ионного пучка ионы определенной массы, установлено между диафрагмой и коллектором ионов.
СмотретьЗаявка
922317
Ю. М. Кушнир, Л. Б. Розенфельд, Г, Дер Шварц
МПК / Метки
МПК: H01J 37/28
Метки: ионно-эмиссионный, микроскоп
Опубликовано: 01.01.1966
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-184366-ionno-ehmissionnyjj-mikroskop.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ионно-эмиссионный микроскоп</a>
Предыдущий патент: Зеркальный электронный микроскоп
Следующий патент: 184367
Случайный патент: Способ прогнозирования неосложненных форм инфаркта миокарда