Калябина

Номер патента: 113051

Опубликовано: 01.01.1958

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48

Метки: изотопов, нанесения, пленок, элементов

...нужное значение напряженности магнитного поля Выделенный таким образом чистый ионный луч пропускается через систему отклонения 4, например, аналогичную системе отклонения электронного луча в электронно-лучевой трубке, которая разворачивает луч таким образом, что он последовательно во времени многократно пробегает участок поверхности б, предназначенной для покрытия. Нейтрализуясь на поверхности, ионы создают свободную от загрязнений пленку.Описываемь 1 й спо,"об отличается от ионного способа нолучення тонких пленок, описанного в авт. св.М 0 109057, введением в последний метода очистки с помощью магнитного анализатора. Ниже приводится ориенМ 113051тировочный расчет времени, необходимого для получения пленки очень чистого серебра толщиной...

Номер патента: 110532

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48, C23C 14/52

Метки: массы, пленки, распределения

...распределения массы пленки по . ее координатам с помощью ионной пушки и системы отклонения ионного луча по авт, св,109057, отличающийся тем, что, с целью получения пленки с требуемой переменной толщиной и конфигурацией, регулируют ин 1 ч исивность ионного луча по заданному функциональному закону с по. мощью известного модулятора плотности тока, подключаемого к ионной пушке, а развертку ионного луча производят нс по линейному, а по соот;ветственно заданному закону, изменяя потенциалы отклоняющей системы с помощью подключаемого к ней известного устройства.Отв. редактор И. В. Макаровтандартгиз. Поди. к печ. 22/11 г 1958 г. Объем 0,125 п. л. Тираж 600. Цена 25 коТипография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР...

Номер патента: 109057

Опубликовано: 01.01.1957

Авторы: Калябина, Рукман, Юхвидин

МПК: C23C 14/48

Метки: пленок, тонких

...в виде атомов или молекул, образуя тонкую пленку. Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРРедактор И. М. Макаров. Гр. 209 Подп, к печ. 15.Ч 11-59 г.Тираж 1200 Цена 25 коп. Информационно-издательский отдел.Объем 0,17 п, л. Зак. 2989 Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 14, Количество наносимого вещества определяется временем напыления и силой ионного тока. Так как обе эти величины могут контролироваться с большой степенью точности, то это дает возможность получения неограниченного количества идентичных пленок. Ниже для оценки возможностей метода приведен ориентировочный расчет времени, необходимого для получения пленки серебра толщиной в 0,5 микрона на...