Способ осаждения металлов

Номер патента: 284555

Авторы: Бондарь, Егорычев, Емель, Розен

ZIP архив

Текст

О П И у",. Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт, свидетельстваЗаявлено 08,Х.1962 ( 797574/22-1с присоединением заявкиКл, 48 Ь, 17/ МПК С 23 с 17/00УДК 621,793.14 (088.8) риоритетпубликовано 14.Х.1970. Бюллетень32 ата опубликования описания 9.11,1971 Комитет по делан изобретений и открьпий при Совете Министров,Д.Б зико-технический институт АН Украинской ССР аявител ПОСОБ ОС Н ИЯ МЕТАЛЛОВ ный генератор. На внутренней стороне расположенных в камере электродов генератора закрепляют подложки. Предварительная откачка вакуумной камеры до остаточного давления 10 ял рт. ст, практически исключает загрязнение пленки продуктами ионизацип остаточных газов. Путем изменения частоты и мощности высокочастотного разряда регулируют скорости процесса ионизации паров соединений металлов.Способ ения пок и,тем ионпза- электростатем, что, с цесса осажскп, иониза- кочастотном Способ осаждения металлов пцип паров соединений металлов втическом поле, отлпчаощийсяцелью регулирования скорости прдения на неподогреваемые подлоцию паров осуществляют в высоразряде. Изобретение относится к способам осаждения металлов, например, при нанесении покрытий, получении тонких пленок и мишеней для физико химических исследований.Известен способ осаждения металлов путем понизации паров соединений металлов в электростатическом поле. Но ионизацию осуществляют радиоактивными препаратами, что затрудняет регулирование скорости процесса осаждения и требует подогрева подложек. 10Предлагаемый способ устраняет указанные недостатки и позволяет регулировать скорость процесса осаждения металлов на неподогреваемые подложки, Осаждение металлов осуществляют путем ионизации паров соедине ний металлов в высокочастотном разряде в электростатическом поле.При осуществлении способа мозкет использоваться ооычная вакуумная установка. На образец подают отрицательный потенциал по рядка 500 - 2000 в и включают высокочастотможет использоваться для нанес рытий на проводники и диэлектрик Предмет изобретени я

Смотреть

Заявка

797574

А. Д. Бондарь, В. Г. Егорычев, С. А. Емель нов, А. А. Розен Физико технический институт Украинской ССР

МПК / Метки

МПК: C23C 14/48

Метки: металлов, осаждения

Опубликовано: 01.01.1970

Код ссылки

<a href="https://patents.su/1-284555-sposob-osazhdeniya-metallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ осаждения металлов</a>

Похожие патенты