Способ обработки сверхпроводящих пленок из в s с с о

СО(ОЗ СОЩ.(СКИХСОЦИА(1 ИСтИЧЕ СКИХРЕСУВЛИК С 14/48 ЕТЕНИЯ ЕИ ЕЛ АВТОРСКОМУ СВ У к обрабо нным внедользовано сверхпроа С 0208. С сти сверх- улучшения ых свойств еи в н итута мааП, В.Г(авежно счет ионн Ып(о(о Товгпа от 1, поч., р. нтдцич ионов0 кэВ и дозами в магериал ХПРОВОО 8 ленки ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССРОСПАТЕНТ СССР)(71) Нижегородский филиал Инсшиноведения им. А,А,Благонраво72) О,Н.Горшаков, И,Г.Романовлов и И,Н.Царева(54) СПОСОБ ОБРАБОТКИ СВЕРДЯЩИХ ПЛЕНОК ИЗ В(28 г 2 СаСо Изобретение относится к технологии создания защитных слоев на сверхпроводящих пленках В 2 Яг 2 СаСо 208 и может быть использовано при создании приборов на их основе.Цель изобретения - повышение надежности сверхпроводящих пленок за счетулучщения механических и фрикционных свойств. Указанная цель достигается тем, что упрочненный нееверхпроводящий аморфный слой создается путем имплантации в материал сверхпроводящей плзенки ионов аргона в интервале доз 6 10 см 2Ф4 10 см с энергией 30-80 кэВ.15Сверхпроводящие пленки помещают в вакуумную камеру и облучают по всей поверхности ионами Аг дозой 6 101 - -4 10 см с энергией 30-80 кэВ. В результате ионного воздействия начиная с дозы 6 10 см на поверхности (в слое, сравнимом с пробегом ионов) возникает Ы 2, 1832135 А 1(57) Изобретение относ ке материалов в вакуум рением и может быть при создании приборо водящих пленках В 2 целью повышения над проводящих пленок эа механических и фрикц осуществлялась импл аргона с энергией 30 - 8 6 10- 4 10 с сверхпроводя щей В (2 Сг 2 СаС 208. аморфная.фаза. Образующийся аморфный слой обладает повышенными механическими и фрикционными свойствами, При этом сверхпроводящие свойства обьема пленки сохраняются. Дальнейшее облучение с до 15 -2зой выше 4 10см вызывает эрозию поверхности и потерю сверхпроводящих свойств обьема пенки вследствие диффузии атомов кислорода в аморфный поверхностный слой. Данный процесс стимулируется воздействием упругих волн, сопровождающих ионное облучение, Уменьшение энергии ионов ниже 30 кэВ не позволяет получать упрочненный аморфный слой в сверхпроводящей пленке достаточной толщины. При увеличении энергии ионов выше 80 кэВ сверхпроводящие свойства пленок ухудшаются, что связано с значительным увеличением толщины аморфного несверхпроводящего слоя и вследствие этого уменьшением толщины сверхпроводящей пленки.1 Я 32135 Составитель О. ГоршковТехред М,Моргентал Корректор Н. Ревская Редактор Заказ 2604 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035,Москва.Ж-З 5, Раушская наб., 45 Производственно-издательский комбинат "Пвтент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 П р и м е р, Сверхпроводящие пленки 8325 г 2 СаСщОе (толщиной 1000 А), напыленные на подложки МдО (магнетронным методом), подвергались облегчению ионами Аг дозами 4 10 - б 10 см с энергией 40акэВ, После облучения (см, табл,) измерялись температуры перехода в сверхпроводящее состояние (по стандартной методике четырехзондовым методом). микротвердость (на приборе ПМТ-З), коэффициент трения (для пары сталь ШХ-сверхпроводящая пленка), В интервале доз облучения 6 10 -4 10 " см микротвердость пленок В 23 г 2 СаСц 20 в увеличивалась в 1,3 - 1,6 раза, а коэффициент трения уменьшился в 3-5 раз при нагрузках 5 - 25 г. Температура перехода в сверхпроводящее состояние почти не изменилась при облучении ионами Аг в этом интервале доз, Анализ профиллограмм (снятых на профилометре-профиллографе М) показал повышение класса шероховатости поверхности под действием ионной бомбардировки с 10 до 12. Облучение дозами выше 4 10 . см вызывает частичную потерю сверхпроводящих свойств и снижает класс обработки поверхности вследствие значительного распыления до 9,Преимуществом данного способа по отношению к прототипу является отсутствиерезкой границы между упрочненным слоеми сверхпроводящей пленкой, Упрочненныйслой в отличие от прототипа не наноситсяизвне, а формируется в самой сверхпроводящей пленке, Это устраняет возможность"0 отслаивания упрочненного слоя и возможные химические реакции на границе раздела упрочненный слой - сверхпроводящаяпленка, которые могут вызывать ухудшениесверхпроводящих свойств,Формула изобретенияСпособ обработки сверхпроводящихпленок из В 25 г 2 СаСоОа, включающий формирование защитного слоя на поверхностипленки, отл ич а ю щи й с ятем, что, с целью20 повышения надежности пленки за счет улучшения механических и фрикционныхсвойств, формирование защитного слоя осуществляют путем облучения поверхностипленки ионами аргона в интервале энергий30-80 кэВ и дозой б 10 д - 4 10ион/см,