Мушкарден

Номер патента: 424060

Опубликовано: 15.04.1974

Авторы: Готра, Дмитренко, Матвийкив, Мушкарден

МПК: G01N 27/02

Метки: стойкости, фоторезиста, химической, электрический

...ионным распылением) напыляют образец-свидетель - тонкую (порядка сотен ангстрем) пленку токопроводящего материала, легко травимого в агрессивной среде, по отношению к которой определяется химическая стойкость фоторезиста. Для повышения чувствительности метода тонкую пленку изготовляют в виде сложной линейнойконфигурации, для чего используют любойметод создания конфигурации (например, на.5 пыление через маску, фотолитография). Затем на образец-свидетель наносят тонкуюпленку исследуемого фоторезиста. К концамобразца-свидетеля припаивают выводы, ккоторым подключают измерительный прибор10 (омметр), после чего подложку с расположенным на ней образцом-свидетелем и исследуемым фоторезистом погружают в агрессивную среду. По мере разрушения...

Номер патента: 374389

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Готра, Мушкарден

МПК: C23C 14/26

Метки: в.с, согозная

...под бункером направляющей рейкой для подачи грунул в испаритель, а толкатель выполнен в виде секторообразной пластины, служащей одновремен но заслонкой при поступлении гранул в испаритель.Питатель состоит из бункера 1, толкателя 2, выполненного в виде секторообразной пластины, служащей одновременно заслонкой при 25 поступлении гранул в испаритель 3. Толка- тель 2 закреплен на валу 4 поворотного устройства б, управляемого электромагнитом б. Под бункером 1 расположена направляющая рейка 7 для подачи гранул в испаритель. 30 Гранула цилиндрической формы или таблетка 8 под действием сил. пружины 9 поступает при открытом толкателе 2 на направляющую рейку 7. При включении электромагнита 3 толкатель 2 движется и дозированная гранула...