Испаритель для вакуумных установок

Номер патента: 397567

Авторы: Вител, Тышко

ZIP архив

Текст

ОПИСАИЗОБРЕ Союз Советских Социалистических еспубл К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ видетельств ависимое от, Кл. С 23 с 13,12 617708,22 аявлено 01.11.19 исоединением заявкиосударственный комитетСовета Министров СССРво делам изобретенийи открытий ПриоритетОпубликовано 17.1 Х.1973. Бюллетень УДК 621.793,14,002,5 (088,8) описания 30.1.1974 Д зябликова Авторы зобретепиЗаявитель А. А, Тышко ческий институт им, 50-летия листической революции ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВО Устройство работает Испаряемое веществ 1, который опускается 3 до упора на термоп 5 пературе поток паров,ного сечения сопла, с ширяется, а затем со так, чтобы в выходном лен вдоль оси. Сопло О образом, что выполняе спрующего возрастан 1 ра испаряемого вещес ны 9, 10 снижают радни мет из о ановок солом и излуем, что, с направленсул пспарягля выпол- пированнодля вакуумных уст ель с выходным кана ок, отличающийся ения интенсивности, одности потока моле а, выходной канал т сшпряющегося проф итель гй тпг Испар держащ чательпь целью п ности и емого ве нен в вги бл овыш однор гцеств сде ра Г. Т, Левченко евский ордена Ленина полите Великой Октябрьской соИзобретение касается нанесения поскрытий в вакууме и может быть применено для легирования полупроводниковых пленок в,процессе их роста.Известен испаритель для ваеоуумной установки, содержащий тигель с выходным каналом и излучательный блок, Выходной канал выполнен в виде цилиндра. Недостатком известного испарителя является то, что оп не обеспечивает достаточной интенсивности, направленности и однородности потока молекул испаряемого вещества.В предлагаемом испарителе выходной канал тигля выполнен в виде расширяющегося профилированного соплаНа чертеже изображен предлагаемый испаритель.Испаритель состоит из тигля 1 с выходным каналом 2, выполненным в виде расширяющегося профилированного сопла, излучательного блока 3, в котором ограничителями 4 центрируется верхняя часть тигля. Нижняя часть тигля центрируется на термопаре 5, изолированной от токоподвода 6 керамикой 7. На токоподводе 8 укреплены радиационные экра. ны 9, 10. следующим образом, о загружается в тигельв излучательный блок аре 5. При рабочей темначиная от минимальначала интенсивно распло поворачивает поток сечении он был направспрофплировано таким тся требование прогреся скорости теченпя,патва вдоль сопла. Экраиационные потери.Фт, ф397567 Тираж 826ого комитета Совета Министроизобретений и, открытий35, Раушская наб д, 4/5 Заказ 43/14ЦНИИ Изд.31 осударственн по делам Москва, Ж

Смотреть

Заявка

1617708

Киевский ордена Ленина политехнический институт лети Великой Окт брьской социалистической революции

витель Г. Т. Левченко, А. А. Тышко

МПК / Метки

МПК: C23C 14/26

Метки: вакуумных, испаритель, установок

Опубликовано: 01.01.1973

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-397567-isparitel-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель для вакуумных установок</a>

Похожие патенты