Устройство для подачи порошковых материалов

Сотов Советских Социалистических Республиксвидетельства ависимое от авт Заявлено 21.Х,1969 ( 1368299/2, Кл, С 23 с 13/08 яв);,и Ъо -с присоединением з Комитет по делам изобретений и открытий при Совете министров СССР. А, Коледа Заявитель СТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ ПОРОШКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ В ИСПАРИТЕЛЬ2 Изобретение относится к вакуумной технологии и может быть использовано, например, для разработок или изготовления тонкопленочных схем микроэлектроники.Известные устройства для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащие вращающийся подложкодержатель в виде диска, и состоящие из бункера, дозатора и механизма встряхивания бункера, имеют слож 1 ую конструкцию.В предлагаемом устройстве упрощение конструкции достигается тем, что бункер закреплен на планке, подвешенной на плоских пружинах, на конце которой закреплен ролик, взаимодс йствующий с выемками, выполненными по периферии диска подложкодержатсля.На фиг. 1 представлена конструктивная схема предлагаемого устройства; на фиг. 2 показано предлагаемое устройство, расположенное в камерс напылптельной установки колпакового типа.Бункер 1, в котором находится запас порошкообразного материала, закреплен на планке 2, упруго подвешенной при помощи плоских пружин 3 и 4 к основанию 5, на котором закреплен кронштейн б, несущий перемешивающий элемент 7, находящийся в бункере 1, и лоток 8. Перемешивающий элемент 7 может представлять собой цилиндрическую пружину,нижний конец которой свободен. По условиям эксплуатации бункер 1 И кронштейн б с элементом 7 могут быть смонтированы также и в обратном порядке, т. е. бункер 1 может быть б закреплен на остовании 5, а кронштейн б сэлементом 7 - на планке 2.В нижней частт бункера 1 над лотком 8 выполнено одно пли несколько отверстий. Зти отверстия имеют такие размеры, что при не подвиж 1 Охт состоянии материала Он в этиотверстия пе вьтсьтпастся. Основание 5 снабжено планкой 9 для крепления к внутрикамерным элементам 10 вакуумной установки 11 и поворотным рычагом 12, поводок 13 которого 15 связан тягой (на фиг 1, 2 не показана) с приводом упраьленця заслонкой 14, расположенной над испарителем 15, На планке 2 имеется ролик 1 б, который в нейтральном положении рычага 12 прижат пружинами 3 и 4 к перифе рии диска - держателя 17 подложек, снабженного зубцами 18.При повороте рычага 12 по стрелке А ролик 16 может оыть выведен из контакта с зубцами 18. Вся конструкция описываемого 25 устройства закреплена в камере 19 вакуумнойустановки 11 под держателем 17 над заслонкой 14. Поводок 13 соединен с приводом управления заслонкой 14 таким образом, что положение заслонки 14, при котором она за- зО крывает испаритель 15, соответствует отсутст362884 иг Составитель С. Лукинскаяктор А. Батыгин Техред Т. Миронова Корректоры Е. Миронова и Г. Запорожец Заказ 996 ЦНИИ ПИ Изд.38итета по делам изобретени 1 Москва, Ж, Рау Тираж 404и открытий при Со ская наб., д. 4/5 Подписное Министров СССРипографпя24 Союзполиграфпрома, Москва, 121019, ул. Маркса - Энгельса, 4 вию контакта ролика 1 б с зубцами 18.Принцип действия устройства заключается в следующем.После проведения известных подготовительных работ и откачки установки заслонку 14 переводят в положение, обеспечивающее закрывание испарителя 15. При этом внутри- камерное оборудование и испаритель 15 могут быть прогреты,После включения на рабочий режим испарителя 15 и включения непрерывного вращения держателя 17 открывают заслонку 14, При этом ролик 16 взаимодействует с зубцами 18, в результате чего планка 2 совершает колебательные движения в направлении Б. Последнее вызывает равномерное перемещение и, вследствие этого, - равномерное высыпапие материала из бункера 1 на лоток 8 и далее - в испаритель 15. Образованию комков препятствует имеющийся в бункере 1 и колеблющийся относительно оси пер емешивающнй элемент /.При выорапных параметрах зубцов 18, роликов б и пружин 8, 4 скорость высыпанияматериала может бытьскорректирована изменением скорости вращения держателя 17, хотятакая корректировка во время процесса напыления в настоящее время не является необходимой,Предмет изобретенияУстройство для подачи порошковых материалов в испаритель, например, для установоквакуумного напыления, содержащее вращающийся подложкодеркатель в виде диска, исостояшее из бункера, дозатора и механизмавстряхивания бункера, отличающееся тем, что,с целью упрощения конструкции, бункер закреплен на планке, подвешенной на плоскихпружинах, на конце которой закреплен ролик,взаимодействующий с выемками, выполненны 20 ми по периферии диска подложкодержателя.