365396

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ о яп. свидетельсгв виси)н Г,11( 19(16;)21)31,2 Г)-9 яявленолл. С";с 511 якн Л Р ИСОСДИ ПЕНИС М Комитет по делам аобретений и открытий. Гаврилов и И. Ш. Фин)ель Зяг:)3)ггел УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОР ОННОЙ ЗАГРУЗКИ МАТЕРИАЛАПАРИТЕЛЬ 1 зоорстснис опоспся к ооласти те;нологии рядиоэлсктронюй аппаратуры, в частности к конструнрованао оборудования для изг(1 говлсния тонкопленочны): микроскем.ИзСсгпо устройство порционной загрузки д )ятсрия,а 13 испаритель, выполненное В вид( дСка- (р)ио)3 ика, мс)ощего радиально расположенные пезда, в которы.( помещают подлекашин н(.на)сИк) 3)я гериял. Доза )ецестВя из кяждОГО Гнсздя дска, при еГО дсйствии, Выталкивается специальным толкатслсм в лоток и но нему )оступаст В тигель.Од:ако наличие руци.(ся звеньев, расположень:;Иснос)е )с)Вснно)1 Олизост От 301)ы няГрсва и исн 1)ения, приВодит 1 сннжени 10 5 проЗводитсльнсти устройства. Кроме того, нельзя одновременно подавать в тигель различиве ВснсстВа дл 51 изГотоВ;1 енн 51 мнОГОком- ПОНЕНТНЫ. ПО 1,РЫТИИ.С целью повышения производительности ра ооты устройства и возможности загрузки в испяр)пель различны.; С.(одны); материалов предлагаемое устройство снабжено расположснньгми на диске и концентрически установ,1 сшымн друг отюснтелыю друга цилиндрами со сквозными торцовыми каналами в каждом из ник и с закрепленными на ии(поводками и упорами, причем поводок каждого внутреннего цилиндра взаимодействует с упором внешнего по отнош(нию к нсму цилиндра. 30 111 чертеже изооряи(сня конс Груни,н 51 предлагаемого устройства.;(стройство состоит нз конценпрнчсски р;)сно,)ожсннь)( 1 илнндров 1, ис)ощи: кя:1 дьн СК 1303 НЫС КЯНЯГ 11 - ДЛЯ РЯЗЕЩСНН 53 ДОЗ, НОД- лк)н)и., испарению Всщсств. Цн;1 индры цен- р пруо гся одни(г носи Гсгьно другого шарикам:1 ) н усг)ня)31 И)31 отся на лиске 1, смонтиро- В)но( Пя флянцс. 6 с помощью трек стоек 6. Один из цилиндрог 1, внутреншй, сцеплен жестко с )ср:;нн) торцо) Втулки , ня ни)к 1)е) 1,рс которой )о;гируется 3 оча 1 ос к 01 есо 8, ;од)н)ее в зацснлснс с шестерней 9 электро)с;яннчсскОГО н)нво,1 1. 11 1 Ил)ндрс 1 мк.1;силен 101 одОк 11, слм;к 11 цин для нор(дачи дИжсння кя)кдому юследуюшс)у цилиндр) итс) Воздсйст 13 ня ня устПОВ,сн)ые н(1 нн упоры. 1). Фиксация положения цилиндров осущсстВляетс 51 с но)101 цью приводя н фнксаторОВ 18. Подлежащий испарению материал, размещенный в Исздак цилиндров 1, подается в тигель И, падая нод собственным весом через ,:всрстня в лиске ня лоток 16 и скатьваясь по 1)("Тенлонзлучающес устройство снабжено П- ооразной нластинои 16, выполненной из тугоплавкого материала и С.1 жащей нагревательным элементом. В центре ее приварено кольцо, выполня)ощее роль держателя тигля 14, также изготовлснюго из тугоплавкого материала, 11 Ц. Р 1 . ОО К Ц С: Д;) 5 С .О.1, 3 Е ИЕСТ В).Л ДС- Ц с) 16 ) К Р( 1 ГЦП с 1 Ц с ДЬ.С 33 К).И 10 ИГ 1 ОТ Ц з 1.( Т,- КО)Возс:С, ОКЛЯЖДс 1 С 1 Ы( ЦРС)ТОЧИЛ 1 30 ДО 1. Г 5 Зс 1 ИИ 1 ССПОК КЯЕРЬ 1 И ЗДГ) СЗОЧПОГО СтР)ЦСт)31 О т ЦЛООГО ЗЧЕЦ 1 Я:1 ДГРЕ 351- ТЕЛ ЬЦЫИ ЭГ 10)ЕЕЦТ 010)Жсп 10 00.(Л(Я;.1 С 3101 р)Одцп;ОЙ 1)5 ц сисГСОЙ зкр;цовО Д Л С Ж с 1 Ц С С Ц С Ц с Р (. 1, Ц О; 3 (. Ц С С Т В О 3 Я Г Р 3; К с 1- О 3 ГЦЕЗЬ с 1 ЦГ 1 ЦЦДООВИи Рс);ГЕР.1 ЕИЗИ)0- ВДЦ пои 1)с 1 К 3 13101 Кд)СЕ) с 1 Е)1 КД)1 ЕР) ГСР)1 СГ)153 ЦР 101 Ц П)01 ЗВО,ЯТ ОТЕЛ) 1,и. ЬО,Д.,с. До ТрСО1 ОГО ) с.рЕЖС.11 П 51, ИОСГ)Е Ч(. О )роцЗ:) 5 Т Д 30 ГРС 3 Т)ГГ 151. По,ОС ПЖЕЦ 1 ТРЕОс Е. Ои ГЕ)1 ЦЕРЧГРЫ ИСРИОДИЧССКЦ 13 КЛОЧЯОГ ЦРИ. )ОД,3 с 1 Р ЗОЧЦОГО с Ст)ОсСТВД И ЦИКЛИЧЕСКИ ЦЕ РЕ:Еи 310 Т Сисс)лс ВпстЗСПП ЦИГ 1 ИПД:) ), с. ЗсГЕ)1 1.:10 СЛ(С 01 Ц 1 Е ПРИ ВОЗДСИСТВ 1 ПВО- ковПя ) цор ). При каждо)я циклс пере(:е)цсп)я иилццдров одцо з отверстий каждого 3 Ци. СО 3:1 ЕЦс 1 СТС 5 С ЦЯ.0;511 Ц 1)ЯС 51 ЦРОТ 1 В лотка с)т)срстие:3 В диске 3рдз)(це 1155 ИЕЗ;с) ДО:)с 1 1)СЦЕСТ 3 с 1 ЦОД СООСТ 3 ЕИ 111)1:3:" ЦД аст ЧС,)3 1 СО Пд Г 10 ТОК ) ) 1 ЗЯТС.1 Ц)1:ЯДЯСТ В ТИСЛЬ. ЦР , Ц;Ч 5)Г 10 1 РООТЫ Тс К,О .(с 1)ОДК 1. );3 Е:СспИЗЗ, ОТЛи(а)ииЕЕСЛ т(1)К 1 О, С ЕЛИС) ИО 5 Выцспия произВОдитсльцостц ряо Гы 3 с 1)01:. СТ 1)с 1 Ц 1303:0 ЖЦОСТИ Зс 1 ГР ЗКЦ и СцсРЦ 1 СГ Ь Рс 13 ГЧ,Ь;.ИС.со;1)Ы.С )сТСРИЯЛО 3, 010 С;130 ЖС 1:0 Р с С Ц 0 ГО Ж С П 1 Ы:1 И Ц 3 Д Ц С К С. 1 К ОЦ С Ц Т Р 1 Ц С К И С,"З 10351 ЕЦЦ 11 сП ).",Ц О",10.",ТС 11О ." Г;)ГО 20 1 ПЛ 1 ПДР с) )с П СО С К 1)ОЗ ПЬ 1 33 Т)Р ЦОЫ )1 Кс;115 с. 11К ЯЖ 0)1 ЦЗ 1)С ,Д КР Ц, 1( . Ы 31 Ц 13 Ц 11 1 1 О З), :, 3: 1 Гл 1 о р с . 1 1 1, 1р ".1 : 1 О 1 3 О Д ( ) К К с 1 я .-Составитель . Порфироваакто; Т, тОрозов Текрел Л, Богданова кзрзсктоз Л. Васильевааказ 133 Из. Ъ 9 1174 Тиран. 8 6 По:Г сносЦНИИПИ Комитета по делам изобретении и откр,ти ири Совете Министров ССГзМосква, К, Раушская иаб.,;. 4 дшографпя Уе 24 Союзполиграфпрома, Москва, 21119, ул. Маркса - Эигсл,са, 14,