Устройство для подачи порошковых материалов

Сооз Советских Сощиалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства Кл, С 23 с 13/081672596/22-1) Заявлено 17.71,19 соединением заявкиосударствеиный комит Совета Министров ССС ио делам изабретеиий ритет ДК 621,793.14.002.52 (088.8) убликовано 21.Х 1.1 юллетень4 открь та опубликования описания 17 Х.1974 ыторызоб ретс П. Бушмин ерзунов, В. А. Демьяненко, Г, А, франки В. В. Шайкин аявител СТРОЙСТВО ДЛ ДАЧИ ПОРОШКОВЬ 1 Х МАТЕРИАЛ ИСПАРИТЕЛЬ Тепло- стройеля 8. на нее зань аход рато стр ходя сь 4, так етка 2,нахоИзобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может быть применено для подачи порошковых материалов в испаритель.Известно устройство для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащее бункер, дозатор, вибратор и лоток,Однако известное устройство не обеспечивает равномерного распределения порошкообразного материала по площади испарителя.Цель изобретения - обеспечение равномерного распределения порошкообразного материала по площади испарителя.Это достигается тем, что в предлагаемом устройстве дозатор и лоток жестко связаны с вибратором, причем дозатор выполнен в виде пружинной сетки.На чертеже представлена конструкция предложенного устройства.Устройство состоит из бункера 1 со сквозной вертикальной полостью, дозатора, выполненного в виде пружинной сетки 2, вибратора 3 и лотка 4. Вибратор 3 штоком 5 жестко соединен с лотком 4 и дозатором. Пружинная сетка 2 изготовлена, например, из сваренных между собой плоских пружинных элементов, и закреплена в держателях 6. Скоба 7 служит для закрепления деталей устройства.Испаритель 8, напримсплоская вольфрамовая пластина, можетодогреваться, электрическим током или другим способом.вой экран 9 предназначен для защиты уства от теплового излучения испаритПодложка 10 служит для напыления5 топкой пленки.Элементы 11 пружинной сетки покаположении, когда пружинная сетка 1 нся в растянутом состоянии (шток 5 вибсовершл еремещение в направлении1 о ки А),Порошкообразный материал, нав бункере 1, не просыпается на лотоккак этому препятствует пружиннаякоторая при отключенном вибратор15 дится в сжатоа состоянии,Устройство работает следующим образом, После того, как в бункер 1 устройства загружен порошкообразный материал (например 20 резистивный сплав в виде порошка), созданрабочий вакуум в вакуумной установке, где находится описываемое устройство, а также разогрет до необходимой температуры испаритель 8, включается вибратор 3 устройства 25 для подачи порошкообразного материала вспартель 8. При работе вибратора 3 шток 5 вибратора приводит в движение лоток 4 и прикрепленный к нему посредством держателя 6 конец пружинной сетки 2, так, что они Зо совершают периодические возвратно-поступа406973 АнисимоваШубинаТараненкоН. Аук ставнтель Редактор жиниа 8 снаппонура) ехред 3.Корректор 103 писно ного тров каз 7 116 Изд.:раж 826 ПоЦНИИПИ Государственкомитета Совета МинисСССРпо делам изобретении открытий"1 оскиа, )К, Рабанскаяд. 4,б пг 15.,Тнпография, пр. Сапунов тельные движения, направления которых показаны на чертеже стрелками А и Б.При движении подвижной части устройства (лотка 4 и прикрепленного к нему конца пружинной сетки 2) в направлении стрелки А зазоры между элементами 11 пружинной сетки 2 увеличиваются от нуля до максимума.При движении в направлении стрелки Б зазоры уменьшаются от максимума до нуля или же до значений, определяемых размерами зажатых между элементами 11 пружинной сетки 2 частиц порошкообразного материала, не успевших проскочить сквозь пружинную сетку 2 до ее сжатия в конце движения, За этот цикл порция сыпучего материала просыпается из бункера 1 сквозь пружинную сетку 2 на лоток 4. Б течение следующего цикла движения просыпается следующая порция порошкообразного материала и так далее, причем эти порции движутся по лотку 4 к испарителю 8, распыляясь движущимся лотком 4 в облако частиц порошкообразного материала, которое и осаждается на испаритель 8, покрывая его поверхность равномерным слоем. По мере испарения порошкообразного материала в направлении, указанном стрелкой В, т. е. в направлении подложки 10, новые порции материала покрывают испаритель 8. Так 5 продолжается до тех пор, пока на подложке 10 не окажется пленка нужной толщины, После этого вибратор 3 выключается и весь процесс прекращается, так как при выключенном вибраторе пружинная сетка 2 сжата и 10 не пропускает сыпучий материал в лоток 4.Регулировка скорости подачи сыпучего материала и степени его рассеяния по площади испарителя может производиться за счет изменения амплитуды или частоты вибрации.15Предмет изобретенияУстройство для подачи порошковых материалов в испаритель, содержащее бункер, дозатор, вибратор и лоток, отличающееся 20 тем, что, с целью обеспечения равномерногораспределения порошкообразного материала по площади испарителя, дозатор и лоток жестко связаны с вибратором, причем дозатор выполнен в виде пружинной сетки.