Испаритель
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 433252
Авторы: Горбачев, Дзевалтовский, Жариков
Текст
ш 1 433252 Союз Советских Социалистических Ресеублик(21) 1680384/2 22) 3 влено 16.07.7 1) М. Кл. С 23 с 13 с прцсосдицециех заявки М сударственныи комите 132,1 При( тцтет Совета Министров ССС во левам изобретений Опубликовано 25.06.7 53) УДК 621.396.6-18.5(088.8) Бюллетень М 23 ткрытии бликования описания 06.11.7 172) Авторы изобретен В, В. Горб В. Г, Дзевалтовский и Г. П. Жариков(71) Заявите на институт кибернетик ен(54) ИСПАРИТЕЛЬ слонку 5, испаритель б с тиглем, разделеннымкоаксиальной перегородкой на секции 7 и 8,нагревателем 9 и термопарой 10,Устройство работает следующим образом.В секции 7 и 8 испарителя 6 загружаютсянавески компонент испаряемых материалов,напрИмер в секцию 7 загружается железо, а всекцию 8 - никель. После откачки вакуумнойкамеры 1 испарцтель 6 нагревается нагрева 0 телем 9 до заданной температуры, контролируемой термопарой 10. Открывается заслонка5 и поочередным продвижением кассет 3 надотверстием 4 в манипуляторе 2 производитсяконденсация сплава на поверхности подложек. не обеспечпленок зада еци тд Требуемое соотношлений паров компоненбора соотношения плщадей горизоцтальноги температуры испарепературы испаренияцых давлений пароввследствие различиястей испарения компопературы.Усредненное расстоплощадей испаренияверхности подложеки, следовательно, одициальных давлений п 20 Изобретение относится к электроке, а именно к устройствам для накрытий в вакууме посредством те о испарения, и может найти,применнологии пленочных элементов э х схем,Известны испарители, содержащие тигель, разделенный перегородками из материала тигля на коаксиально расположенные секции, число которых равно числу испаряемых компонент, и нагреватели, расположенные в секциях тигля и служащие для поддержания заданной температуры испарения для каждой компоненты.Однако известные испарители ивают стабилизацию конденсата нного состава,Целью изобретения является обеспечение стабилизации конденсата пленок заданного состава,Для этого поперечные сечения секций тигля выбраны в соответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент.На чертеже приведена схема конструкции испарителя.Испаритель содержит вакуумную камеру 1, манипулятор 2 с подложками в. кассетах 3, имеющий отверстие 4.для.,прохода паров кон. денсируемого на подложках материала, зае парциальных давостцгают за счет подощадей испарения 1 плоо сечения секций тигля) ния. При изменении темсоотношение парциалькомпонент изменяется В зависимости от скоронент материалов от темяние от разных участков каждой секции до по- практически одинаково наково соотношение параров компонент над раз433252 Предмет изобретения Составитель Е. КукинаРедактор А. Зиньковский Техред Л. Акимова Корректор 3. Тарасова 2730/1 ЦНИИП Изд.887 осударственного по делам изо Москва, Ж, Тираж 902комитета Совета Министров ССбретений и открытийРаушская наб д, 4/5 одписн Типография, пр. Сапунова,. 2 ными участками поверхности подложек и одинаков состав конденсата по площади подложек.При расположении испарителя 6 под центром отверстия 4 в манипуляторе 2, усредненный угол падения пучков паров компонент максимально приближен к нормали к поверхности подложек. При этом тени на краях элементов, конденсируемых через трафарет, минимальны. Минимальна также и анизотропия, возникающая в магнитных пленках вследствие косого угла падения пучков пара на поверхность подложек. Испаритель, содержащий тигель, разделенный перегородками пз материала тигля накоаксиально расположенные секции, число которых равно числу пспарясмых компонент, ынагреватели, служащие для поддержания заданной температуры испарения, отличающ и й с я тем, что, с целью обеспечения стабиф лизации конденсата пленок заданного состава,поперечные сечения секций тигля выбраны всоответствии с требуемым соотношением парциальных давлений паров компонент,
СмотретьЗаявка
1680384, 16.07.1971
В. В. Горбачев, В. Г. Дзевалтовский, Г. П. Жариков Ордена Ленина институт кибернетики
МПК / Метки
МПК: C23C 14/26
Метки: испаритель
Опубликовано: 25.06.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-433252-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель</a>
Предыдущий патент: 433251
Следующий патент: Печь для эмалирования проволоки
Случайный патент: Групповой гидравлический домкрат