Испаритель для вакуумных установок

(5)5 ПИСАНИ ЗОБРЕТЕН СВИДЕТЕЛ ЬСТВУ ТОРС 1(71) Московский институт электронного машиностроения(72) Н.В.Василенко, Е,Н,Ивашов, С.М.Оринчев, Ю.С,Родионов и С,В.Степанчиков (56) Авторское свидетельство СССР М 287493, кл. С 23 С 14/26, 1970.Авторское свидетельство СССР М 466300, кл. С 23 С 14/26, 1975,(54) ИСПАРИТЕЛЪ ДЛЯ ВАКУУМНЪХ УСТАНОВОК(57) Область использования; к области нанесения покрытий в вакууме. Цель изобретения; Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме и может бытьиспользовано для получения тонких пленокс контролируемым уровнем привносимыхзагрязнений.Цель изобретения - расширение технологических возможностей устройства засчет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления,Поставленная цель достигается тем, чтов испарителе для вакуумных установок, согласно изобретению, перфорированнаякрышка связана с контейнером посредством сильфона, перфорированная диафрагма установлена на перфорированнойкрышке в опоре, с воэможностью вращения,и шарнирно связана с основанием посредством шести приводов" таким образом, чтообразуется геометрически неизменяемаяструктура -координат. фона, опо- орированшарнирно орирован- перемещеы по шести ступательированной ижности в одн сил на няется фиг. вакуумных установокконтейнерчерез тепкрышку 4экран 6е 7, распо ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕВЕДОМСТВО СССР(ГОСПАТЕНТ СССР) расширение технологических возможностей устройства за счет регулирования потоком испаряемого вещества и возможности изменения его направления. Сущность изобретения; для достижения этой цели испаритель содержит металлический контейнер, установленный через изолятор на основании, нагреватель, отражательный экран, смонтированный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную крышку, соединенную с контейнером посредством сил ьфона, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке в опоре с воэможностью перемещения и шарнирно связанную с основа нием с помощью шести приводов. 1 ил,Введение в устройство сильры, на которой установлена перфная диафрагма, шести приводов,связанных с основанием и перфной диафрагмой обеспечиваетние перфорированной диафрагмстепеням подвижности - три поных, три вращательных, а перфоркрышке - по пяти степеням подвавтоматическом режиме, так какщательная степень подвижностиотсутствует,Сущность изобретения пояс1, где показан испаритель дляустановок в разрезе,Испаритель для вакуумных(фиг, 1) содержит металлический1, установленный на основании 2лоизолятор 3, перфорированнуюнагреватель 5, отражател ьн ывсмонтированный на теплопроводложенном внутри контейнера 1, перфорированную диафрагму 8, установленную параллельно перфорированной крышке 4 на опоре 9 с возможностью вращения, причем число отверстий, их диаметр на крышке 4 и диафрагме совпадают. Перфорированная крышка 4 связана с контейнером 1 посредством сильфона 10, а перфорированная диафрагма 8 связана с основанием 2 посредством шести приводов 11, таким об разом, что образуется геометрически измеряемая структура 1-координат. Приводы 11 связаны с основанием 2 и,перфорированной диафрагмой 8 посредством шарнира 12,Испаритель для вакуумных установок 15 фиг, 1) работает следующим образом.При одновременном или последовательном перемещении шести приводов 11, происходит деформация сильфона 10 и перемещение перфорированной диафраг мы 8 в пространстве по всем шести степеням подвижности. При этом, эа счет того, что сильфон 10 не имеет возможности вращения вдоль левой продольной оси, перфорированная крышка 4 имеет только пять 25 степеней подвижности, В результате чего. происходит вращение диафрагмы 8 относительно крышки 4 в опоре 9, при любом положении диафграмы 8. Поток испаряемого вещества имеет, таким образом, целевую 30 направленность, а за счет частичного или полного совмещения перфораций на крышке 4 и диафрагме8 обеспечивается управление потоком испаряемого вещества,Изменение направления потока испа ряемого вещества необходимо с целью повышения технологичности процесса напыления, так как одновременно в вакуумной камере могут напыляться не одна;а несколько подлохек, расположенных, например. на планетарном своде,Применение предлагаемого испарителя для вакуумных установок позволяет изменять направление потока испаряемого вещества при автоматическом управлении потоком испаряемого вещества, регулировать его величину, что значительно расширяет технологические воэможности установок для нанесения покрытия.Формула изобретенияИспаритель для вакуумных установок. содержащий металлический контейнер с пеРФорированной крышкой. нагреватель, отражательный экран, установленный на теплопроводе, расположенном внутри контейнера, перфорированную диафрагму, установленную параллельно крышке и выполненную с возможностью перемеще- . ния, Отличающийся тем,что,с целью расширения технологических возможностей испарйтеля за счет регулирования потока испаряемого вещества и возможности изменения его направления, контейнер установлен через изолятор на основании, перфорированная крышка соединена с контейнером сильфоном, перфорированная диафрагма установлена на перфорированной крышке в опоре с возможностью вращения и шарнирно связана с основанием посредством шести приводов, образующих, геометрически неизменяемую структуру 1- координат,1810393 дак ректор М. Демчи аказ 1421 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 роизводственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул,Гагарина, 101 СоставиТехред М Н, Василенкоргентал