Патенты с меткой «переменнойтолпиной»

Номер патента: 318638

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Кундзинь, Ьиьлио

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, переменнойтолпиной, покрытий

...накрыто вакуумным колпаком 8 и откачивается высоковакуумным насосом через отверстие 9 в плите основания 10. Наносимый материал напыляется из термического испарителя 11.Расстояние между дисками, а также между диском 1 и подложкой 3 должно быть минимальным, Диски можно поменять местами, но следует сохранять состояние скорости вращения. Специальной стабилизации скорости вращения не требуется. Скорость вращения дисков выбирается такой, чтобы за время нанесения заданной толщины они сделали по меньшей мере несколько сот оборотов. При этом она должна быть тем больше, чем нестабильнее поток 12 наносимого вещества, с тем, чтобы во время одного оборота диска 2 можно было с заданной точностью считать поток постоянным,Расположение дисков на осях...