Испаритель направленного действия для вакуумных установок

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 19) ( 71 594 С 23 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН СВИСТЕЛ ЬСТ ВТОРСК енина политех0-летия Велиистической Н.Радзико(56) Данилитонких пленс,228-232.АвторскоВ 397567, кл 14.002.52(0888)Б.С. Вакуумное нанесеМ.: Энергия, 1967,СССР 1971 свидетельст С 23 С 13/ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(21) (22) (46) (71) ниче кой рево (72) 2491861/18-2101.06.7715.09.86. Бюл. УКиевский ордена Лский институт им.Октябрьской социаллюцииГ.Т.Левченко и А(54)(57) ИСПАРИТЕЛЬ НАПРАВЛЕННОГОДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК,содержащий тигель с выходным каналоми тепловые экраны, о т л и ч а ю -щ и й с я тем, что, с целью повышения коэффициента полезного испольэо".вания испаряемого материала, выходной канал выполнен в виде съемногосимметричного паропровода, посрединедлины которого выполнено кольцевоеуглубление, а тепловые экраны охватывают тигель ниже уровня кольцевогоуглубления.Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для напыления драгоценных металлов.Известен испаритель направленного 5действия для вакуумных установок,содержащий тигель с выхоцным профилированным каналом. Тигель и выходной канал помещены в радиационныйтепловой блок. 10Недостатком этого испарителя является низкий коэффициент полезногоиспользования испаряемого материала.Наиболее близок к предлагаемомуиспаритель направленного действиядля вакуумных установок, содержащийтигель с выходным каналом и тепловыеэкраны.Однако он облацает тем же недостатком. 20Цель изобретения - повышение коэффициента полезного использования испаряемого материала - достигаетсяблагодаря тому, что в испарителе нап"равленного действия для выкуумных ус".тановок, содержащем тигель с выходным каналом и тепловые экраны, выходной канал выполнен в виде съемногосимметричного паропровода, посрединедлины которого выполнено кольцевое 30углубление, а тепловые экрань 1 охватывают тигель ниже уровня кольцевогоуглубления,На фиг.1 изображена конструкцияиспарителя с цилиндрическим выход- Здым каналом; на фиг.2 - то же, сконическим выходным каналом.Прямоканальный графитовый тигель1, снабженный молибденовыми токопроводами 2 в виде хомутов, стягиваемых болтами 3, окружен тепловымиэкранами 4,5. Выходной канал 6 скольцевым углублением 7 по его середине свободно расположен в тигле,в который загружен испаряемый материал 8.Испаритель работает следующим образом. Загрузив в тигель 1 испаряемыйматериал, устанавливают сверху выходной канал 6 с тепловыми экранами 4,5,Подводя к тиглю через токоподводы 2ток, нагревают его до рабочей температуры. При этом благодаря ниличиюкольцевого углубления 7, уменьшающего тепловой поток вдоль выходногоканала, и экранам 4, устраняющимрадиационный нагрев верхней части выходного канала, температуру наверхуниже, чем внизу, При достижениирабочей температуры материал начинаетиспаряться и выходить через канал 6,направленный в сторону напыляемойподложки. При этом после кольцевогоуглубления периферийные слои потокаиспаренных молекул осаждаются на холодных стенках верхней части канала,а центральные области потока выходятиз него в направлении напыляемой подложки,После испарения всего находившегося в тигле материала, часть которого была напыпена на подложку, а часть осела на внутреннюю поверхность верх" ней части канала, из тигля вынимают выходной канал и загружают цовую пор" цию материала, после чего канал переворачивают и снова вставляют в тигель. При этом часть канала, на кото- . рой осел испаряемый материал, оказывается внизу, и после достижения рабочей температуры тигля этот материал испаряется вместе с материалом, находящимся в тигле. При этом на верхней части канала также осаждается часть испаряемого канала. После испарения всего материала тигель опять загружают и снова переворачивают выходной канал. Таким образом, осаждающийся на верхней части канала материал участвует в следующем напылении.Конструкция испарителя обеспечивает повышение коэффициента полезного использования в 2,1 раза.1257113 Составитель В.КазанковТехред И.Попович Корректор Г.Решетни Швыдка едак аказ 4883/21 78 Тира ВНИИПИ Госуда по делам и 113035, МосквПодписного комитета СССР ствен обретЖии и открытий Раушская наб., д Производственно-полиграфическое предприятие, г.ужгород, ул.Проектная, 4