Кудетщов

Номер патента: 290966

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Абрамов, Иванов, Кудетщов, Моска, Сычев

МПК: C23C 14/24

Метки: вакууме, внутренние, нанесения, поверхности, покрытий, полых

...с углублением, форма которого соответствует форме тигля с испарлемым всщсством,), токопровода 4, шпинделя 5 для закрепления изделия б и механизма вращенияшпинделя (ца чертеже цс показан).Шпиндель 5 цсподви)кпо закрепляют навалу 7 механизма вращения, а изделие б, зо Встав;)сппос В ст)кап )стт 1 иав.1 ив 11) г и шпинделе 5 и фикс руют вицтом 9. На мсталический стсрежень 10, вставленный в отверстие стойки 11, надевают изолирующую ксрампсск О Осцов 2, па котор) О патлгива 01 гибкую тугоплавкую лепту 1, в углублении которой лсжит испа рясОс ВсцсстВО д. Н)1 Выст пающий из отверстия стойки 11 ксцп и стержня 10 цадсва)от керамическую шайбу 12, изолпруюгцую ксра.,;пчсскую втулку И, токо- подвод -/ и изолирующую керамическую шайбе 1.1, и Всс...