Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 316762
Автор: Шепрут
Текст
316762 О П И СА Н И Е ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 09,.1969 (М 1295635/22-1)с присоединением заявкиПриоритетОпубликовано 07.Х,1971, Бюллетень30Дата опубликования описания ОЗ.Х 1,1971 МПК С 23 с 13/08 Комитет по делам иаобретений и открытий при Соеете РЛинистров СССРУДК 621.793.14.002.51 (088,8) Авторизобретения Ю. А. Шепрут Заявитель УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАКРЕПЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК В ВАКУУМНЫХ УСТАНОВКАХИзобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий,Известно устройство для закрепления подложек в вакуумных установках, содержащее подложкодержатель, контактные элементы и термопару. Однако в известном устройстве для фиксации подложкодержателя требуется отдельный крепеж, что усложняет схему подложкодерж ателя.Предлагаемое устройство отличается тем, что контактные элементы и термопара закреплены на одном основании и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Это обеспечивает удобство смены подложкодержателя,На фиг. 1 представлено предлагаемое устройство, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сбоку.Устройство состоит из подложкодержателя 1, контактных элементов 2 и термопары 3, Контактные элементы 2 и термопара 3 закреплены на одном основании 4 и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель. Контактные элементы и термопара служат опорами для устанавливаемого на них подложкодержателя, в котором имеются два контактных эле мента 5, соединенных со свидетелем б, и углубление для размещения спая 7 термопары.Контактные усилия составляют примерноодну треть от веса подложкодержателя, т, е.величину порядка 30 - 50 г, что является 10 достаточным для получения надежного контакта. Предмет изобретения 15 Устройство для закрепления подложек ввакуумных установках, содержащее подложкодержатель, контактные элементы и термопару, отличающееся тем, что, с целью обеспечения удобства смены подложкодержателя, 20 контактные элементы и термопара закреплены на одном основании и выполнены в верхней части в виде штырей, на которые опирается подложкодержатель.актор Т. Фадеева Сагу ипография,2 аказ 3099/8НИИПИ К Составитель А. Резник хред 3, Н. Тараненко Корректор Е. Н. Мироно Изд.1298 Тираж 473 Подписноеитета по делам изобретений л открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1295635
Ю. А. Шепрут
МПК / Метки
МПК: C23C 14/24
Метки: вакуумных, закрепления, подложек, установках
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-316762-ustrojjstvo-dlya-zakrepleniya-podlozhek-v-vakuumnykh-ustanovkakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для закрепления подложек в вакуумных установках</a>
Предыдущий патент: 316761
Следующий патент: Способ подготовки металла под эллалирование
Случайный патент: Фильтр для очистки воды