Испаритель для вакуумных установок
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 322422
Автор: Бычко
Текст
О П Й"С"А-НИ,Е ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических РеспубликК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено2,11.1970 ( 140054222-1) М. Кл. С 23 с 13/ и заявкис присоединенПриоритетОпубликовано Комитет по делаю изобретений и открыти ори Совете Министров СССР.Х 1.1971. Бюллетень3 Дата опубликования описания 9,11,1972 Авторизобретени А. А, Бычк вите АКУУМНЫХ УСТАНОВ ИСПАРИТЕЛЬ конусныьимся ост ретен дмет и куумных установок, соьный элемент и распыержателем, опирающийку, отличающийся тем, ния равномерности располнен с конусным наопирающимся острым ощадку. Испардержащ ляемый ся на о О что,сцпыления конечниконцом итель для ва ий нагревател стержень с д порную площад елью обеспече , стержень вь ком, свободно на опорную пл Изобретение относится к области нанесения покрытий в вакууме.Известен испаритель для вакуумных установок, содержащий нагревательный элемент и распыляемый стержень с держателем, опирающийся на опорную площадку.Цель изобретения - обеспечить равномерность распыления материала.Для этого стержень выполнен снаконечником, свободно опирающрым концом на опорную площадку.На чертеже представлен предлагаемый испаритель, общий вид.Он имеет нагревательный элемент 1 и распыляемый стержень 2 с держателем д. Стержень 2 выполнен с конусным наконечником, свободно опирающимся острым концом на опорную площадку 4. Нагревательный элемент 1 обхвачен экраном б. Нагревательный элемент и экран установлены на керамическом основании б, полость между нагревательным элементом и экраном соединена с рабочим объемом вакуумной камеры,В корпусе нагревательного элемента 1 выполнены отверстия для прохождения пара распыляемого материала. Благодаря конусной конфигурации стержня в зоне радиацион ного нагрева сублимация материала идет собразующей поверхности конуса, включая его острие. Поэтому по мере испарения острие смещается по оси стержня, причем под действием веса стержень постепенно опу скается в нагревательную зону, При этомгеометрические размеры конуса практически не изменяются, в силу чего не изменяется и стабильность потока пара.322422 Составитель Б. Либерман Техред Л. Богданова Корректор 3, Тарасова Редактор Т. Фадеева Типография, пр. Сапунова, 2 Заказ 124/11 Изд.1780 Тираж 473 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1400542
А. А. Бычко
МПК / Метки
МПК: C23C 14/24
Метки: вакуумных, испаритель, установок
Опубликовано: 01.01.1971
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-322422-isparitel-dlya-vakuumnykh-ustanovok.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель для вакуумных установок</a>
Предыдущий патент: Вакуумная напылительная установка
Следующий патент: Патентш-технрьсйд библиотекан. к. вагина
Случайный патент: Способ приготовления гистологических препаратов лимфоузлов