Испаритель для вакуумных установок

Номер патента: 373330

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Вихров, Рето, Смолкин, Фадеев

МПК: C23C 14/50

Метки: вакуумных, нагреватель, подложек, установок

...охлаждения нагревателя в вакууме около 1 10 -мм рт. Ст, от 600до 50 С равно 10 - 12 мин без дополнительныхохлаждающих устройств,зс Рабочая поверхность предлагаемого дугоНАГРЕВАТЕЛЬ ПОДЛОЖ Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.Известен нагреватель подложек для вакуумных установок, представляющий собой металлическую полосу. Однако рабочая поверхность такого нагревателя ограничена.Целью изобретения является увеличение рабочей поверхности нагревателя. Это достигается тем, что металлическая полоса выполнена в виде прямолинейных площадок с выступами между ними, расположенными по дуге с радиусом, равным расстоянию от их центров до испарителя.На чертеже показан предлагаемый нагреватель. Он представляет собой...

Номер патента: 616038

Опубликовано: 25.07.1978

Авторы: Гофман, Каспревич

МПК: B22C 9/04

Метки: вакуумно-аммиачной, огнеупорного, покрытия, сушки

...в виде колокола с теплопрозрачными иллюминатораье 2 и дном 3, Через дно 3 к камере 1 подключена вакуумная 4 и аммиачная системы 5. Нагреватели 6 установлены вне камеры напро. тив иллюминаторов 2, В центре дна 3 закреплена неподвижно солнечна шестерня 7 планетарной передачи, водило 8 которой соединено с приводом 9. Модельные блоки 10 установлены на осях сателлитов 11.Установка работает следующим оСразом.При поднятой камере 1 операторы устанав. ливают на оси сателлитов 11 модельные блоки 10 с нанесенным слоем огнеупорного покрытия. Камера 1 опускается, и включаются нагреватели б, привод 9 и вакуумная система. 4. При этом616038 Формула изобретения Составитель В, Мальцевспектор Л. Лешкова Техред Н.Андрейчук Корректор А.Власенк Заказ 3980/1...

Номер патента: 408883

Опубликовано: 01.01.1973

Автор: Воробьев

МПК: B65G 53/46

Метки: вакуумного, затвор, секторный, сыпучих, транспортирования, трубопроводов, установок

...сбоку в разрезе; ня фиг. 3 - то же, вид сверху,Секторный ЗЯтв)р со;)сржит соедпненны) с трубопрово;)ом корпус 1 и секторную задвижку 2, укрепг) ен ну)о и л корпусе при помощи шарнирной опоры 3, отверстие сс которо)т) больше диаметра осп 4 шарнира. На дне сектор).ой задви)каки 2 ьустяновлена упругая про. кл лдк)1 5, жестко прпкрег)ленця 51 к нему В средней части крепсжпымп элементами 6, Корпус снабжен коническим бортиком 7, а секторИЛ 5 ЗсДВП)ККЯ -- ПРИВОДП 11 М Р 1)ЧЯГОХ 8,В омепт создания 1)лз 1)сжецп 51 с)кгорпаяЗадВИжКа 2 ВМЕСТЕ С ПрОКЛадКОИ,) ПрцтятИВс)- ется к торцовой части корпуса благодаря налич;по зазора между внутренней поверхностью 5 шарнирной опоры 3 и осью 4. В это время секторный затвор находится 5) рабочем положении и В...

Номер патента: 479826

Опубликовано: 05.08.1975

Авторы: Архипов, Васецкий, Ковалев, Королев, Смирнов, Шитов

МПК: C23C 13/08

Метки: вакуумная, нанесения, покрытий

...10 и , 11 смонтирована карусель подложек 12, кото, рая имеет возможность вращения вокруг горизонтальной оси. На карусели закреплены 1держатели подложек 18 с подложками 14,причем держатели подложек имеют собствен ную ось вращения и на конце жестко закреп, ленные на оси ролики 15. С помощью пружин1 б ролики держателей подложек прижимао ются к неподвижной кольцевой направляющей 17, жестко закрепленной на корпусе на: пылительной камеры. На крышке камерыустановлен испаритель 18. Кольцо 19, расположенное на карусели, несет на себе по движные ширмы 20, 21 и 22, которые имеютвозможность фиксации с помощью винта 28 , . относительно ширм 24, 25 н 2 б, закрепленныхнеподвижно на спицах карусели 27, что по. зволяет регулировать зазор, по которому...

Номер патента: 512249

Опубликовано: 30.04.1976

Авторы: Ельчанинов, Зиновкин, Красанов, Панкратов

МПК: C23C 13/12

Метки: вакуумная, нанесения, поверхностью, подложки, покрытий, рельефной

...расположены испарители 3. На барабане закреплены подложкодержатели 4 с подложками 5, на которые наносится пленка 6 (фиг. 2). С внутренней и внешней сторон барабана расположены нагреватели 7.Установка работает следующим образом.Вакуумная камера 1 откачивается до давления, необходимого для термического испарения напыляемого материала. Затем включается вращение барабана 2. Подложкодержатели 4 начинают вращаться вокруг своей оси. Включаются нагреватели 7, и барабан с подложками нагревается до необходимой температуры, Затем испарители 3 нагреваются до температуры термического испарения наносимых материа лов. Пары материала при соприкосновении сболее холодными подложками осаждаются на них в виде тонких пленок.В связи с тем, что...