Номер патента: 235902

ZIP архив

Текст

Союз Советских Социалистических Республик(и .чо Комитет по делам зобретений и открытий при Совете Министров СССРриоритет публиковано 241969. Бюллетень6 исаиия ЗОХ 1.1969 Дата опубликования Авторыгзобретсни М. Некрасов, А, Г. Запо ц и В. А, Гусев евский ордена Ленина политехнический инстит явитсл ВАКУУМНАЯ УСТАНО 2 дмет изобрете Вакуумн нологическ пленок, с 25 ключенную фузионном целью уме оказываю операции,30 вод заклоедения технапылениямеру, подода к дифтем, что, с меру газов, ологические т трубоиро.ный инертая установкаих операций, нодержащая рабпри помощи ту насосу, отличньшения натекащих влияниенижняя частьчены в кожх,ромерка для п в апри очую рубопров аюиаяая ния в ка на техн камерызаполнен Известны вакуумные установки для прове. дения технологических операций, например напыления пленок, содержащие рабочую камеру, подключенную при помощи трубопровода к диффузионному насосу.Предлагаемая установка отличается от известных тем, что нижняя часть камеры и трубопровод заключены в кожух, заполненный инертным газом, например аргоном, Кокух в местах, примыкающих к камере и труоопроводу, снабжен эластичными кольцевыми прокладками, служащими одновременно предохранительными клапанами для сброса избыточного давления инертного газа.Это уменьшает натекание в камеру газов, например О 1-1,0, СО., оказывающих влияние на технологические операции. Указанные газы, взаимодействуя с молекулами напыляемого вещесгва, изменяют структуру пленок.Иа чертеке схематически изображена предлагаемая установка.Рабочая камера установки имеет колпак 1 и плиту 2, подключенную при помощи трубопровода 3 к диффузионному насосу (на чертеже не показан), Все вводы 4 в рабочую камеру (токовые, газовые, механические) смонтированы иа плите, и через неплотности в рабочий объем могут проникать газы, оказывающие на проводимые технологические операции вредное влияние. Поэтому камера в области плиты и часть трубопровода заключе.ны в кожух 5, заполненный инертным газом под давлением выше атмосферного. При этом кольцевые эластичные прокладки 6 кожуха в местах его примыкания к камере и трубопроводу одновременно служат предохранительными клапанами для сброса избыточного давления инертного газа в атмосферу. Кожух, заполненный инертным газом, позволяет также 0 уменьшить окисление масла и увеличить срокслужбы диффузионного насоса. С этой же телью рекомендуется осуществлять многократную продувку рабочего объема инертным газом (аргочом, неоном и т. п.). В результа тс этого в рабочем объеме уменьшается количество газов, могущих оказать влияние на проведение технологических операций и качество получаемых и исследуемых пленок.235902 ми, сгдкащнмц одновременно предохранительными клапанами для сброса избыгоичого давлении инертного газа. Состаиптель Т, Рабчукекред А. Л. Камышиикоиа актор 3. Рубаи орректор С. М, Сигал закал ь 05,16 Тираж 480Ц 111111 ПИ Когиптета по делам паобретеппй и открытий прМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 ппографпя, пр, Сапупо иым газом, например аргоном, и снабкеииый в мсстак, примыкающих к камере и трубопроводу, эластичными кольцевыми прокладкаПодписноеокоте Мипистров СССР

Смотреть

Заявка

1201368

МПК / Метки

МПК: C23C 14/24

Метки: вакуумная

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-235902-vakuumnaya-ustanovka.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумная установка</a>

Похожие патенты