Устройство для напыления л1икросхем
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Соиалистикеских Республик;ьстня Ъа ЯБИСИМОС От ЯВт, СсдГ)Е1 риоритетОпубликондио 17.Ч.1968. ЬОллстснь 5 Ъ 1 стс оп) бликондния описдния 6.1 Х.198 Комитет по делам зобретений и открытий при Совете хинистгов СССР. А. Пупко и В. Е. Минайчен Я 5 Б И Т С Г 1 ТРОМС 1 ВО ДЛЯ ИАПЬ МИКРОСХЕМ)слмст изоорсте 11 знссг ы устройсп)я;ля ндпылсния .,икро- С .С 5, СОЛСРЖДЦ 1 С;132 132 КММЗИЫХ 1 СОЛИЯЯ, 0,цп ИЗ К)тоЫК Рс 1 СЦОЛОЖСЦ 13 Н) 1 Рн, ГОО, ИСИЯРИСЛ, Ис 1 ПЫ.СМО 0 МДТСРИЯЛД И СРЖ,- 1 СЛ и ИОЛ.ОЖСК )ИКОС.СМ.13 ИРС,Лд ЯС)11 МСТПОИС БС ПОБЫШСНПС Кс 1 ССТ 1)с 1 ЗИКОС.ф,СМ ДОГ 11 ГсС 1051С), ТО ИСцс 1-ЦТС;Ь С ДНОБ, СИ 3 НЯ 1)МЖН 1 КОЛ П Я К.,:Сг)- ЖЯТС.131 Цо;Г 10 ЖСК И )сСОК РЯЗ)1 С 1 ЦСНЫ Бо 133) Трснцс)1 К 0.1 ИЯКС, Я Оно)нс 15 П.1 ИТс 1 33 Н) ТРСИИС 0 К1 ИДКЯ С ЯОЖСЦД ИсСКЫ)сС)ОИ скользяцсй зясгОнкои;иафряг)оц, сг) кщс ДЛ 51 ПР)К);Д ПОТОКс 1 НЯПЫ,15 СМОГО )ЯТС,)ИЯЛД ИЗ 12 ЖОГО К)ЛДКс 1 130 3 ЦУ 1)СИНИЦ.11 2с р 1 с ж с и 0 к д 3 я и 0 0 и ц с ь Б я с )ос ус т 0 Й . стБО.Оио Со;СЖИ;БД )с)КУУЗЫ. КОЛИ ЯКЯ2 (13) трсЙи жыЙ) В) т Нянс 1с)3)101 цСИЫ,СПЖяТС,1 И ) И 1 С 001 БС- С БСННО ПО.ЛОЖСК Д И )ДСОК ), Д с 1 КЖС ЦД- грснятсль 7 цолложск эВ ООЪС)1 С Ис)ру)КНОР) К)ГИс)КЯ И.;ОЛ 511 Ся 10112 ГС.Ь 0 с 1 Ы,ЯС)ОГС) )ЯС)1 Я.с), с 111 )СР 2, СЦ) 0 с ПИ ДС )ОН 1 15 1 щ с. кд 9.Пр Пр)Бс.опии прслБЯи)с;1 ЬПОЙ 0 гкдки и прогрсня, обсспсПБЯощсго обсзгд кцндци. ьнутрснцсго колидкдПри помощи ндгрсндт с л с Й 1 О, 0 т к 2 1 к 2 и 3) О ь с ) 1 д и с ) ) у ж н 0 Г 0 к 0 лпака 2 нроизцолц ся срсз гр) б шронол 1,с ИЗ ООЪС)12 13 Н) г)СННСГО КОЛПБК 2 1 - Чсрсз ;ифрдг)у 12 Б Оп)рн илите 10 при откры- ГОМ ПОЛОЖСЦИИ СКОЛЬЗЩСЙ ЗсСЛОЦКИ 1 П 0 ок)1 Яини обсзПжцнднц 5 Осущсстнл 51 стся От кдкд Бсдкм)По)1 систсзы чссз т)боп 1)0 ЗОЛ1 д:О;Остиж:П 5 тр бусмОГО ЛЯБлс 11 ия, лсждисго Б Оолдс)и с:)сркпьсокого Бяку) мя. При дто)1 скОль 35 хцд 5 Здслон 1 д 11 П 2.ол)тся Б 32.кытом ноложсс 11 и, то ость Объсм Бн) тснисГО 10 колпдкд 1 изолирондн от объема ндружногоКОГПДКсДслсс произнолится рдзогрсБ и обезгяжиБЯИИС ИСП 2 Р 51 С)ОГО )12)сцс 1 ЛЯ ПР)И ЗЯКРЫТОМ ПО- ложсции сколь 35 щсЙ Зясло 3 ки 11. Пи зтов 15 иси)р 5 Огцийс 5 поток нс попдлдст Б объемколцдкд 1 и цд ногложку д. По окончании (б 031 Д Ж Ц 13 с 1 Н 3151 .Д ТС Р 1 3 Л 2 С КОЛ Ь 3 53 Щ Я 51 3 д СЛ ОнКс 3 11 ОГКОЛИТ, И НО 1 ОК 16 ИСпяр 5 С)ОГО МЯТС- ридлд чсрсз ид)дм)прокормит Б объем 20 13 нутрсннсгс) кол дкд 1 и Осджлдстся нд полложкс 5. При это) п)и;у 3 злой пропускной снос)бнсти лис 3)рдГзы 1 13 з 1 дсл 5 пощийс 51 из )с 1 ТСИД,Д П)10 К Ч 1303 0 Кс 3 ЧБс 1 СТС 51 Б 2 КУУ 5систсмой ндружс)Т) к)гпякд 225 00 П)кч)с), 1) и нс 3 ызы)дс ПОБьшсни 53 )ЯБлсПя 3 3)оьсмс колцдкд 1 быстр)йстно лля ндпылсния микрос;ем, со.0 .ср)к)щсс;Бд Бдкуу)нык колпака, оди 3 из. Корченко Техред едакто Заказ 2108/6 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Сеоова, д. 4 Типография, пр. Сапунова которых расположен внутри другого, испаритель напыляемого материала и держатели подложек микросхем, от.гипающееся тем, что, с целью повышения качества микросхем, испаритель установлен в наружном колпаке, держатели подложек и масок размещены во внутреннем колпаке, а опорная плита этого колпака снабжена перекрываемой скользящей заслонкой диафрагмой, служащей для прохода потока напыляемого материала из наруж ного колпака во внутренний,
СмотретьЗаявка
1156474
В. А. Пупко, В. Е. инайчев
МПК / Метки
МПК: C23C 14/24
Метки: л1икросхем, напыления
Опубликовано: 01.01.1968
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-218262-ustrojjstvo-dlya-napyleniya-l1ikroskhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для напыления л1икросхем</a>
Предыдущий патент: Устройство для рихтовки аксиальных выводов
Следующий патент: Устройство защиты мощного выпрямителя
Случайный патент: Вибропоглощающая мастика