Устройство для напыления л1икросхем

Номер патента: 218262

Авторы: Инайчев, Пупко

ZIP архив

Текст

Союз Советских Соиалистикеских Республик;ьстня Ъа ЯБИСИМОС От ЯВт, СсдГ)Е1 риоритетОпубликондио 17.Ч.1968. ЬОллстснь 5 Ъ 1 стс оп) бликондния описдния 6.1 Х.198 Комитет по делам зобретений и открытий при Совете хинистгов СССР. А. Пупко и В. Е. Минайчен Я 5 Б И Т С Г 1 ТРОМС 1 ВО ДЛЯ ИАПЬ МИКРОСХЕМ)слмст изоорсте 11 знссг ы устройсп)я;ля ндпылсния .,икро- С .С 5, СОЛСРЖДЦ 1 С;132 132 КММЗИЫХ 1 СОЛИЯЯ, 0,цп ИЗ К)тоЫК Рс 1 СЦОЛОЖСЦ 13 Н) 1 Рн, ГОО, ИСИЯРИСЛ, Ис 1 ПЫ.СМО 0 МДТСРИЯЛД И СРЖ,- 1 СЛ и ИОЛ.ОЖСК )ИКОС.СМ.13 ИРС,Лд ЯС)11 МСТПОИС БС ПОБЫШСНПС Кс 1 ССТ 1)с 1 ЗИКОС.ф,СМ ДОГ 11 ГсС 1051С), ТО ИСцс 1-ЦТС;Ь С ДНОБ, СИ 3 НЯ 1)МЖН 1 КОЛ П Я К.,:Сг)- ЖЯТС.131 Цо;Г 10 ЖСК И )сСОК РЯЗ)1 С 1 ЦСНЫ Бо 133) Трснцс)1 К 0.1 ИЯКС, Я Оно)нс 15 П.1 ИТс 1 33 Н) ТРСИИС 0 К1 ИДКЯ С ЯОЖСЦД ИсСКЫ)сС)ОИ скользяцсй зясгОнкои;иафряг)оц, сг) кщс ДЛ 51 ПР)К);Д ПОТОКс 1 НЯПЫ,15 СМОГО )ЯТС,)ИЯЛД ИЗ 12 ЖОГО К)ЛДКс 1 130 3 ЦУ 1)СИНИЦ.11 2с р 1 с ж с и 0 к д 3 я и 0 0 и ц с ь Б я с )ос ус т 0 Й . стБО.Оио Со;СЖИ;БД )с)КУУЗЫ. КОЛИ ЯКЯ2 (13) трсЙи жыЙ) В) т Нянс 1с)3)101 цСИЫ,СПЖяТС,1 И ) И 1 С 001 БС- С БСННО ПО.ЛОЖСК Д И )ДСОК ), Д с 1 КЖС ЦД- грснятсль 7 цолложск эВ ООЪС)1 С Ис)ру)КНОР) К)ГИс)КЯ И.;ОЛ 511 Ся 10112 ГС.Ь 0 с 1 Ы,ЯС)ОГС) )ЯС)1 Я.с), с 111 )СР 2, СЦ) 0 с ПИ ДС )ОН 1 15 1 щ с. кд 9.Пр Пр)Бс.опии прслБЯи)с;1 ЬПОЙ 0 гкдки и прогрсня, обсспсПБЯощсго обсзгд кцндци. ьнутрснцсго колидкдПри помощи ндгрсндт с л с Й 1 О, 0 т к 2 1 к 2 и 3) О ь с ) 1 д и с ) ) у ж н 0 Г 0 к 0 лпака 2 нроизцолц ся срсз гр) б шронол 1,с ИЗ ООЪС)12 13 Н) г)СННСГО КОЛПБК 2 1 - Чсрсз ;ифрдг)у 12 Б Оп)рн илите 10 при откры- ГОМ ПОЛОЖСЦИИ СКОЛЬЗЩСЙ ЗсСЛОЦКИ 1 П 0 ок)1 Яини обсзПжцнднц 5 Осущсстнл 51 стся От кдкд Бсдкм)По)1 систсзы чссз т)боп 1)0 ЗОЛ1 д:О;Остиж:П 5 тр бусмОГО ЛЯБлс 11 ия, лсждисго Б Оолдс)и с:)сркпьсокого Бяку) мя. При дто)1 скОль 35 хцд 5 Здслон 1 д 11 П 2.ол)тся Б 32.кытом ноложсс 11 и, то ость Объсм Бн) тснисГО 10 колпдкд 1 изолирондн от объема ндружногоКОГПДКсДслсс произнолится рдзогрсБ и обезгяжиБЯИИС ИСП 2 Р 51 С)ОГО )12)сцс 1 ЛЯ ПР)И ЗЯКРЫТОМ ПО- ложсции сколь 35 щсЙ Зясло 3 ки 11. Пи зтов 15 иси)р 5 Огцийс 5 поток нс попдлдст Б объемколцдкд 1 и цд ногложку д. По окончании (б 031 Д Ж Ц 13 с 1 Н 3151 .Д ТС Р 1 3 Л 2 С КОЛ Ь 3 53 Щ Я 51 3 д СЛ ОнКс 3 11 ОГКОЛИТ, И НО 1 ОК 16 ИСпяр 5 С)ОГО МЯТС- ридлд чсрсз ид)дм)прокормит Б объем 20 13 нутрсннсгс) кол дкд 1 и Осджлдстся нд полложкс 5. При это) п)и;у 3 злой пропускной снос)бнсти лис 3)рдГзы 1 13 з 1 дсл 5 пощийс 51 из )с 1 ТСИД,Д П)10 К Ч 1303 0 Кс 3 ЧБс 1 СТС 51 Б 2 КУУ 5систсмой ндружс)Т) к)гпякд 225 00 П)кч)с), 1) и нс 3 ызы)дс ПОБьшсни 53 )ЯБлсПя 3 3)оьсмс колцдкд 1 быстр)йстно лля ндпылсния микрос;ем, со.0 .ср)к)щсс;Бд Бдкуу)нык колпака, оди 3 из. Корченко Техред едакто Заказ 2108/6 Тираж 530 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Центр, пр. Сеоова, д. 4 Типография, пр. Сапунова которых расположен внутри другого, испаритель напыляемого материала и держатели подложек микросхем, от.гипающееся тем, что, с целью повышения качества микросхем, испаритель установлен в наружном колпаке, держатели подложек и масок размещены во внутреннем колпаке, а опорная плита этого колпака снабжена перекрываемой скользящей заслонкой диафрагмой, служащей для прохода потока напыляемого материала из наруж ного колпака во внутренний,

Смотреть

Заявка

1156474

В. А. Пупко, В. Е. инайчев

МПК / Метки

МПК: C23C 14/24

Метки: л1икросхем, напыления

Опубликовано: 01.01.1968

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-218262-ustrojjstvo-dlya-napyleniya-l1ikroskhem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Устройство для напыления л1икросхем</a>

Похожие патенты