Инайчев

Номер патента: 218262

Опубликовано: 01.01.1968

Авторы: Инайчев, Пупко

МПК: C23C 14/24

Метки: л1икросхем, напыления

...прслБЯи)с;1 ЬПОЙ 0 гкдки и прогрсня, обсспсПБЯощсго обсзгд кцндци. ьнутрснцсго колидкдПри помощи ндгрсндт с л с Й 1 О, 0 т к 2 1 к 2 и 3) О ь с ) 1 д и с ) ) у ж н 0 Г 0 к 0 лпака 2 нроизцолц ся срсз гр) б шронол 1,с ИЗ ООЪС)12 13 Н) г)СННСГО КОЛПБК 2 1 - Чсрсз ;ифрдг)у 12 Б Оп)рн илите 10 при откры- ГОМ ПОЛОЖСЦИИ СКОЛЬЗЩСЙ ЗсСЛОЦКИ 1 П 0 ок)1 Яини обсзПжцнднц 5 Осущсстнл 51 стся От кдкд Бсдкм)По)1 систсзы чссз т)боп 1)0 ЗОЛ1 д:О;Остиж:П 5 тр бусмОГО ЛЯБлс 11 ия, лсждисго Б Оолдс)и с:)сркпьсокого Бяку) мя. При дто)1 скОль 35 хцд 5 Здслон 1 д 11 П 2.ол)тся Б 32.кытом ноложсс 11 и, то ость Объсм Бн) тснисГО 10 колпдкд 1 изолирондн от объема ндружногоКОГПДКсДслсс произнолится рдзогрсБ и обезгяжиБЯИИС ИСП 2 Р 51 С)ОГО )12)сцс 1 ЛЯ ПР)И...