Номер патента: 1257114

Авторы: Левченко, Радзиковский

ZIP архив

Текст

(54) (57) ИСПА ЕЛЬ й коак одерж нагре сиальн радиац оженны краны,расп ные тель игель и вставвещества,и ч а на политехетия Велиической у для загру становленну ки испаряемо ничекой о т гл рево 72) 53) 56) зиковски устаполнчемили влена в тигле са из пористого м азором итериала,вставкирузки ис ри- вен Техцолошкола, 1972,ъем открытых поревышает объем з ряеюго вещества ок. Справ и Р,Глэнг 7, с. 71,ис ОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ОПИСАНИЕ н АатоРском( свидетельств 2867094/18-2110.01.8015.09.86. Бюл. У 34Киевский ордена Леникий институт им.50-лктябрьской социалистюцииГ.Т.Левченко и А.Н.Р621,793,7(088.8)Иванов-Есинович И.К.микросхем, М.: Высшаярис.2, 10 д.хнология тонких плен/Под ред.Л.Майсселаоветское радио, 197 ю щ и и с я тем, что, с целью повышения скорости испарения, вставка1257114 Составитель В.1(азанковТехред И. 11 опович 1(орректор Л. Зимокосов Редактор Н.Швыдкая Заказ 4883/21 Тираж 878 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Иосква, Ж, Раушская наб д. 4/5Производственно-полиграФическое предприятие, г,Ужгород, ул.Проектная, 4 Изобретение относится к нанесениюпокрытий в вакууме и может быть использовано для толстых пленок металлов при изготовлении, например, полосковых линий СВЧ.Известны испарители типа "лодоч-.11ка , применяемые. для напыления пленок металлов.Эти испарители не позволяют напылять пленки большой толщины, так какобладают малым объемом загрузки испаряемого материала,Наиболее близким по техническойсущности к изобретению является испаритель, содержащий коаксиально расположенные пагреватель, радиационныеэкраны, тигель и вставку для загрузкииспаряемого вещества, установленнуюв тигель,Недостатком этого испарителя является низкая скорость испарения.Цель изобретения - повышение ско- . рости испарения.Поставленная цель достигается тем, что в испарителе, содержащем коаксиально расположенные нагреватель, радиационные экраны, тигель и вставку для загрузки испаряемого вещества, установленную в тигле, вставка установлена в тигле с зазором и выполнена из пористого материала, причем обьем открытых пор вставки равен или превышает объем загрузки испаряемого вещества.На чертеже схематически изображен предлагаемый испаритель.Термический испаритель состоит из граФитового тигля 1, внутри которого расположена вставка 2, выполненная из пористого смачивающегосл расплавом материала (например, при испарении меди вставка может быть выполнена иэ пористого карбида ниобия). Для уменьшения контакта испаряемого материала с тиглем (что повышает срок егослужбы) вставка установлена в тиглена стержне 3. Тигель помещен в цилиндрический щелевой нагреватель 4, 5 выполненный из граФита, Для уменьшения потерь тепла посредством излучения испаритель окружен радиационнымиэкранами 5 и 6.Испаритель работает следующим образом.Испаряемый материал загружают вовставку 2. После откачки вакуумнойустановки испаритель нагревают, пропуская через нагреватель 4 токПри достижении необходимой температуры загрузка испаряемого материаларасплавляется и, смачивая всю пористую вставку 2, испаряется с ее внутренней и внешней стенок. Если объемоткрытых пор (т.е., имеющих сообщение с поверхностью через соседниепоры) вставки 2 равен или превышаетобъем загрузки испаряемого материала, последний полностью находится в 25порах вставки 2,и не образует наее поверхности толстых слоев, которыеприводят к разбрызгиванию. Испарениепроисходит из тонкого поверхностногослоя, куда материал поступает засчет капиллярных сил.Таким образом, испарение материалов происходит из тонкого слоя, чтоустраняет разбрызгиваниеа так какматериал одновременно испаряется не 35 только с внутренней, но и с внешнейповерхности вставки, т.е. поверхность испарения увеличена почти в2 раза, то при той же температуреиспарения скорость испарения повыша ется также почти в 2 раза. А еслиучесть, что малая толщина слоя расплава позволяет также повысить температуру испарения, то скорость напыления может быть увеличена еще больше.

Смотреть

Заявка

2867094, 10.01.1980

КИЕВСКИЙ ОРДЕНА ЛЕНИНА ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. 50-ЛЕТИЯ ВЕЛИКОЙ ОКТЯБРЬСКОЙ СОЦИАЛИСТИЧЕСКОЙ РЕВОЛЮЦИИ

ЛЕВЧЕНКО ГЕОРГИЙ ТИМОФЕЕВИЧ, РАДЗИКОВСКИЙ АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C23C 14/24

Метки: испаритель

Опубликовано: 15.09.1986

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1257114-isparitel.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Испаритель</a>

Похожие патенты