ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 332622ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советсиия Социалистическия РвслтблинЗависимое от авт. свидетельства ЛЪЗаявлено 10.Ч.1970 ( 1466788,26-9) М. Кл. б 017 19 ем заявкис присоедине ПриоритетОпубликовано 05,Ч.1972. Вюллстсць15 Комитет ло делам аобрвтений и открыти ори Совете Министров СССР621.3,083.8 (088.8) Дата опубли вания описания 31 Х.19 Лвторыизобретения В. Г. Журавлева, Ю. Д, Клебанов и В. Н, Сумароко аявцтель МИКРО ИК П ред мет изобретсниячиксодержащий активный элеий для градунроаки по давлеерхвысокото давления, отличито, с целью повышения точцо 1. Микродатмент, служащ О нию камеры сющийся тем, ч Изобретение относцтся,к цзготовлецшо микродатчиков, а именно,к микродатчикам для традуировки,по да 1 влению камер сверхвысокого давления (СВД).Известны миеродатчики для градуировки по добавлению камер СВД, содержащие активный элемент, вьополненный, например, в виде проволоки из реперных металлов.Такие микродатчики характеризуюгся сравнительно низким сопротивлением активного элемента, что требует большого измерительного тока, и сложностью гралуировки камеры СВД по фазовым переходам в нескольких реперных металлах за один цикл нагружения, что снижает точность измерения.Цель изобретения - повышение точности измерений,Для этого активный,элемент,предлагаемого датчика размещен на диэлектрцчеокой подложке и вьсполцен в виде структуры нанесенных одна на другую пленок реперцых металлов, например висмута, таллия и других, и сплавов, причем пленки этих металлов и сплавов отделены одна от другой диэлектриком и электрически соединены,параллельно.На фиг. 1,схематически изображен предлагаемый микродатчик, выполненный в виде пленочной структуры реперных металлов и сплавов, виды сверху и сбоку; на фиг. 2 - микродатчик, слои структуры которого разделены слоем диэлектрика. Лктивцый элесть гкродатчика размещен ца диэлектрической 1 одложке 2 ц вьяполнен в виде структуры нанесенных одна,на другую,пленок 8 и 4 реперных металлов, напри 5 мер висмута, таллия и других, и сплавов. Дляповышения стабильности микродатчиковпленки реперных металлов в активном элементе разделяют слоями 5 диэлектрика. Выводы (на чертеже не показаны) микродатчцО ка подключены к блоку б измерения сопроти,вл единия.Наивысшая точность измерения при градуироэке камер СВД достигается в случае, когда скачки сопротивления при фазовых,пере 5 ходах во всех пленках раперцых металловили сплавов равны один другому. Из этогоусловия определяют,соотношецие толщиныпленок,11 ацболее удобным способом нанесенияО пленок является иопарецие реперцых металлов и сплавов и конденсациях их в вакууме,Путем нанесения слоев реперцых металлов исплавов через маски можно получить микродатчики с размерами активного элемента ме 5 нее 1 мм.337672 фи ставитель Л, РубинчиТехред Т, Курилко Корректор Л, Орлов тор Т. Иванова аказ 1414(12 Изд.827 Тираж 448 Поди испоНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская набд, 45 Сапунова Типограф сти измерений, активный элемент размещен на диэлектрической подложке и выполнен в виде структуры нанесенных одна на другую пленок реперных металлов, например висмута, таллия и других, и сплавов. 2. Млкродатчик по п. 1, отличающийся там,что пленки реперных металлов,и сплавов отделены одна от другой слоями диэлектрика и электрически соединены параллельно.5

Смотреть

Заявка

1466788

В. Г. Журавлева, Ю. Д. Клебанов, В. Н. Сумароков

МПК / Метки

МПК: G01L 19/02

Метки: микродатчик

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-337672-mikrodatchik.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Микродатчик</a>

Похожие патенты