Печь для выращивания монокристаллов

Номер патента: 132410

Авторы: Беленова, Малышев

ZIP архив

Текст

М 132410 Класс 40 а 46 вв К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Подггисная арг 1 ггпа Лов 161 Малышев и Ф, С. Белен ИСТАЛЛОВ ЛИЧЕСКИХ ПЕЧЬ ДЛЯ ВЫРАШИВАНИЯ МОНО ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИНТЕРМЕТСОЕДИНЕНИЙ по делам изобретениГССР Заявлено 4 февраля 1960 г. за653286/22 в Комитет и открытий при Совете Министров С Опубликовано в Бюллетене изобретений19 за 1960 г. 10 и холодного ксопротивления. Предлагаемая печь для выращивания монокристаллов полупроводниковых интерметаллических соединений по методу Чохральскотов сравнении с подобными печами Ричардса, Мооди и др. является конструктивно более простой.Герметизация объема с летучим компонентом и регулирование давления его паров осуществляются при помощи полой кварцевой пробки,выполненной в виде усеченного конуса на штоке для выращиваниямонокристаллов,а также при помощи охлаждаемой спиральной пружины.На чертеже показана схема печи,Кварцевая пробка 1 притерта к муфте 2 кварцевого кожуха 3. Через пробк 1 пропущен свооодно перемещающийся в ней кварцевыйшток 4, Зазор между ним и цилиндрической частью пробки составляет 5,ик, Проникновение сквозь зазор 2 - 3 мг)час летучего компонентакомпенсируется из его запаса, находящегося в холодном конце5 печи.Разогрев тигляб осуществляют при помощи индкционной обмотки 7. В труоку 8, введенную через холодный конец 5, вставлены термопары, замеряюшие температуру расплава, Для уравновешиваниявнутреннего давления паров летучей компоненты на пробку 1 прилленена охлаждаемая ппужина 9, сила давления которой на 15 - 207 опревышает силу давления паров.Для наблюдения за поверхностью расплава, находящегося в тигле б, предусмотрено окно 10, выдвинутое за пределы рабочего пространства во избежание загрязнения.Нагрев кожуха 3, трубки окна онца 5 осуществляют при помощи обмоток электро. Л. Леонтьева Тех ед А. Л. Сосина Корректор В. П. Фомина ак формат бум. 70 Х 108/м Тираж 700 Цен при Комитете по делам изобретении при Совете Министров СССР Москва, Центр, М, Черкасский пер, 1.Х 1-60 Объем 0,17 п. лс 11.61 г. - 3 копий одп, как. 9247 25 к ЦБ и отк д. пография ЦБТИ Комитета по делам изобретен при Совете Министров ССС, Москва, Петр и открытийса, 14. Печь для выращивания монокристаллов полупроводниковых интерметаллических соединений по методу Чохральского, о т л и ч а ющ а я с я тем, что, с целью регулирования давления и герметизации печи, она в верхней своей части снабжена полой проокой, выполненной в виде усеченного конуса, монтируемого на штоке для выращивания монскристаллов, и спиральной пружиной , установленной на штоке между пробкой и торцовым флянцсм печи.

Смотреть

Заявка

653286, 04.02.1960

Беленова Ф. С, Малышев Н. И

МПК / Метки

МПК: C30B 15/20

Метки: выращивания, монокристаллов, печь

Опубликовано: 01.01.1960

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-132410-pech-dlya-vyrashhivaniya-monokristallov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Печь для выращивания монокристаллов</a>

Похожие патенты