Юнкин

Номер патента: 1364146

Опубликовано: 27.12.1999

Авторы: Кулешов, Панин, Редькин, Юнкин, Якимов

МПК: H01L 21/306

Метки: p-n-переходов, кадмия-ртути, кристаллов, основе, п-типа, проводимости, теллурида, формирования

Способ формирования р-n-переходов на основе кристаллов теллурида кадмия-ртути р-типа проводимости, включающий обработку кристаллов потоком ионов, отличающийся тем, что, с целью повышения качества р-n-перехода за счет снижения радиационного воздействия на кристаллы, обработку проводят в плазме аргона ВЧ-разряда при давлении от 6,7 10-1 до 66,5 Па и величине удельной мощности на единицу поверхности от 0,6 до 1,3 Вт/см2.

Номер патента: 1387798

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Ковешников, Редькин, Старков, Юнкин, Якимов, Ярыкин

МПК: H01L 21/322

Метки: геттерирования, кремния, металлических, пластине, примесей

Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния, включающий обработку нагретой пластины в электрическом разряде в газовой атмосфере, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса геттерирования путем снижения температуры геттерирования, обработку пластины проводят в разряде высокой частоты, в атмосфере смеси кислорода с фторсодержащим соединением при их объемном отношении (0,1-1) : 1 соответственно величине удельной мощности на единицу поверхности 0,4-1,3 Вт/см2 и рабочем давлении 6 10-3 - 6

Номер патента: 1378711

Опубликовано: 20.08.1999

Авторы: Кулешов, Панин, Редькин, Юнкин, Якимов

МПК: H01L 21/306

Метки: зондовых, кадмия-ртути, методик, основе, п-типа, проводимости, структур, теллурида, тестовых, электронно

Способ изготовления тестовых структур для электронно-зондовых методик на основе теллурида кадмия-ртути р-типа проводимости, включающий обработку поверхности исходного кристалла полирующим бромсодержащим составом с последующим напылением медленно диффундирующих металлов из ряда: Al, Cr, Pb, Mn, отличающийся тем, что, с целью улучшения качества тестовой структуры за счет повышения ее чувствительности в режиме наведенного тока для диагностики материала теллурида кадмия-ртути, перед напылением металла в течение 10 мин проводят плазменную обработку поверхности теллурида кадмия-ртути в ВЧ диодной системе в атмосфере Ar при давлении от 5

Номер патента: 1289305

Опубликовано: 10.12.1996

Авторы: Раппо, Редькин, Старков, Юнкин

МПК: H01L 21/306

Метки: ионного, кремнии, ниобия, реактивного, травления

Способ реактивного ионного травления ниобия на кремнии, включающий обработку образцов в плазме фторсодержащего соединения и кислорода при пониженном давлении, отличающийся тем, что, с целью повышения скорости травления, в плазму дополнительно вводят хлорсодержащее газообразующее соединение при объемном отношении его к фторсодержащему газу (0,1 1) 1 и процесс проводят при плотности мощности разряда от 0,06 до 1,45 Вт/см2.

Номер патента: 1804613

Опубликовано: 23.03.1993

Авторы: Аристов, Никулин, Снигирев, Юнкин

МПК: G01N 23/20

Метки: глубины, микрорельефа, поверхности, твердых, тел

...недостатком,Целью изобретения является расширение диапазоне исследуемых структур.На фиг,1 приведена схема трехкристальной рентгеновской дифрактометрии;на фиг.2 - экспериментальная зависимость3 В (В) в случае структуры, описанной в20примере 1; на фиг,3 - экспериментальнаязависимость 1 В (В) в случае структуры,гописанной в примере 2.П р и м е р 1. В качестве объекта исследований была взята подложка кремния КДБ 10, ориентации 111 с заранее созданнойструктурой ячеек памяти для ИС. Периодструктуры а = 3,82 мкм, ширина щелей рельефа б = 0,28 мкм, глубина рельефа 1 = 0,67 30мкм. На гониометре ТРСс рентгеновской трубкой БСВс медным анодомдлина волны Л = 0,154 нм) осуществлялиугловое сканирование В - 2 В в диапазонеВ 40 - 300. Регистрацию...

Номер патента: 1787604

Опубликовано: 15.01.1993

Авторы: Бесчеревных, Быковский, Дейнеко, Меденков, Скороходов, Трайно, Хамитов, Юнкин

МПК: B21B 3/00

Метки: кинескопов, ленты, малоуглеродистой, масок, прецизионной, производства, стали, теневых

...механические и магнитные свойства, изотропность механических свойств, травимость растровых отверстий. Последний параметр определяется числом дефектов НФО (нарушение формы отверстий) - их должно быть не более 5 на одной теневой маске.5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 Реализация предложенных режимов позволяет одновременно сформировать как заданный комплекс физико-механических свойств, необходимых для получения масок со щелевой структурой, так и повысить производительность процесса за счет минимизации количества этапов холодной прокатки и промежуточных отжигов,Экспериментально установлено, что при суммарном обжатии на первом этапе менее 47% и при отношении диаметра рабочих валков Ор к средней толщине полосы в очаге деформации Нср...

Номер патента: 1366501

Опубликовано: 15.01.1988

Авторы: Вайсберг, Гумерова, Иванова, Круглов, Масагутов, Минскер, Руднев, Сорокина, Юнкин

МПК: C07C 11/09

Метки: углеводородов

...в газе составляет 97,60 мас.й, что составляет Т а б л и ц а 1 Пример345 Показатель 0,6 1,0 0,7 0,9 79 ф 5 84 ф 8 886 89 ь 7 899 97,0 Концентрация катализатора,С, х 10, моль/г сырья Степень конверсии сырья вгазообразные продукты,мас,Е Содержание С 4-углеводородов в газе, мас,й Контрольные примеры,в пересчете на превращенное сырье 85,8 мас.й.П р и м е р 2-6. Опыты проводят аналогично примеру 1 с тем отличием, что.в реактор загружают катализатор из расчета 0,6-1, 1 10моль/г ПЭ.Результаты представлены в табл. 1.П р и м е.р 7. Опыт проводят аналогично примеру 1 с тем отличием, что время контакта увеличивают до 60 мин. При этом степень конверсии сырья в газ составляет 94,5 мас.7, содержание С-углеводородов в газе 95,7 мас.Х.П р и м е р ы...

Номер патента: 1342911

Опубликовано: 07.10.1987

Авторы: Иванова, Куковицкий, Курочкина, Масагутов, Минскер, Морозов, Таймолкин, Цадкин, Цыпышева, Юнкин

МПК: C07C 11/06, C07C 11/08, C10G 11/08 ...

Метки: углеводородов

...при 130 С.Реакцию проводят при атмосферномдавлении в изотермических условиях.В качестве сырья используют бензинтермического крекинга, характеризующийся следующими показателями: плотность 0,769 г/смз, пределы выкипания64-202 С, содержание соединений серы0,86 мас,7. Газообразные продуктыотводят иэ реакционной зоны и подвергают хроматографическому анализу,жидкие продукты возвращают в реакторс помощью обратного холодильника. При 49112температуре 280 С глубина превращениясырья в гаэ составляет 94,0 мас,7.Газообразные продукты представленыследующими углеводородами, мас,7: СНследы; С 0,91; С Н 26,40; Сз Н иг-С Н 8,70; савв-С 4 Н9,15; 2 С 4,17.Содержание в газообразных продуктахреакции целевых Сэ-С-углеводородовсоставляет 99,09 мас.7,...

Номер патента: 1264957

Опубликовано: 23.10.1986

Авторы: Биктимиров, Долматов, Мингараев, Шилов, Юнкин

МПК: B01D 3/20

Метки: барботажная, тарелка

...рукава, стружки ит,п, Над поверхностью барботажнойтарелки, с целью снижения вторичного уноса жидкости с тарелки, устанавливается перфорированное полотно, кромки чешуек которого ориентированы к оси лотка 4.Барботажная тарелка работает следующим образом.Жидкая фаза равномерно распределяется по желобам 1 и течет в гори-зонтальном направлении. Поток параиз"под колпачка 2 через прорези 3направляется через слой жидкости, те",кущей по желобу 1, и через зазор между соседними колпачками 2 движетсяв вертикальном направлении. Проходячерез перфорированную поверхностьлотка 4, поток пара ускоряется, эжек тируя поток жидкости к оси лотка 4.Так как кромки ячеек направлены коси лотка 4, то при встречном движении эжектируемой жидкости на оси лот ка...

Номер патента: 898475

Опубликовано: 15.01.1982

Авторы: Перепелюк, Шолохов, Юнкин

МПК: G07C 3/04

Метки: технологического, хронометража

...коммутатор 6, блок 7 питания, первый ивторой элементы И 8 и 9, одновибратор 1510, первый ключ 11 технологическихопераций, элементы индикации 12. Холичество счетчиков 5 импульсов и элементов ключей 4, индикации 12 со сменными надписями к ним выбираются в 20зависимости от количества хронометрируемых операций, а количество каналов - от количества хронометрируемыхмашин или технологических линий,Устройство работает следующим образом,Например, при сравнительных испытаниях четырех тракторов на контрольных сменах устройство должно состоятьиз четырех идентичных каналов, с количеством счетчиков 5 импульсов равным количеству операций. Начало любой операции каждого испытуемого трактора сообщается оператору, напримерпо радио (первая - "Рабочий...