Способ реактивного ионного травления ниобия на кремнии

Номер патента: 675573

Опубликовано: 25.07.1979

Авторы: Егоркин, Сальникова, Ягнятинский

МПК: H02P 13/16

Метки: импульсов, многофазным, мощности, преобразователем, тиристорным, формирования

...для Управления . нуль-органа бд (фиг,2 в) поступаетпервым каналом в инвертор- на второй вход схемы 7 (Фиг.1), аном режиме и четвертым ка- сигнал с нуль-органа б(фиг,2 г)налом в выпрямительном; на третий вход схемы 7,У - третийвыход убтройства, с 10 В момент времени-, формивыаЕкоторого снимаются дублирую- руется схемой совпадения 7 сигналщие импульсы для управления ОМАМ (Фиг.2 г,е,з и фиг.ЗМ) при совтретьим каналом .в инвертор- падении отрицательных значений выход-ном режиме иом режиме и шестым каналом ных напряжений с нуль-органов б ь ив выпрямительном; 15 64, Этот импульс ( Оьых 7 ) служитЦ з - ЧЕТВЕРтЫй ВЫХОД УСтРОйСт- ДЛЯ ДубЛИРОВаНИЯ УПРаВЛЯЮЩЕГО ИМ" пульса третьего канала системы упва, с которого снимаютсядублирующие импульсы для...

Номер патента: 1838867

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Лабунцов, Хаммами, Чаплыгин, Чжан

МПК: H02M 1/14

Метки: искажения, компенсатором, мощности, сигнала, формирования, эталонного

...на выходе избирательного фильтра.Сущность способа заключается в следующем, Потребители, питающиеся от сети с напряжением 9, потребляют несинусоидальный ток 10. Компенсатор мощности искажения формирует ток 11 1, при этом сумма токов 10 и 11 синусоидальна и равна синусоидальному эталонному току 15. Умно- житель 3 формирует текущее произведение сигналов 9 датчика напряжения 1 и датчика тока 2 (сигнал 11), которое интегрируется интегратором 4, сигнал на выходе которого приведен на диаграмме 12, В отстоящие друг от друга на период сети моменты т 1, т 2, тз сигнал интегратора 4 запоминается узлом выборки и хранения (диаграмма 13), Моменты т 1, т 2, тз фиксируются компаратором 8, Разность сигналов (диаграмма 13) правеемоментов ц и 2...

Номер патента: 1099776

Опубликовано: 23.10.1990

Авторы: Бугай, Ткаченко, Ярандин

МПК: H01L 21/3105

Метки: маски, плазменного, травления, формирования, фоторезистивной

...д.ттель) тьГнтес(о)ГО дик:аГОТГОе: .. Г Г.зцстивной маски; з-а цскб р Н,Г," ПРОВЕДЕНИЯ ДОНОГНИТЕЛЬН т( СПР) :;нанесения заципого слоя па Б 1 С)нанесения втсрогс ело 1:тоар(:3 с -его экипопироватптя рояв.Генц исушки, реак гивно. о ионного тра;1 сБ 102 и слоя толе:ого фоторетц.т;,11 елью изобретения явгтяегс;5 сстНИЕ ТЕХНОЛОгтНЕСКОГО 1 ИК 51;.эгт,:ния фоторезстВпойт аски спрофил"м ооковых с тонок11(.,ГЬ д 3 С Т 1РТ.бе формиров анЯ фос р=3 и гив,ОКИ ДЛЯ ЫаЗМЕННОГО ттэаВНЕПГГ ".К,щем операции Янесэ 5 фо Орес:сна ;Од 110)(к у . сушкус нонн с: Гц."Гспроявлс.ние эо бра кс:.я о-ле,эо,;пения изобракения проводят театнО,5-5 мин плсз."еп:у",. обработку;к. -.рЕЗИСта В БЧ дОдНО с 1 Сто:Е .- :ной среде прц павлецп. 0-, .1 ОС ПВтудельной мощности О...

Номер патента: 1701064

Опубликовано: 20.01.2008

Авторы: Базыленко, Василевич, Родин, Турцевич

МПК: H01L 21/302

Метки: кремния, микрорисунка, поверхности, создания

Способ создания микрорисунка на поверхности кремния, включающий формирование фоторезистивной маски на поверхности кремния, обработку поверхности кремния и фоторезиста в кислородсодержащей плазме ВЧ-разряда при давлении 2,0-13,3 Па и локальное травление кремния, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости создания микрорисунка в кремнии, кислородсодержащая плазма, в которой проводят обработку поверхности кремния и фоторезиста, дополнительно содержит 40-50 об.% гексафторида серы, плотность мощности разряда на обрабатываемой поверхности создают в диапазоне 0,7-0,9 Вт/см 2 и обработку проводят до удаления слоя кремния толщиной 0,04-0,12 мкм.

Номер патента: 1525808

Опубликовано: 30.11.1989

Авторы: Бивальд, Митин

МПК: H02J 3/06

Метки: межсистемной, мощности, перетока, регулятора, связи, уставок, формирования

...изизвестных методов (например, методомзолотого сечения). При выполненииблока 7 на аналоговой основе определение значения Е, соответствующегозаданной режимной надежности межсистемной связи, возможно изменениемзначения Е, вычислением Ипо формуле (1) и сравнением его с заданнымсредним в единицу времени числом пе 40ресечений предельного значения перетока. Когда расхождение между нимистанет равным нулю, то это и будетрешением уравнения (1) относительно 2,С второго выхода блока 7 сигнал45требуемого значения перетока поступает через контакты 10,1 на первый входблока 12 суммирования уставок с устройством запоминания суммы. С перво 50го выхода блока 7 тот же сигнал поступает на первый вход блока О сравнения и реле, на второй вход которого...