Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния

Номер патента: 1387798

Авторы: Ковешников, Редькин, Старков, Юнкин, Якимов, Ярыкин

Описание

Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния, включающий обработку нагретой пластины в электрическом разряде в газовой атмосфере, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей процесса геттерирования путем снижения температуры геттерирования, обработку пластины проводят в разряде высокой частоты, в атмосфере смеси кислорода с фторсодержащим соединением при их объемном отношении (0,1-1) : 1 соответственно величине удельной мощности на единицу поверхности 0,4-1,3 Вт/см2 и рабочем давлении 6 10-3 - 6 10-1 мм рт.ст., при этом температура пластины лежит в диапазоне 120-150oC.

Заявка

4100968/25, 06.08.1986

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР

Ковешников С. В, Редькин С. В, Старков В. В, Юнкин В. А, Якимов Е. Б, Ярыкин Н. А

МПК / Метки

МПК: H01L 21/322

Метки: геттерирования, кремния, металлических, пластине, примесей

Опубликовано: 20.08.1999

Код ссылки

<a href="https://patents.su/0-1387798-sposob-getterirovaniya-metallicheskikh-primesejj-v-plastine-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния</a>

Похожие патенты