Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния
Описание | Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Описание


Заявка
4100968/25, 06.08.1986
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов АН СССР
Ковешников С. В, Редькин С. В, Старков В. В, Юнкин В. А, Якимов Е. Б, Ярыкин Н. А
МПК / Метки
МПК: H01L 21/322
Метки: геттерирования, кремния, металлических, пластине, примесей
Опубликовано: 20.08.1999
Код ссылки
<a href="https://patents.su/0-1387798-sposob-getterirovaniya-metallicheskikh-primesejj-v-plastine-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ геттерирования металлических примесей в пластине кремния</a>
Предыдущий патент: Каталитическая композиция для окисления соединений закисного железа
Следующий патент: Способ приготовления катализатора для сжигания топлив и дожигания вредных примесей в газовых выбросах
Случайный патент: Соединение деревянных элементов