H01L 21/68 — для позиционирования, ориентирования и центрирования

Номер патента: 828267

Опубликовано: 07.05.1981

Авторы: Казарцев, Меламед, Сидун

МПК: H01L 21/68

Метки: бескорпусной, выводной, интегральноймикросхемы, рамкой, тара-спутник

...крышку и элементы фиксации крышки, выполненные в виде штырей 21. Однако в известной таре-спутнике невозможно надежно зафиксировать бескорпусную микросхему с выводной рамкой и исключить тангенциальное перемещение рамки. Тара-спутник для бескорпусной интегральной микросхемой с выводной рамкой состоит из основания 1 и крышки 2. Для укладки микросхемы, содержащей выводную рамку 3 с отверстиями 4 и кристалл 5, на основании 1 имеются фиксирующие стержни 6, расположенные по периметру и выполненные в виде цилиндров с усеченными конусами в заходной части, причем один из них - базирующий 7. В центре основания 1 имеется глухое отверстие 8 для размещения кристалла 5. Для базирования и сопряжения с крышкой 2 на основании 1 имеются штыри 9 и...

Номер патента: 834806

Опубликовано: 30.05.1981

Авторы: Евстратов, Лошаков, Умов, Филатов, Юрченков

МПК: H01L 21/68

Метки: объекта, ориентации

...смотрового устройства одно полное изображение отметки совмещения путем одновре 55 менного совмещения прямого и зеркального изображения неодинаковых элементов двух реперных знаков, находящихся в одной плоскости на одной прямой. 4На одном экране смотрового устройства 12 получают увеличенные при необходимости с разными коэФФициентами увеличения и достраиваемые до вписанных или описанных Фигур неодинаковые элементы реперных знаков 2-1 и 2-2 слоя печатной платы 2, причем величину возможного недостроения уравнивают перемещением слоя печатной платы на рабочем столе 1 на глаз.Идеальный случай - 5=0 мм.В остальных случаях точность выставки реперных знаков определяют на основании величин погрешности К в мм, зависимой от величины интервала 5 в...

Номер патента: 834807

Опубликовано: 30.05.1981

Автор: Михин

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета, транспортированияплоских

...ких изделий содержит корпус, выполненный в виде набора колец 1, на каждом из которых на торцовой стороне расположены на одинаковом расстоянии друг от друга (под угломо120 ) заостренные и направленные в одну сторону упоры 2. Число колец 1 определяется количеством одновременно обрабатываемых плоских деталей 3, например интегральных микросхем, размещенных на гибкой подложке. К стенке 4 (основанию) прикре-, плены равномерно расположенные под углом 120 ) три стержня 5 круглогоосечения, имеющие на незакреПЛенных концах поперечные пазы 6, обращенные внутрь кассеты, На внешнем диаметре кольцаимеются три равномерно расположенные (под углом 120 ) паза для облегчения перемещения колец 1 по стержням 5 при сборке и разборке кассеты. Другая стенка...

Номер патента: 860368

Опубликовано: 30.08.1981

Авторы: Акялис, Гинтарас, Гинтарене, Курыло, Рагульскис

МПК: H01L 21/68, H05K 13/02

Метки: координатный, привод

...источником напряжения и изолированы одна от другой, а средствоперемещения столика выполнено в виде электромагнита, установленного20 таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскостистолика,На фиг. 1 изображена схема устройства; иа фиг. 2 - то же, вид5 сверху.Устройство содержи основание 1,в котором установлены четыре контактные пластины 2, подключенные к источнику постоянного напряжения (цеО показано), расположенные по перимет:860368 формула изобретения мг,1 ставитель 3,хред.М. Голин Корректор А. Фере Редактор С. Юс Тираж 889 ВНИИПИ Государственног по делам изобретени 13035, Москва, Ж, РаушПодписноекомитета СССи открытийкая наб д. аказ 7582/32 нлиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,ру столика в виде прямоугольника,...

Номер патента: 881897

Опубликовано: 15.11.1981

Автор: Эрхард

МПК: H01L 21/68

Метки: круглых, ориентирования, подложек

...направляющую 4, в продольном направлении имеются проемы 12 и 13.Устройство работает следующим обраеом.Подлежащие ориентированию подложки 9, имеющйе на кромке лыску 14, 881897укладываются в любом положении наопору 8 у левого конца направляющей 4,так, что кромка помещается на опоре,а лыска - на направляющей 4. Опора 8при помощи приводного механизма 5через ременную передачу 10 и ролик 6линейно движется в направлении, показанном стрелкой С, относительнонаправляющей 4. Силы трения, возникающие в точке соприкосновения междуопорой 8 и кромкой подложки 9, перемещают последнюю в направлении движения опоры 8. А на поверхности прилегания подложки 9 к направляющей 4при движении создаются относительнопоследней моменты трения, противоположного...

Номер патента: 930771

Опубликовано: 23.05.1982

Авторы: Нейман, Ярош

МПК: H01L 21/68, H05K 3/00

Метки: предметный, стол

...стол содержит основание1, подвижную стойку 2, установленнуюна направляющих 3 основания 1 и планшайбу 4 с шариковой опорой 5. Механизм поворота планшайбы 4 сдержит ОФерромагнитную гребенку 6, расположенную по окружности планшайбы 4,и два электромагнитных элемента 7,установленных на подвижной стойке 2.Механизм подъема подвижной стойки 2содержит расположенную вертикальновинтовую пару с винтом 8 и гайкой 9,закреплеНной на основании 1. На винте 8 закреплен диск 10, по окружности которого расположена Ферромагнит" 20ная гребенка 11, а на подвижной стойке 2 расположены два электромагнитных,элемента 12. Электромагнитные элементы 7 и 12 выполнены в виде постоянныхмагнитов с П-образными магнитопровода ми, на которцх размещены обмоткиуправления не...

Номер патента: 943925

Опубликовано: 15.07.1982

Авторы: Гурусова, Калин, Панов

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета

...2 также установлена стойка 13,к которой прикреплена прижимнаяпланка 14 при помощи шарнира 15,Прижимное средство образовано прижимной планкой 14 с закрепленнымина ней упругими элементами 16 ипластинчатыми прижимами 17 со сферическими упорами 18. Между сферичес- .кими упорами 18 и обрабатываемымикорпусами микросхем расположеныспутники 19 с пазами 20 под выводы21 корпусов микросхем, На прижимной планке 14 закреплена рукоятка22, с помощью которой осуществляется поворот прижимного средства иего фиксация, Для ограничения ходаподвижной кулисы 8 на основании 2установлены упоры 23.Кассета работает следующим образом.В гнездо опоры 4, выполненной изтеплопроводного материала, устанавливают изделие, например корпус микросхемы,имеющий...

Номер патента: 946020

Опубликовано: 23.07.1982

Авторы: Акялис, Гинтарас, Гинтарене, Курило, Норвилас

МПК: H01L 21/68, H05K 13/02

Метки: координатный, привод

...основание 1,в нем установлены контактные пластины 2, подключенные к источнику импульсного напряжения ( не показан),расположенные в виде прямоугольника,изолированные между собой и фрикционно сопряженные со столиком 3 а также постоянные электромагниты ч ( основной и дополнительный) с катушками 5, которые подключены к коммута 3 946ционному устройству не показано , позволяющему их включать встречно, и расположены симметрично относительно геометрического центра столика.Устройство работает следующим образом.К источнику импульсного напряжения подключены две параллельные контактные пластины 2, а катушки .5- к источнику постоянного напряженияСтолик 3 замыкает параллельные пластины 2, образуя замкнутую цепь. При подаче импульса напряжения на...

Номер патента: 957321

Опубликовано: 07.09.1982

Авторы: Белоусов, Бурмистров

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета, подложек, полупроводниковых

...и снабжены размещенными в них графитовыми стержнями 6 с диэлектрическими вкладышами 7, а в каждом графитовом стержне 6 выполнены пазы 8, совмещенные с пазами 3 и 4 каждого диэлектрического стержня, при этом диэлектрические вкладыши 7. одного графитового стержня размещены в каждом четном его пазу, а другого графитового стержня - и ка.кдом нечетном его пазу. Вкладыши 7 фик ируются в диэлектрическом стержне спомощью отверстия 9. В торцах графитовых стержней 6 предусмотрены резьбовые отвсрсгия (нс показаны) для крепления .оковедущих шин от внешнего источника 1 итания.Таки м образом, четные подложки 5, размсщенные в кассете, будут иметь:-лектричсский контакт с одним графитовым стержнем, а нечетные подложки - с другим. Набор гюдложек 5 в...

Номер патента: 957322

Опубликовано: 07.09.1982

Авторы: Ершов, Рагульскис, Улозас

МПК: H01L 21/68

Метки: ориентации, подложек

...основании 2 на упругих элементах 4 и снаб 1 О жеп толкателями, выполненными в виде пьезокерамического элемента 5 и набора 6 пьезоэлементов, Пьезокерамический элемент выполнен из нескольких блоков 7. Набор 6 содержит пьезоэлементы 8, которые охвачены П-образной скобой 9. К последней приклеивается пьезокерамический элемент 5. Пьезоэлемент 8 набора 6 приклеивается к пластине 10 через держатели 11. Сама пластина 10 установлена на основании 2 посредством шарнира 12, В данной конструкции взяты два набора пьезоэлементов. В зависимости от перемещения их можно набирать блоком. Пьезокерамический элемент 5 закреплен на выступе 3 плиты шарнирно.Устройство работает следующим образом.При подключении постоянного электрического напряжения...

Номер патента: 972618

Опубликовано: 07.11.1982

Авторы: Батенев, Костенко, Огай, Свиридов

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета, микросхем

...дополнительного основания 2 и фиксаторов 3.Основание 1 содержит. выступы 4,Основание 2 содержит лепестки 5 иокна 6. Фиксаторы 3 выполнены С -образной формы с выступами 7 и 8 вдолькромок, соприкасающихся с поверхностью радиоэлемента. Торцы выступовзакруглены,Основание 1 выполнено иэ оптически прозрачного материала, напримерплексигласа или другого прозрачногоматериала, обладающего упругой деформацией. Эта планка является основной, на которую крепятся остальные детали, при этом она должнасохранять свою прямолинейную форму.Выступы 4 выполнены с шагом, кратнымшагу размещения микросхем, и служатдля захвата кассеты при перемещенииее в автомате. Лепестки 5 основания2 загнуты и закрепляют два основанияи фиксаторы. Основание 2 выполненоиз мягкого...

Номер патента: 983837

Опубликовано: 23.12.1982

Авторы: Григорьев, Кузнецов, Сорокин, Стаховский

МПК: H01L 21/68

Метки: съема

...сильфона.На фиг, 1 изображено предлагаемое 15устройство, общий вид; на фиг, 2 - то же,в рабочем положении.Устройство для объема мелких деталей содержит присоску 1, опорный столик2 для размещения эластичной липкой пленоки 3, на которой расположены кристаллы4 и общую вакуумную камеру 5, Опорныйстолик 2 снабжен каналами 6, от которого отходят сквозные отверстия 7, Каналы6 сообщаются с обшей вакуумной камерой 255, через полость которой проходит выталкиватель 8. Он закреплен одним концомна днище вакуумной камеры 5 и снабженпружиной 9. Вакуумная камера 5 служитодновременно для присасывания диафрагмыЗои перемещения выталкивателя 8,Устройство работает следующим образом.Разделенная на кристаллы 4 полупроводниковая пластина закрепляется на...

Номер патента: 1003202

Опубликовано: 07.03.1983

Авторы: Крейнес, Михайлов, Штейн

МПК: H01L 21/68

Метки: деталями, загрузки, кассет, стержневыми

...выводов по поверхности мага- магнитного материала, зина при вибрациях либо непосредственно,как большинство в процессе подпитки кассет, Введение в полупроводниковых рабочее положение штоков-отсекатедей ются из ферромаг также должно производиться при виб 35апример ковара или рациях, наличие кассеты под трафаретомм расположены элек- обязательно как в процессе начального з катушки которых заполнения, так и в период подпитки. атели 12 своей верхВ исходном положении механизма подлняющей роль якоря питки все ячейки загружены выводами до46одненной из электро- величины 60-80% их емкости, штоки-отод якоря и соответ- секатели 12 находятся ь крайнем нижпри включении элек- нем положении (под действием их собстет меньше высоты венного веса) и их...

Номер патента: 1018180

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Мещеряков, Сухоруков

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета

...4 и 5. В качественерхних 2 стержней использованытрубки, внутри которых размещеныштоки б, имеющие пазы 7, по шагу иразмерам соответствующие пазам втрубках. С одной стороны штоки бподпружинены пружинами 8, а с другой стороной своими торцовыми по 50 55 60 После выполнения необходимых операций эксцентрики возвращаются в положение "загрузками, в результате чего штоки б перемещаются вправо, сжимая пружины и совмещая прорези в штоках с пазами в трубках. Освобожденные от зажима пластины извлекают из кассеты и передают на следующую операцию.Применение предлагаемой кассеты при плазмохимической обработке кремниевых пластин позволяет повысить качество обработки и исключить бой пластин в процессе обработки и транспортировки. верхностями...

Номер патента: 1018181

Опубликовано: 15.05.1983

Авторы: Бабурин, Сахарович

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета, полупроводниковых, приборов

...в виде пластины идва стержня, прикрепленных с зазоромс двух сторон к пластине крепежнымиэлементами, выполненными в видеушек. В зазор между пластиной истержнем вставляются выводы приборов Г 23.Недостатком этой кассеты являетсясложность механизированной загрузкивследствие того, что затруднено попадание ножки прибора между пластиной и .стержнем. Кроме того, фиксацияприборов осуществляется только засчет сил трения между выводами и пластиной со стержнем, что недостаточно надежно, так как зазор между плас тиной и стержнем кассеты не регулируется и составляет 1,2-1,5 диаметра выводов. Цель изобретения - обеспечениемеханизации загрузки и повышение 45надежности фиксации прборов,Указанная цель достигаешься тем,.что в кассете для...

Номер патента: 1029270

Опубликовано: 15.07.1983

Авторы: Мясищева, Окованцев, Пирогов

МПК: H01L 21/68

Метки: диффузии, кассета

...к области то же, вид сбоку, разрез Б-Б; на изготовления полупроводниковых при- фиг.5 - разрез А-А, установка пласборов и может быть использовано для тины.проведения процессов диффузии в по- Кассета содержит держатель для лупроводниковые пластины, в частнос источника диффузии - рамку 1, накоторой выполнены выступы 2 с паза- в потоке газа-носителя. ми 3 для пластин источника диффузииНаиболее близкой к предложенной и Фиксаторы 4. Держатель для полупроводниковых пластин рамка 5 имеет10 выступы 6 с пазами 7 для полупроводниковых пластин, Пласты нарезаныпод углом 45 О к плоскости кассеты.Рамка 5 выполнена съемной и устаНедостатком известной конструкции навливается на рамку 1, при этомее выступы попадают в промежуткимежду выступами рамки...

Номер патента: 1037364

Опубликовано: 23.08.1983

Автор: Горбунов

МПК: H01L 21/68

Метки: кассета

...в виде съемной ращки, установленной по периметру основания, а на съемной крышке выпол-эб иены продольные пазы Ч-образной формы,при атом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы Высот продольного паза Ч-образной Форьы основания и продольного 60 паза Ч-образной формы съемной крышки, кроме того, экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок, уста новленных перпендикулярно продольныМ павам Ч-образной формы. На фиг. 1 показана кассета без крышки, вид в аксонометрии; на Фиг, 2- то же, вид сбоку с крышкой, на фиг. 3 - то же, вид с торца, на фиг. 4. - кассета без крышки с вариантом экранирующего элемента, вид сверху", на фиг. 5 - то же, вид сбоку с крышкой.Кассета содержит основание 1 с гнездами для полупроводниковых...

Номер патента: 1051621

Опубликовано: 30.10.1983

Авторы: Елисеев, Панкратов

МПК: H01L 21/306, H01L 21/68

Метки: защитный, экран

...были опробованы защитные свойства приспособлений с углами с 6 от 0 до 120 . Исследования показали, что травитель практически не проникает за пределы области касания приспособления со структурой, при е от 8 до 90 . Это можно объяснить следующим образом, используя фиг,2, на которой показан момент, предшествующий проникновению травителя уа границу 4, На каплю травителя действуют сила поверхностного электрических характеристик полупроводниковых структур.Указанная цель достигается тем,что в защитном экране, преимущественно в устройствах для травлениябоковой поверхности полупроводниковых пластин, выполненном в виде шайбы с фаской по периметру, на рабочейповерхности шайбы выполнен паз, боковые стенки которого расположены 10 под углом 8-900 к...

Номер патента: 1061196

Опубликовано: 15.12.1983

Авторы: Данилов, Королев, Первушин, Синицын

МПК: H01L 21/68

Метки: держатель, подложек

...вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями 2 3.Однако в известном держателе под- .25 ложек фиксация подложек недостаточно надежна, так как отсутствуют средства регулировки усилия прижима и средства, предотвращающие попадание загрязняющих элементов в канал ваку" умной системы.Цель изобретения ; повышение надежности фиксации подложек.Цель достигается тем, что держатель для подложек, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями, снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения 40 а углубления на опорной поверхности выполнены в виде концентрических кольцевых канавок,.в...

Номер патента: 695433

Опубликовано: 15.04.1985

Авторы: Зайцев, Кадомский, Свиридов

МПК: G03B 27/20, H01L 21/68

Метки: подложки, рисунков, совмещения, фотошаблона

...систему, манипулятор совмещения, держатель фотошаблона, столик для подложки, механизм образования микрозазора, калибратор с базовыми упорами со стороны.подложки, выполненный с воэможностьюгоризонтальных перемещений иа базо 1 вых упорах калибратора выполненывакуумные прихваты, а на его обратнойстороне - дополнительные базовыеупоры, параллельные первым, причемкалибратор выполнен с возможностьювзаимодействия с механизмом созданиямикрозаэора, в который введен узелкомпенсации толщины калибратора,выполненный, преимущественно, в видекулачка со ступенью подъема, имеющей высоту, равную толщине калибратора.На фиг. 1 представлен общий видустройства для совмещения рисунковподложки и фотошаблона; на фиг. 2 развертка рабочей поверхности кулачка....

Номер патента: 1162001

Опубликовано: 15.06.1985

Автор: Мякинченко

МПК: H01L 21/00, H01L 21/68

Метки: виде, загрузки, кассеты, преимущественно, стержней

...с рычагом 18, установленным на оси 19, закрепленной .на кронштейне 20 основания 12, соединен с кронштейном 21 бункера 1 полуосью 22, которая неподвижно закреп лена на рычаге 18. Такая установка бункера 1 на оси 11 качания и его соединение с виброприводом и механиз-. мом поворота обеспечивает возможность колебаний бункера .1 параллельно осно" 15 ванию 12 и качания его вокруг оси, параллельной направлению его колебаний.Отверстия 3 плиты магазина 2 выполнены продолговатой формы и расположены своей продольной осью симмет О рии перпендикулярно оси 11 качания бункера 1.На плите магазина 2 выполнены заходные поверхности, сообщающиеся с его отверстиями 3, выполненные в виде пазов 23 и 24, расположенных параллельно оси 11 качания бункера 1 и...

Номер патента: 1211228

Опубликовано: 15.02.1986

Авторы: Хмыров, Цукерман

МПК: C03B 35/20, H01L 21/68

Метки: переноса

...опустилисьна 1,5-2 мм ниже поверхности захватываемой пластины. При этом сжатыйвоздух, например под давлением0,1 МПа, подается в коллектор 2 итрубки 1 разжимаются. Далее давле,ние воздуха в коллекторе 2 делаетсяравным атмосферному или, если перенос происходит в среде с контролируемой атмосферой, давлению этойсреды. За счет сил упругости трубки 1 возвращаются в исходное положение, упругие элементы мягко касаются пластины 6, так как давление,прикладываемое к пластине со стороны упругого элемента, гораздо меньше усилия, необходимого для сколапластины. Это обеспечивается за счетрасположения захватов по окружнос,ти, диаметр которой определяетсяв соответствии с соотношением10 20 30 35 50 где Э - диаметр окружности, на которой расположены...

Номер патента: 1220030

Опубликовано: 23.03.1986

Автор: Сергеев

МПК: H01L 21/68

Метки: полупроводниковых, приборов, сборки

...и кулачки-эксцентрики 12,взаимодействующие с подпружиненными двуплечими рычагами 6, На одном плече двуплечего рычага 6 установлены пластина со сквозным отверстием 13 по форме крышки 5 и сопряженные с ним от 40 верстия 14 под два сварочных электрода (не показаны). Сквозное отверстие 13 в верхней части выполнено с заход- ными фасками 15 и фасками 16 в некией части продольных граней 17 сквознога отверстия 13. Нижние кромки 18 поперечных граней 19 сквозного отверстия 13 выполнены острыми с минимальными радиусами 0,05 - 0,10 мм. Дляа сборки полупроводниковых при 5 О боров, например интегральных микросхем в прямоугольных корпусах, высота корпуса полупроводникового прибора Н, минимальное расстояние Ь междунаправляющим выступом 2 гнезда и...

Номер патента: 1259525

Опубликовано: 23.09.1986

Авторы: Вотинов, Егоров, Мякинченко

МПК: H01L 21/68, H05K 13/02

Метки: ориентации, цилиндрических

...или держателей 12 с пазами13, Трафарет 3 выполнен с элементамидня фиксации деталей в ориентированном положении. Для фланцев 8 элементы трафарета 3 для фиксации деталейв ориентированном положении выполнены в виде пазов 14 для радиальныхвыступов 9. Пазы 14 расположены между наклонными выступами 15, Для стек"лотаблеток 10 элементы дпя фиксациидеталей трафарета 3 выполнены в ви"де прорезей 16 в дне гнезд 7 для раэ"мещения деталей, а для дераателей 12 Устройство работает следующим об- О разом.В наклонном полоаенни вибробункера в его полость 4 засыпают ориентируемые детали в количестве, в О. 5 раз превышающем количество гнезд 5 трафарета. Вибробункеру 1 сообщаютсявозвратно-поступательные колебаниявдоль оси качания и поочередные наклоны...

Номер патента: 1222142

Опубликовано: 15.10.1986

Авторы: Градусов, Колядинцев, Попов, Руденко

МПК: H01L 21/52, H01L 21/68

Метки: полупроводниковых, приборов, сборки

...установлены электромагниты 10 и 11, подключенные к выходу блока 5 управления. На входном и выходном валах редуктора 7 жестко закреплены флажки 12 и 13, перекрывакщие в крайних положениях рычага 9 фотодатчики 14 и 15, подключенные к входу блока 5 управления. На свободном конце рычага 9 жестко закреплен вакуумный за:.ват 16 для снятия и переноса кристаллов 2. В верхнем положении рычаг 9 удерживается пружиной 17. Устройство работает следукзцим образом.Пластина с кристаллами 2 полупроводниковых приборов подается на позицию снятия кристаллов и ориентируется механизмом 1 подачи кристаллов. С блока 5 управления при этои подается импульс на электромагнит 11, под действием которого рычаг 9 опускается и вакууиный захват 16 захватывает один...

Номер патента: 1272378

Опубликовано: 23.11.1986

Автор: Львов

МПК: H01L 21/68

Метки: головки, многозондовой, сборки

...фиг.2 б и 2 в представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление. А - точки соприкосновения тела зонда с опорным элементом, В - точки соприкосновения контактного конца с имитатором топологии, С - центр тяжести зонда, 6 - вектор силы веса зонда. Центр тяжести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соединяющей.На фиг.За - и представлс ны конструктивные варианты исполнения зондов с изгибом; на фиг,Зк - вариант исполнения зонда с дополнительным грузом 6.Сборка многозондовой головки осуществляется следующим образом.Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг При этом они под действием силы тяжести устойчиво самоустанавливаются в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в...

Номер патента: 1381620

Опубликовано: 15.03.1988

Авторы: Блинов, Масляный

МПК: B25J 15/00, H01L 21/68

Метки: захват

...и соприкасаются друг с другом.На стержнях 2 жестко закрепленыкрючки 3 для захвата и кулачки 4 длястабилизации положения захватываемойпластины 5, находящейся в пазу технологической кассеты 6,Расстояние между стержнями 2 иположение крючков 3 на спицах зависит от диаметра захватываемой пластины. Кулачки 4 расположены на стержнях 2 таким образом, что их соприкосновение с обратной стороной пластины происходит не более чем в1,5 мм от ее края (т,е, в ее нерабочей зоне).45Устройства работает следующимобразом,Манипулятор промышпенного роботавводит подвижные элементы захвата. -стержни 2, находящиеся в исходномположении (фиг. 3), в пространствомежду пластинами (или пластиной и торцовой стенкой кассеты фиг. 4) . Обеспечиваемое приводом устройства...

Номер патента: 1451786

Опубликовано: 15.01.1989

Авторы: Крюгер, Рисланд

МПК: H01L 21/68

Метки: сервопривод

...113. 1, соединенными с наклонными отверстиями 113.3, которые все направлены в одном направлении, проведены вплотную до поверхности поддона для полупроводниковых пластинок 113. Под воздействием подводимого сжатого воздуха ка шланговом патрубке 106 полупроводниковая пластинка (не показана) перемещается от поддона для пластинки 113 на воздушкой подушке в направлении перемещения,От шлангового патрубка 105 к отверстию 113,2 проведена вторая канальная система 117.По ходу отверстия 113.2 имеются несколько клапанов 118. Клапаны 118 при помощи винтов 119 возможно зафиксировать в двух положениях, которые в зависимости от положения освобождают дальнейшую подачу вакуума через отверстие 113,2 или коммуникацию с кольцевыми пазами 113.4 или...

Номер патента: 1497778

Опубликовано: 30.07.1989

Авторы: Селицкий, Черняков

МПК: H01L 21/68, H05K 13/02

Метки: асимметрично, выводами, корпусом, односторонними, ориентации, полупроводниковых, приборов, расположенными, ступенчатым, цилиндрическим

...продольного паза 2,соответствующая диаметру размещаемойв. нем части корпуса полупроводникового прибора с учетом зазора, равного 0,5-1 мм;0 С - угол между продольными осями основного и дополнительного лотков, выбираемый из диапазона 90-130оНаправляющие прорези 8 и 9 выполнены с клинообразными эаходными частями на входе последовательносвязанных основного и дополнительного лотковИеханиэм колебаний обеспечивает направление пульсирующих колебаний основного и дополнительного лотков7778 4 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 соответственно под углами /э ик продольным осям 10 и 1 лотков.У ориентируемого полупроводникового прибора 12 длинный вывод 13введен в проходной паэ 3 лотков, аболее короткий Г-образный вывод 14введен в направляющие прорези...

Номер патента: 1380547

Опубликовано: 15.09.1989

Авторы: Махаев, Ожерельева

МПК: H01L 21/68, H05K 13/02

Метки: интегральных, микросхем, спутник-носитель

...корпуса 3 микросхемы с пазами 4 для выводов 5 микросхемы, с окнами 6 для фиксации крьипки 7, Крышка представляет собой рамку с пересекающимися перемычками 8 ификсаторами 9, Точка пересечения перемычек совпадает с геометрическойосью рамки, перпендикулярной к ее поверхности. В закрытом положении крышка 7 закрепляется на основании 1 припомощи фиксаторов 9, которые входятв окна 6, при этом площадка А, образованная пересекающимися перемычками 308, фиксируют микросхему в окне 2 основания 1. Возможность использованиякрышки одного размера для комплектования спутников, предназначенных для нескольких типоразмеров микросхем, показана на фиг. 3. Пунктирными линиями В, С, П показаны контуры ложе- ментов под микросхемы, например, трех типоразмеров,...