Кассета

Изобретение относится к устройст.вам для односторонней групповой обработки и транспортировки плоскихизлелий, например полупроводниковых пластин.Наиболее близкой к предлагаемойявляется кассета, содержащая размещенные между стойками подложкодержатели, выполненные в виде установленных параллельно и на разных уровняхстержней с пазами для полупроводниковых подложек 1.Недостатками этого устройства являются ненадежная фиксация пластин иневозможность его использованияпри необходимости обрабатывать лишьодну сторону пластины, например,.при плазмохимическом травлении. Этообусловлено тем, что устройствоимеет фиксированные, неподвижныепазы для размещения пластин, исклю-.чающие возможность установки и плотного прижатия защитных экрановк пластинам или пластины к пластине.Цель изобретения - повышение надежности фиксации полупроводниковыхподложек и повышение их качества.Поставленная цель достигается темчто в кассете преимущественно дляобработки и транспортировки полупроводниковых подложек, содержащейразмещенные между стойками подложкодержатели, выполненные н виде установленных параллельно и на разных .уровнях стержней с пазами для полу.пронодииковых подложек, стержни,установленные на одном уровне, выполнены полыми и снабжены размещенными внутри них подпружиненными штоками и механизмом их перемещенияи фиксации.При этом механизм перемещенияи фиксации подпружиненных штоковвыполнен в виде жестко закрепленныхна общей оси эксцентриков, установленных с возможностью взаимодействия с торцовыми поверхностями годпружиненных штоков.На фиг, 1 изображена кассета,вид сверху; на фиг. 2 - то же,спереди, на фиг, 3 - трубка со штоком, разрез, в момент загрузки плас.тин, фиг. 4 - то же, после фиксации полупроводников пластин,Кассета содержит стойки 1, соединенные верхними 2 и нижними 3стержнями, на которых имеются пазысоответственно 4 и 5. В качественерхних 2 стержней использованытрубки, внутри которых размещеныштоки б, имеющие пазы 7, по шагу иразмерам соответствующие пазам втрубках. С одной стороны штоки бподпружинены пружинами 8, а с другой стороной своими торцовыми по 50 55 60 После выполнения необходимых операций эксцентрики возвращаются в положение "загрузками, в результате чего штоки б перемещаются вправо, сжимая пружины и совмещая прорези в штоках с пазами в трубках. Освобожденные от зажима пластины извлекают из кассеты и передают на следующую операцию.Применение предлагаемой кассеты при плазмохимической обработке кремниевых пластин позволяет повысить качество обработки и исключить бой пластин в процессе обработки и транспортировки. верхностями контактируют с эксцентриками 9, жестко сидящими на поворотной оси 10 и имеющими ручку 11,Эксцентрики и пружины служат Дляфиксации и освобождения полупроводниковых пластин 12 и защитных экранов (или других полупроводниковыхпластин) 13.Подготовка к работе и работа кассеты при плазмохимическом травлении10 полупроводниконых пластин осуществля"ется следующим образом.Полупронодниковые кремниевыепластины 12 с нанесенной на нихпленкой нитрида кремния, которые не 15 обходимо обработать с одной стороны,помещают в пазы 4 и 5 стержней,закрепленных в стойках 1. Одновременно в эти пазе устанавливают защитные экраны 13, причем сторона .пластины, которую необходимо защитить от травления, должна быть обращена к экрану, Экраном может служитьи другая полупроводниковая пластина.В этом случае пластины устананливают25 друг к другу стоРонами, которые недолжны подвергнуться травлению. Наэтом этапе работы эксцентрики находятся в положении "загрузка", т.е.пазы 4 в трубках верхних 2 стержнейсовпадают с пазами 7 в штоках б,а пружины 8 сжаты,После загрузки партии пластинручку 11 перемещают в положение"процесс", при этом эксцентрики 9поворачиваются вокруг оси 10 и конЗ 5 тактирующие с ними штоки б перемеща.ются под действием пружин, сокращаяширину между пазами 4 и 7. В результате этого пластины прижимаются кзащитным экранам (или другим пласти 40 нам).,. Кассету с зафиксированными пластинами помещают в камеру для плаэмохимической обработки или передаютдля транспортировки на другую опе 45 рацию. При этом никаких смещенийпластин и экранов относительно другдруга не происходит,1018180 Вака раж 703дарственного комитеизобретений и открЖ, Рашуская наб.город, ул. Проектная,3554/ Подписнота СССРытий , д. 4/5 ВНИИПИ Госу по делам 13035, Москва, ипат Филиал г, Уж Составитель Л. ГришковаРедактор Т. Веселова . Техред М.Тепер Корректор Е. Роык