Кассета

СОЮЗ СОВЕТСНИХСО 49 МЙФЕПФКРЕСПУБЛИН 1 68 н МЮ / ЕТЕНИЯ ВУ ИСАНИЕ ИЭОБР ТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ ОП во СССР1975.Р 1.310858,мущественно аллов, со ами для повыполазов Ч-об у и экра- ающаГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬПИЙ 21)3385748/18-21(54) 57) 1. КАССЕТА, преидля полупроводниковых кристдержащая основание с гнездлупроводниковых кристаллов,ненными в виде продольных празной фобы, съемную крышкнирукюий элемент, о т л и ч,801037364 А я с я тем, что, с целью .улучшения эксплуатационных возможностей, экранирующий элемент выполнен в виде съемной ргцкки, установленной по периметру основания, а на съемной крышке выполнены продольные пазы Ч-образной формы, при этом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы высот продольного паза 7-образной Формы основания и продоль:ного паза Ч-образной формы съемной крышки.2. Кассета по п. 1, о т л и ч аю щ а я с я тем, что экранирующнй элемент выполнен в виде съемных планок, установленных перпендикулярно продольным пазам Ч-образной Формы. , ЕИзОбретение относится к технологическому оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может быть использовайо при нанесении защитной пленки на грани кристаллов с р-п-переходами, а также для внешнего. контроля и транспор" тировки полупроводниковых кристаллов.Известна кассета, состоящая из кры;: шки в виде рамки с натянутыми проволоками и основание с ячейками, в дне ячеек выполнены крестообразно расположенные выступы в виде клиньев, и полости, образованные выступами, переходят в сквозные отверстия в центре ячейки13 15Кассета изготовлена таким образом, что любые верхние и нижние грани уложенных в них кристаллов располагаются параллельно основанию кассет. Такая ориентировка кристаллов 20 не позволяет осуществлять нанесейие покрытий только на боковые грани.Наиболее близкой к предлагаемой является кассета, содержащая основание с гнездами для кристаллов, выполненными в виде продольных пазов Ч-образной формы, съемную крышку и экранирующий элемент2 1.Ч-образная Форма пазов на дне этой30 упаковки позволяет устойчиво ориентировать кристаллы для покрытия пленкой только двух боковых граней, Однако из-за отсутствия у упаковки поперечных боковых стенок изолирую" щая пленка будет попадать на грани крайних кристаллов, не предназначенные для покрытия. Кроме того, такая кассета является малопроизводительной, так как для нанесения защитной пленки на две другие боковые грани 40 либо для проведения визуального контроля надо поштучнопереворачивать каждое изделие. Цель изобретения - улучшение эксплуатационных Возможностей.Эта цель достигается тем, что в кассете, преимущественно для полупроводниковых кристаллов, содержащей основание с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в Виде продольных пазов Ч-образной Формы, съемную крышку и экранирующий элемент, выполненный в виде съемной ращки, установленной по периметру основания, а на съемной крышке выпол-эб иены продольные пазы Ч-образной формы,при атом высота рамки экранирующего элемента выполнена не меньше суммы Высот продольного паза Ч-образной Форьы основания и продольного 60 паза Ч-образной формы съемной крышки, кроме того, экранирующий элемент выполнен в виде съемных планок, уста новленных перпендикулярно продольныМ павам Ч-образной формы. На фиг. 1 показана кассета без крышки, вид в аксонометрии; на Фиг, 2- то же, вид сбоку с крышкой, на фиг. 3 - то же, вид с торца, на фиг. 4. - кассета без крышки с вариантом экранирующего элемента, вид сверху", на фиг. 5 - то же, вид сбоку с крышкой.Кассета содержит основание 1 с гнездами для полупроводниковых кристаллов, выполненными в виде продольных пазов 2 Ч-образной формы. По периметру основания выполнены опорные плоскости 3, например, в виде площадок, выступов, штырей для размещения на них экранирующего элемента 4, который может быть выполнен в виде рамки, или в виде планок.Рамка распбложена по периметру кассету, а планки - перпендикулярно продольным пазам 2 Ч образной формы. При этом экранирующий элемент перекрывает по высоте кристаллы 5, установленные на ребро. Крышка кас" сеты выполнена идентично основанию кассеты и имеет также продольные пазы Ч-образной формы. Основание и крышка .установлены навстречу друг другу поверхностями с пазами с образованием загнутого контура для разме" щения кристаллов. Для транспортиров" ки основание и крышка могут быть скреплены между собой любым известным зажимом.Кассета работает следующим об" . разом.Для нанесения покрытий на боковые грани кристаллов с р-п-переходами последние располагаются в пазах 2, сверху на опорные плоскости 3 накладывается рамка, а затем основание 1 с кристаллами помещается в камеру установки для нанесения защитной пленки. После покрытия пленкой двух боковых граней кассета выгружается из камеры, на рамку накладывается крышка, и кассета поворачивается на 180 . При этом происходит перемещение кристаллов, а пазы крышки и непокрытые грани кристаллов сказыва" ются повернутыми вверх. Рамка, удерживающая и экранирующая крайние в пазах кристаллы, также перемещается на крышку. Далее производится нанесение защитной пленки на две другие боковые грани.При проведении визуального контроля боковых граней вначале осуществляется осмотр видимых граней кристаллов, помещенных в пазы основания. Затем сверху накладывается крышка, и кассета поворачивается на 180 ф. После перемещения кристаллов в пазы крышки проводится осмотр двух других боковых граней.Транспортировка полупроводниковых кристаллов осуществляется в закры1037364 2 1 Составитель Л. Грныковадактор П. Коссей Техред Е.Иыцьо Корректор А. фвр Тирах 703 ВНИИПИ Государственного комитета С по делам изобретений и открытий 3035, Москва, Ж, Раутская наб., аказ 6022/56 дписно 4/5. илиал ППП "Патентф, г УагоЬод, ул. Проектная, 4 той кассете, снабженной любым известным зажимом.Использование кассеты для полупроводниковых кристаллов позволяет прак" тически в 10 раз повысить производительность труда при нанесении защитной пленки на боковые грани кристаллов с р-и-переходамн и проведе". нин визуального контроля кристаллов эа счет экономного использования рабочей поверхности кассеты при укладывании изделий вплотную друг к другу гра"нями, ие нодлеиащими покрытию, а такие за счет ликвидации операции поштучного переворачивания кристаллов. Экранирование контактных граней крайних в пазах кристаллов осуществляет"ся рамкой или планками одновременнопредотвращающими выпадение кристаллов иэ пазов кассеты.