Предметный стол

О П И С А Н И Е)930771ИЗОБРЕТЕН ИЯХ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советск ивСоциал истнчесни кРеспублик) Дополнительное к авт, сеид-ву(22) Заявлено 14,11. 80 (21) 300 ч 015/18-21с присоединением заявки М 05 К 3/0001 1 21/70 РтвуАэретеОнмв квмвте СССР ве Аааам кзееретеяив и втерытяв(23)Приоритет Опубликовано 23.05.82. БюллетеньДата опубликования описания 23.05,8.В. Яро 71) Заяви 4 ПРЕДМЕТНЫЙ СТО ереме угловы аль ерти кали, особность ие габариты и я нагрузочная ии меха"ки.ние тоция габаоле тух нои сто - повыа ма подвиж етен ения ьше стол технолосодержащийижную головкуижной голового устроиства яв ыстродействие, не ть и значительные пары, о реплено закрепл гребенк стойки пары, а Ф преднетного точная точ Изобретение относится к электр нике, в частности к технологическ оборудованию микроэлектроники, на пример к установкам зондового кон ля и разделения на кристаллы полу проводниковых пластин. Известен предметный гического оборудования,основание, корпус, подв и механизм подъема подвки 03.Недостатками этШ ляются его малое бдостаточная точносгабариты.Наиболее близким к изобретению яв ляется предметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшай бу и механизм поворота планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащее ерромагнитные гребенки и электромагнитные элементы Г 2.Недостатками этогостола являются недоста ность верт щений, бол а также ма и наличие низма подьЦель из ности пере ритов,Цель достигается тем, цто в предметном столе, содержащем основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота планшайбы и подьема подвижной стойки, содержащие ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы, механизм подьема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематицескойдно звено которой жестко закна основании, а на другомен диск, причем ферромагнитнаяа механизма подьема подвижнойрасположена на диске винтовойэлектромагнитные элементы930771 3механизма подъема подвижной стойкирасположены на подвижной стойке.На Фиг. 1 показан предметный стол;на фиг. 2 - та же, вид А на Фиг,1;на фиг. 3 - узел 1 на фиг.1.Предметный стол содержит основание1, подвижную стойку 2, установленнуюна направляющих 3 основания 1 и планшайбу 4 с шариковой опорой 5. Механизм поворота планшайбы 4 сдержит ОФерромагнитную гребенку 6, расположенную по окружности планшайбы 4,и два электромагнитных элемента 7,установленных на подвижной стойке 2.Механизм подъема подвижной стойки 2содержит расположенную вертикальновинтовую пару с винтом 8 и гайкой 9,закреплеНной на основании 1. На винте 8 закреплен диск 10, по окружности которого расположена Ферромагнит" 20ная гребенка 11, а на подвижной стойке 2 расположены два электромагнитных,элемента 12. Электромагнитные элементы 7 и 12 выполнены в виде постоянныхмагнитов с П-образными магнитопровода ми, на которцх размещены обмоткиуправления не показаны),Предметный стол работает следующимобразом.Для перемещения планшайбы 4 в вертикальном направлении в обмоткиэлектромагнитных элементов 12 подается управляющий сигнал, а в зазор между диском 10 и подвижной стойкой 2сжатый воздух, В результате взаимодействия электромагнитных элементов12 с Ферромагнитной гребенкой 11 диск10 вращается вместе с винтом 8 относительно гайки 9 и перемещается вдольоси, своего вращения вверх или вниз, рСилы магнитной связи между ферромагнитной гребенкой 11 и электромагнитными элементами 12, уравновешенные 4давлением сжатого воздуха обеспечивают постоянство зазора между диском 1 О и подвижной стойкой 2 и перемещение подвижной стойки 2 за диском 10Поворот планшайбы 4 осуществляется в результате взаимодействия электромагнитных элементов 7 с ферромагнитной гребенкой 6 планшайбц 4 при подаче управляющего сигнала в обмотки электромагнитных элементов 7 и .сжатого воздуха в зазор между планшайбой 4 и подвижной стойкой 2.формула изобретенияПредметный стол, содержащий основание, подвижную стойку, планшайбу и механизмы поворота,планшайбы и подъема подвижной стойки, содержащие Ферромагнитные гребенки и электромагнитные элементы, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения точности перемещения и уменьше" ния габаритов, механизм подъема подвижной стойки выполнен в виде вертикально расположенной винтовой кинематической пары, одно звено которой жестко закреплено на основании, а на другом закреплен диск, причем Ферромагнитная гребенка механизма подъема подвижной стойки расположена на диске винтовой парц, а электромагнитные элементы механизма подъема подвижной стойки расположены на подвижной стойке.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1, Патент США " 3996517,кл. 324-158, 1972.2, Авторское свидетельство СССРпо заявке Р 2627366/18-21,кл, Н 05 К 1/11, 12.06.78.930771 Г. Падучиндь Составит Техред И Стец Ко Редактор С. Лцжова Подписно Тираж. 85 бИПИ Государственного комитета СССо делам изобретений и открытий5, Иосква, И, Рауаская наб;, д аз 3538/88 113 филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,