Рисланд

Номер патента: 1451786

Опубликовано: 15.01.1989

Авторы: Крюгер, Рисланд

МПК: H01L 21/68

Метки: сервопривод

...113. 1, соединенными с наклонными отверстиями 113.3, которые все направлены в одном направлении, проведены вплотную до поверхности поддона для полупроводниковых пластинок 113. Под воздействием подводимого сжатого воздуха ка шланговом патрубке 106 полупроводниковая пластинка (не показана) перемещается от поддона для пластинки 113 на воздушкой подушке в направлении перемещения,От шлангового патрубка 105 к отверстию 113,2 проведена вторая канальная система 117.По ходу отверстия 113.2 имеются несколько клапанов 118. Клапаны 118 при помощи винтов 119 возможно зафиксировать в двух положениях, которые в зависимости от положения освобождают дальнейшую подачу вакуума через отверстие 113,2 или коммуникацию с кольцевыми пазами 113.4 или...