Координатный привод

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Сфефз Сфветсннх Сфцналнстнческнх Республик(51)М. Ка зН 05 К 13/02 Н 01 Ь 21/70 с присоединением заявки Й 9 Гесударстиеииий комитет СССР яе дман изобретеииЯ и .открмтиЯ.Э. Курыло,К.М.РагуЭ.й. Гинтарене ечкуса 71) Заяви Каунасский политехниче нститут и) КООРДИНАТНЫИ ПРИ тносится к приборос ть применено в уст атного познционироп и изготовлении и с т также ности Изобретение ороению и может быройствах координвания, например рмикросхем.Известно устройство для ориентации подложек при изготовлении микросхем, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, взаимодействующей с пьезоэлектрическими элементами, в которой выполнены продольные и поперечные пазы, образующие рабочую плиту для размещения подложки, внутреннюю и наружную рамки и упругие элементы, соединяющие их между собой, причем пьезоэлектрические элементы размещены между внутренней и наружной рамками, а также между рабочей плитой и внутренней рамкой 1.Недостатки известного устройства заключаются в малом диапазоне возможных перемещений и сложности конструкции.Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является координатный привод, содержащий столик и основание с установленньвщ по его периметру контактными пластина" ми, фрикционно сопряженньвщ со сто 2ликом, и средство еремещения столика, соединенное источником напряжения 21.Однако данное устройство необеспечивает необходимой мощпривода и быстродействия.Цель изобретения - повышение эксплуатационных возможностей.Поставленная цель достигается тем,что в координатном приводе, содержащем столик и основание с установлен"ными по его периметру контактньиипластинами, фрикционно сопряжеинииисо столиком, и средство. перемещения5 столика, контактные пластины сеединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средствоперемещения столика выполнено в виде электромагнита, установленного20 таким образом, что линии магнитного поля перпендикулярны плоскостистолика,На фиг. 1 изображена схема устройства; иа фиг. 2 - то же, вид5 сверху.Устройство содержи основание 1,в котором установлены четыре контактные пластины 2, подключенные к источнику постоянного напряжения (цеО показано), расположенные по перимет:860368 формула изобретения мг,1 ставитель 3,хред.М. Голин Корректор А. Фере Редактор С. Юс Тираж 889 ВНИИПИ Государственног по делам изобретени 13035, Москва, Ж, РаушПодписноекомитета СССи открытийкая наб д. аказ 7582/32 нлиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная,ру столика в виде прямоугольника, изолированные между собой и фрикционно сопряженные со столиком 3, а также постоянный электромагнит 4 с атушкой 5, установленной так, что силовые линии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика.Устройство работает следующим об- разом К источнику постоянного, напряжения подключаются две парал лельные контактные пластины 2, а также катушка 5 постоянного магнита . 4. Через столик 3 протекает ток, при взаимодействии которого с магнитным полем, 35 создаваемым электромагнитом 4, возникает сила, перпендикулярная направле" уию протекания тока и силовым линиям магнитного поля. Таким образом, создаваемая сила лежит в плоскости щ столика 3 и параллельна контактным планкам 2, подключенным к источнику постоянного напряжения. Она перемещает столик 3. Изменение напряжения силы, а тем самым и перемещение столика 3, осуществляется изменением направления протекания тока в столике 3 или в катушке 5 электромагнита 4Устройство позволяет увеличитьдиапазон перемещений до 60 - 80 мми упростить конструкцию. Координатный привод, содержащийстолик и основание с установленнымипо его периметру контактными пластинами, Фрикционно сопряженными состоликом, и средство перемещениястолика, соединенное с источникомнапряжения, о т л и ч а ю щ и Я с ятем, что, с целью повышения эксплуатационных возможностей, контактныепластины соединены с источником напряжения и изолированы одна от другой, а средство перемещения столикавыполнено в виде электромагнита,установленного таким образом, чтолинии магнитного поля перпендикулярны плоскости столика.Источники инФормации,принятые во внимание при экспертизе1. Авторское свидетельство СССРВ 541305, кл. Н 05 К 3/00, 1976.2 Авторское свидетельство СССРпо заявке 92694967/21,кл.Н 01 Ь 21/7018.12,78,