Держатель для подложек

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 21 68 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ ПИС ИЗОБРЕТЕН ЯЕТЕЛЬСТВ АВТОРСКОМУР 0 А лев и нии Р 55-23 980. 145824 у .01.81 (проДЛЯ ПОДЛОЖЕ остью, соед сонной.,80106119 с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями, о т л ич а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения надежности фиксации подложек, он снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения, а углубления на опорной поверхности выполнены в.виде концентрических кольцевых канавок, в которых размещены опорные штыри1061196 Составитель В.ВерченкоРедактор М,Циткина Техред М.Надв Корректор Л. ПатайЮ1 Заказ 10051/54 Тираж 703 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д,4/5 Филиал ППП Патент, г.ужгород, ул.Проектная,4 Изобретение относится к технологической оснастке при производстве микросхем в частности к держателям для подложек.Известен держатель для подложек, выполненный в виде стола, на поверхности которого выполнены сквозные отверстия, соединенные с камерой низкого давления Вокруг отверстий на опорной поверхности имеется ряд углублений для создания областей низко О го давления, что обеспечивает прижим подложки к опорной поверхности 1 .Однако Известная конструкция характеризуется недостаточной степенью прижима и фиксации подложек и недос таточной надежностью работы вакуумной системы из-эа возможности попадания загрязняющих элементов в канал вакуумной системы.Известен держатель Для подложек, уО содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями 2 3.Однако в известном держателе под- .25 ложек фиксация подложек недостаточно надежна, так как отсутствуют средства регулировки усилия прижима и средства, предотвращающие попадание загрязняющих элементов в канал ваку" умной системы.Цель изобретения ; повышение надежности фиксации подложек.Цель достигается тем, что держатель для подложек, содержащий стол с полостью, соединенной с каналом вакуумного отсоса, и опорную поверхность из эластичного материала с углублениями, снабжен размещенной над полостью стола эластичной пленкой с элементами регулировки ее натяжения 40 а углубления на опорной поверхности выполнены в виде концентрических кольцевых канавок,.в которых размещены опорные штыри.На чертеже изображен держатель для 45 подложекУстройство содержит стол 1, эластичную опорную поверхность 2 с кольцевыми углублениями в виде канавок3 для образования дополнительныхполостей низкого давления. В канавках расположены опорные штыри 4, Между опорной поверхностью штырей 4 иопорной поверхностью стола 2 имеетсязазор Ъ . В центре основной опорнойповерхности расположена эластичнаяпленка 5 для образования основной полости 6 низкого давления. Пленка 5 попериметру зажата с помощью кольцевогокомпенсатора 7, позвбляющего регулировать ее натяжение и тем самым регулировать силу прижима подложки 8. Внижней части стола размещен каналвакуумной системы 9.Устройство работает следующим образом.Подложку 8 размещают на опорнойповерхности 2 стола 1.При подключении вакуумной системыэластичная пленка 5 вытягивается,образуя основную полость 6 низкогодавления. Подложка 8 с определеннымусилием. притягивается к опорной поверхности 2 и снижает ее. Это сжатиесоздает в канавках 3 дополнительныеполости низкого давления и, следовательно, дополнительное усилие прижима подложки 8, Эластичность пленки5 регулируется кольцевым компенсатором 7, увеличивая или уменьшая, таким образом, основную полость 6 низкого давления,Поскольку эластичная пленка 5 раз,мещена на входе канала вакуумной системы, она препятствует попаданию туда инородных частиц, что повышает1 надежнбсть работы вакуумной системыи всего устройства в целом.Таким образом, данная конструкцияобеспечивает надежную фиксацию подложек за счет создания дополнительныхполостей яодсоса и предотвращенияпопадания эагрязнякщих элементов вканал вакуумной системы,