Способ сборки многозондовой головки

(54) СПОСОБ СБОРКИ ВОЙ ГОЛОВКИ (57) Изобретение относи рольно-измерительной те тения - упрощение те повышение ее точности. О что при сборке многозон тся к области конт- ники. Цель изобрехнологии сборки и на достигается тем, довой головки зонИГ. ГОСУДАРСТВЕННЫИ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(56) Установка сборки контактных устройствЭМ2.245.002 ТО.Патент США3835381, кл. 324 в 158 р 801272378 дов каждый из зондов укладывают в сборочное приспособление, размещая отогнутый контактирующий конец 4 в отверстие имитатора топологии проверяемой структуры, а тело зонда - на опорном элементе кольцевой формы. Под действием силы тяжести зонд устойчиво самоустанавливается в пространстве так, что его контактирующие концы лежат в вертикальной плоскости. После этого стержни 3 и опорный элемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Способ может быть использован при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении устройств для контроля полупроводниковых структур на пластине при их производстве. Цель изобретения - упрощение технологии сборки многозондовой головки и повышение ее точности.На фиг.1 представлена сборка многозондовой головки (фрагмент) концами зондов, общий вид; на фиг.2 - конструкция зонда (а) и схемы установки зондов в сборочное приспособление (б, в); на фиг.З а-к - варианты исполнения зондов.При сборке многозондовой головки концами зондов 1 (фиг.1) последние размещены в отверстиях имитатора 2 топологии проверяемой структуры. Тела зондов лежат на опорном элементе кольцевой формы.На фиг.2 а представлена конструкция зонда, выполненного в форме стержня 3 с отогнутым контактирующим концом 4 и дополнительным изгибом 5, лежащим в плоскости, образованной стержнем 3 и отогнутым концом 4.На фиг.2 б и 2 в представлены схемы установки зондов в сборочное приспособление. А - точки соприкосновения тела зонда с опорным элементом, В - точки соприкосновения контактного конца с имитатором топологии, С - центр тяжести зонда, 6 - вектор силы веса зонда. Центр тяжести зонда С расположен между точками А и В и ниже линии, их соединяющей.На фиг.За - и представлс ны конструктивные варианты исполнения зондов с изгибом; на фиг,Зк - вариант исполнения зонда с дополнительным грузом 6.Сборка многозондовой головки осуществляется следующим образом.Зонды укладывают в сборочное приспособление так, как показано на фиг При этом они под действием силы тяжести устойчиво самоустанавливаются в пространстве так, что их контактирующие концы лежат в вертикальных плоскостях. После этого стержни зондов и опорныйэлемент скрепляют в единое целое заливкой диэлектрическим закрепляющим составом. Эффект упрогцения технологии сборки и повышения ее точности достигается за счет самоустановки контактирующих концов зондов в вертикальных плоскостях.Формула изобретения1, Способ сборки многозондовой головки из зондов, выполненных в форме стержневого тела с отогнутым контактирующим концом, включающий установку контактирующих концов зондов до упора в дно глухих отверстиЙ, выполненных в шаблоне в соответствии с контактными площадками, проверяемой структуры, и установку стержней зондов на опорном элементе кольцевой формы с последующей заливкой стержней зондов и опорного элемента диэлектри.20 ческим закрепляющим составом, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии сборки и повышения ее точности, перед установкой зондов на опорном элементе осугцествлено не менее одного изгиба стержня каждого зонда в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом в сторону прямой, проведенной между точкой соприкосновения стержня с опорным элементом и точкой соприкосновения контактного конца с шаблоном, до размещения центра тяжести зонда между указанными точками и ниже указанной прямои.2. Способ по и. 1, отличающийся тем,что на стержне зонда устанавливают дополнительный груз, центр тяжести которого расположен в плоскости, образованной стержнем и отогнутым контактным концом, причем массу груза подбирают такой, чтобы приведенный цснгр тяжести системы зонд груз был расположен между точкой соприкосновения стержня с опорным элементом и 40 точкой соприкосновения контактного конца сшаблоном и ниже прямой, проведенной между этими точками.Шмеле 11филиа аяул Рслактор Е. ПапиЗаказ 6343,50В Составитель Н.Тепрел И. ВерссТираж 643НИИПИ Государственного кпо делам изобретений и35, Москва, Ж - 35, РаушсППП Патент, г. Ужгород Корректор М. 1Полписноситета СССРоткрытийна 6., д. 4/5Проектная, 4