Устройство для ориентации подложек

957322 ОП ИСАНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскихСоциалистическихРеспубликОпубликовано 07.09.82. БюллетеньЗЗДата опубликования описания 17.09.82 по делам нзобретеннй н открытий(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ПОДЛОЖЕК Изобретение относится к изготовлению блоков элементов электрической аппаратуры, в частности к устройствам для изготовления печатных схем и может быть применено, преимущественно, для прецизионного автоматического позиционирования объектов, используемых в установках совмещения.Известно устройство для ориентации подложек, содержащее координатный стол, выполненный в виде плиты, и толкатели. В качестве толкателей использованы биморфные пластины 1 .Недостаток этого устройства заключается в том, что биморфные пластины развивают незначительные осевые усилия (порядка 100 гс).Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является устройство ориентации подложек, содержащее установленный на основании координатный стол в виде плиты с выступами и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола 2 .К недостаткам этого устройства относится малый диапазон регулировки ориентации. По опытным данным пьезокерамические элементы имеют относительное удлинение порядка 7 10 л. При применении .магнитострикторов последние потребляют большие токи, вследствие чего конструкция 5 имеет дополнительные деформации, Абсолютная деформация магнитострикционных материалов ниже, чем у пьезокерамики. 10Цель изобретения - расширение диапазона перемещений.Указанная цель достигается тем, что, вустройстве для ориентации подложек, содержащем установленные на основании координатный стол в виде плиты с выступами 15 и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола, каждый толка тель снабжен набором пьезоэлементов, каждый из которых охвачен П-образной скобой, размещенной со стороны пьезокерамического элемента.Каждый толкатель снабжен планкой,соединенной с набором пьезоэлементов и шарнирно соединенной с основанием.31 ьезокерамический элемент каждого толкак,я Впо.исн из отдельных олоков и шар:;по закреплен на одном из выступов плит, координатного стола.На фиг.и 2 изображено предлагаемое ус 1 ройство, общий вид; на фиг. 3 - толка те,ь плиты.Устройство для ориентации подложек содержит координатный стол 1 и основание 2. Координатный стол 1 выполнен в виде плиты с выступами 3, установлен на основании 2 на упругих элементах 4 и снаб 1 О жеп толкателями, выполненными в виде пьезокерамического элемента 5 и набора 6 пьезоэлементов, Пьезокерамический элемент выполнен из нескольких блоков 7. Набор 6 содержит пьезоэлементы 8, которые охвачены П-образной скобой 9. К последней приклеивается пьезокерамический элемент 5. Пьезоэлемент 8 набора 6 приклеивается к пластине 10 через держатели 11. Сама пластина 10 установлена на основании 2 посредством шарнира 12, В данной конструкции взяты два набора пьезоэлементов. В зависимости от перемещения их можно набирать блоком. Пьезокерамический элемент 5 закреплен на выступе 3 плиты шарнирно.Устройство работает следующим образом.При подключении постоянного электрического напряжения соответствующей полярности на пьезоэлементы 8 последние уменьшают линейные размеры и деформируют П-образные скобы 9, передавая свое зп перемещение пьезокерамическому элементу 5. К пьезокерамическому элементу 5 также подводится напряжение, за счет чего он изменяет линейные размеры (удлиняется, укорачивается) пропорционально подаваемому на него напряжению. Общее переме- з 5 щение толкателя будет равно сумме удлинителя, элемента 5 и изгибочной деформации скоб 9. Толкатель, соединенный с выступом 3 плиты через шарнир 12, при изменении своих линейных размеров передает движению плите. Шарниры 12 позволяют толкателю свободно принимать любое положение под углом по отношению к плите при ее вращении. Путем соответствующего изменения перемещения каждого из двух противоположных толкателей можно полу. чить перемещение плиты по одной из координат Х и У, а путем соответствующего изменения перемещения всех четырех толкателей - вращение плиты вокруг своей оси. Таким образом плита получает линейные перемещения по координатам Х и у и поворот на угол в одной плоскости.Использование предлагаемого устройства позволяет расширить диапазон перемещения ориентации подложки до 0,5 мм, что достигается за счет особой конструкции толкателей, закрепленных с обеих сторон шарнирно,Формула изобретения1. Устройство для ориентации подложек, содержащее установленный на основании координатный стол в виде плиты с выступами и толкатели с пьезокерамическими элементами, установленными с возможностью взаимодействия с выступами плиты координатного стола, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона перемещений, каждый толкатель снабжен набором пьезоэлементов, каждый изкоторых охвачен П-образной скобой, размещенной со стороны пьезокерамического элемента.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждый толкатель снабжен планкой, соединенной с набором пьезоэлементов и шарнирно соединенной с основанием.3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что пьезокерамический элемент каждого толкателя выполнен из отдельных блоков и шарнирно закреплен на одном из выступов плиты координатного стола.Источники информации,принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ2452068,кл. Н 01 1. 21/68. 2. Патент США4019109, кл, 318 - 640,опублик. 19.04.77.тель 3 Бойкас нин ороль едактор А,Л аказ 6612/43 ВНИИПпо 13035, М иал ППП Состави Техред А. Тираж 76 И Государственно делам изобретен осква, Ж - 35, Р Патент, г. Ужго ко ий и аушск город,ЯшинаКорректоПодписноитета СССР01 крытийя наб д 4/5ул. Проектная,