Способ ориентации объекта

ц 834806 ОП ИСАНИЕИЗЬВРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз СоветскикСоциалыстическикРеспублик(51) М. 1216 с присоединением заявки,% асудврстееннын квинтет СССР пв делам нзааретеннй н аткрытнй(54) СПОСОБ ОРИЕНТАЦИИ ОБЪЕК Изобретение относится к технол многослоиных.пеочнее к способам сов- совмещения (репер- в многослойных пемотровом устройстве выполнения в них тельно отметок сови изготовл е а етокатных пла ещения от ых знаков ых плат на ля последующегтверстий откос щения, и может быть использованомашиностроительной, радиоэлектронй, авиакосмической промьппленноб юстировки, кототом, что совмещаасположенные на одв разных плоскостях од другом. Для этозображения, отражаму зеркал, одноуют и, увеличив,ое устройство Г 11 о те ыи способ не позвоображения, распопрямой линии, насти и др. Известен спос рьпт заключается в ют изображения, р ной прямой линии помещенных цруг го подсвечивают ют лучи через си временно фокусир подают на смотра Однако извест ляет совмещать и ложенные на одноходящиеся в одной плоскости, не дет. достаточной точности и сложендля оператора за счет совмещениялых изображений, а также сложен в реализации.Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта 121.Недостатком известного способа являются небольшие технологические воэможности.Цель изобретения - расширение технологических возможностей.Цель достигается тем, что в сп собе ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающем перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, изоб83480 б на поражение одного из реперных знаков проецируют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака.На Фиг. 1 показано расположение слоя печатной платы с реперными знаками на рабочем столе, ход лучей и рисунок совмещения на смотровом уст-ройстве; на Фиг. 2 - слой печатной платы смещен влево; на Фиг. 3 - слой 10 печатной платы смещен вправо; на фиг. 4 - слой печатной платы имеет положительный допуск на.межцентровое расстояние между реперными знаками; на фиг. 5 - слой печатной пла ты имеет отрицательный допуск на межцентровое расстояние между реперными знаками.Сущность способа заключается в следующем. 20На рабочем столе 1 располагают слой печатной платы 2 с реперными знаками 2-1 и 2- 2, имеющими допуска на межосевое расстояние 1. +бна размеры:,наружные О+Т и на внутренние с 1+Е. Элементы изображений реперных знаков подсвечивают каждый в отдельности и их увеличенные объективами 3 и 4 изображения через свою систему зеркал: для 2-1 - 5-7 и для 2-2 - 8 - подают на зеркало отражения-пропускания 9 с помощью лучей.Лучи соответственно от точек 10 и 11 внутреннего контура реперного знака 2-1 пройдя через систему зер- з 51с кал 5-7 оборачиваются на 180 , проходя через отверстие зеркала 9 и проецируют на экране 12 смотрового устройства зеркальное изображение этих точек.Лучи от точек 13 и 14 наружного контура реперного знака 2-2, пройдя объектив 3, отразившись от зеркала 8, попадают иа зеркало 9, которое отражает изображение точек наружно го контура. Изображение наружного контура реперного знака 2-2 проецируется на экране 12 смотрового устройства прямо,Таким образом, чтобы выставить50 слой платы, необходимо построить на одном экране проекционного смотрового устройства одно полное изображение отметки совмещения путем одновре 55 менного совмещения прямого и зеркального изображения неодинаковых элементов двух реперных знаков, находящихся в одной плоскости на одной прямой. 4На одном экране смотрового устройства 12 получают увеличенные при необходимости с разными коэФФициентами увеличения и достраиваемые до вписанных или описанных Фигур неодинаковые элементы реперных знаков 2-1 и 2-2 слоя печатной платы 2, причем величину возможного недостроения уравнивают перемещением слоя печатной платы на рабочем столе 1 на глаз.Идеальный случай - 5=0 мм.В остальных случаях точность выставки реперных знаков определяют на основании величин погрешности К в мм, зависимой от величины интервала 5 в мм и кратности увеличения.Существует таблица зависимости этих величин, в которой учитываются возможности человеческого глаза.5 - интервал, мм 1 2 3 4(величина недостроения);,К - величигрешности глаза, мм 0,035 0,050 0,064 0,074 Формулу расчета Фактической погрешности на величину недостроения 5 (до вписанных или описанных Фигур) при совмещении неодинаковых элементов реперных знаков при выставке слоя можно представить следующим образом. Величина погрешности глаза К в мм, соответствующая интервалу 5, деленная на кратность увеличения, дает Фактическую погрешность на величину недостроения 5 в мм, Регулируя эти величины при создании конструкции, реализующей предлагаемый способ, получим точность выставки от сотых долей до нуля,П р и м е р 1. Слой смещен, например влево (Фиг. 2). Смещение по оси для левого реперного знака для правого - й, что на экране с учетом коэффициента увеличения для каждого реперного знака соответствуетй К и й К..Изображения элементов реперных знаков в этом случае расходятся. П р и м е р 2. Слой смещен вправо (Фиг, 3), изображения реперных, знаков в этом случае на экране расходятся, поменяв направления. Из этого следует, что совмещение изображений происходит с удвоенной скоростью.печатной платы, усреднить допускна исполнение реперных знаков, сократить время выставки, значительноповысить производительность трудаоператора, снизить квалификацию оператора, реализовать способ простыми и дешевыми средствами, исключить операцйю контроля, благодарягарантированной высокой точностивыставки. Формула изобретения Способ ориентации объекта, преимущественно печатной платы, включающий перемещение объекта, одновременное проецирование на экран изображений двух реперных знаков объекта, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что,с целью расширения технологических возможностей, изображение одного из реперных знаков проециру-, ют на экран зеркально отраженным по отношению к изображению второго знака. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Патент Франции У 2079163,кл. Н 01 1. 7/00, 1971.2. Фотолитография и оптика. Подред. Я.А.Федотова, Г,Поня, "Советское радио", 1974, с. 283, рис. 1,35 5 б,5 834806П р и м е р 3, На,фиг. 4 слой 2 имеет положительный допуск на межцентровое расстояние между реперными знаками. При совмещении изображений элементов реперных знаков в результате оптического сложения слоя относительно оси симметрии допуск на межцентровое расстояние У автоматически располовинивается - о"/2. На экране 12 смотрового устройства изоб ражение отдельных элементов реперных знаков смещено влево отноительно оси симметрии экрана .на величину У/2, помноженную на кратность увеличения. 15П р и м е р 4. При отрицательном допуске на межцентровое расстояние (фиг. 5) изображение отдельных элементов реперных знаков смещено вправо относительно оси симметрии 20 экрана на величину У/2, помноженную на кратность увеличения. Из этого следует, что точность выставки ,слоя по отметкам реперных знаков не зависит от величины и знака допус ка на межцентровое расстояние, Величина смещения изображения реперных знаков влево или вправо относительно оси экрана смотрового устройства дает возможность судить о величине и .знаке допуска на межцентровое расстояние между ними.Таким образом, предлагаемый способ совмещения изображений позволяет повысить точность выставки слоя834806 Фиг.Ф ВНИИПИ Закаэ 4 114/81 Тираж 784 Подписное нлиал ППП "Патент",жгород,ул.Проектная,4г